САНКТ - ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

АЭРОКОСМИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ

На правах рукописи

Новикова Юлиана Александровна

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ КОНСТАНТ

ПЛЕНОК ФТОРИДОВ

В СРЕДНЕЙ ИК ОБЛАСТИ СПЕКТРА И СИНТЕЗ НА ИХ ОСНОВЕ

АХРОМАТИЧЕСКИХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ

Специальность 01.04.05 – Оптика

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Санкт-Петербург – 2015

Работа выполнена на кафедре физики Санкт-Петербургского государственного университета аэрокосмического приборостроения

Научный руководитель: доктор физико-математических наук, профессор, Заслуженный работник Высшей школы РФ Котликов Евгений Николаевич

Официальные оппоненты: Полищук Владимир Анатольевич доктор физико-математических наук, заведующий сектором электронной микроскопии Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики Пастор Александр Александрович кандидат физико-математических наук, доцент кафедры оптики физического факультета Санкт-Петербургский государственный университет

Ведущая организация: Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики.

Защита состоится «26» февраля 2015 г. в часов на заседании диссертационного совета Д 212.232.45 по защите докторских и кандидатских диссертаций при Санкт-Петербургском государственном университете по адресу: 198504, Санкт-Петербург, Петродворец, ул.

Ульяновская, д.1, Малый конференц-зал физического факультета.

С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке имени М. Горького СПбГУ.

Автореферат разослан «_» 2015 г.

Ученый секретарь диссертационного совета Д 212.232. по защите докторских и кандидатских диссертаций, доктор физико-математических наук Сухомлинов В.С.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Научно-технический прогресс в оптическом приборостроении активизировал развитие в области оптики и спектроскопии пленок и интерференционных покрытий. И наоборот, фундаментальные исследования в области физики тонких пленок позволили создать принципиально новые типы систем оптоэлектроники.

Основными параметрами, определяющими оптические свойства пленок, являются дисперсия показателей преломления и поглощения. Для определения параметров оптических пленок разработаны и успешно применяются на практике спектрофотометрические методы, в основу которых положен анализ спектров пленок и покрытий. Этой задаче в настоящее время уделяется большое внимание. Основные трудности при ее реализации связаны с неоднозначностью анализа спектрофотометрических спектров, в особенности при исследовании пленок, обладающих дополнительными полосами поглощения, отсутствующими в монокристаллах.

Развитие оптического приборостроения невозможно без создания новейших интерференционных покрытий. Для их синтеза требуются прозрачные оптические пленки с набором различных показателей преломления и минимальным поглощением в требуемом спектральном диапазоне. Основными критериями качества пленочных материалов являются:

прозрачность, показатель преломления, однородность, плотность, адгезия, твердость, механические напряжения, устойчивость к воздействию окружающей среды. В настоящее время не существует универсальных материалов, обладающих всеми вышеперечисленными свойствами. Их поиску и созданию также уделяется большое внимание.

Перед современной физической оптикой стоит ряд проблем, которые необходимо учитывать при выборе направлений дальнейшего развития теории синтеза интерференционных покрытий и возможности их практической реализации. Одна из основных задач - создание оптических покрытий с требуемыми спектральными характеристиками, устойчивыми к ошибкам в оптических параметрах слоев, неизбежными в процессе изготовления.

Введены различные критерии устойчивости и рассмотрена возможность их применения. В настоящее время эта задача также не имеет однозначного решения.

В данной работе рассмотрены оригинальные спектрофотометрические методы определения оптических констант пленок. Они базируются на исключении из спектров пропускания и отражения поглощения пленок. Эти методы позволили впервые наблюдать дополнительные дисперсионные зависимости пленок при наличии в них полос поглощения, отсутствующих в монокристаллах. Предлагаются и исследуются новые оптические материалы на основе фторидов в средней ИК области спектра. Предложен критерий устойчивости синтезированных покрытий и проведен сравнительный анализ с другими критериями. С использованием введенного критерия устойчивости синтезирован и реализован ряд ахроматических просветляющих покрытий в средней ИК области спектра.

Таким образом, актуальность работы определяется: разработкой оригинальных методов определения оптических констант пленок; исследованием пленок фторидов;

поиском новых пленкообразующих материалов; решением задачи устойчивости синтеза покрытий; синтезом с использованием вышеперечисленных задач ахроматических просветляющих покрытий.

Целью диссертационной работы является исследование оптических констант пленок фторидов и их применение для создания ахроматических просветляющих покрытий.

Для достижения поставленной в работе цели необходимо решить следующие задачи:

Предложить и разработать методику исследования дисперсионных зависимостей оптических констант пленок при наличии сильных полос поглощения.

Исследовать дисперсионные зависимости оптических констант пленок BaF2, YF3, CaF2.

Исследовать оптические константы и свойства новых пленкообразующих материалов на основе бифторидов иттрия, бария, кальция, магния для средней ИК области Предложить и разработать методику коррекции интерференционных покрытий в процессе синтеза и изготовления.

Разработать методику синтеза ахроматических просветляющих покрытий.

Синтезировать ахроматические просветляющие покрытия с использованием исследуемых пленок на подложках из Si, Ge, ZnSe.

Объектом исследования являются оптические свойства пленок и тонкопленочные покрытия.

Предметом исследования являются методы нахождения оптических констант пленок, в том числе пленок фторидов и бифторидов, а также проектирование и изготовление ахроматических просветляющих покрытий.

Научная новизна работы заключается в следующем:

Предложена методика определения оптических констант пленок, базирующаяся на коррекции спектров и исключении поглощения в них.

Исследованы дисперсионные зависимости оптических констант пленок BaF2, YF3, CaF в среднем ИК диапазоне.

Предложены и исследованы двойные фториды BaxMe1-xF2, YxMe1-xF2+х в среднем ИК диапазоне.

Разработано программное обеспечение для определения оптических констант.

Предложена методика, в основе которой лежит введенный критерий устойчивости синтезированных интерференционных покрытий.

Создано программное обеспечение для анализа устойчивости интерференционных Модернизировано программное обеспечение Film Manager, которое позволяет проводить замену начальной конструкции эквивалентной структурой, типа HLH или Практическая значимость полученных результатов Получение и исследование оптических свойств фторидов и новых пленкообразующих материалов: BaF2-MgF2, BaF2-CaF2, YF3-BaF2 в средней ИК области спектра.

Создание программного обеспечения для определения оптических констант пленок в средней ИК области спектра.

Составление базы данных по оптическим константам тонких пленок, которая позволяет учесть вызываемые ошибки в расчетах синтезируемых покрытий.

Разработка методов анализа коррекции синтезированных покрытий в процессе их изготовления.

Синтез, изготовление и исследование просветляющих покрытий для средней ИК области спектра.

Использование результатов работы при выполнении ряда НИР, проводимых в СанктПетербургском государственном университете аэрокосмического приборостроения.

Использование результатов работы на предприятиях ОАО НИИ «Гириконд», ОАО Использование результатов при чтении спецкурсов по направлению «Оптотехника» в Санкт-Петербургском государственном университете аэрокосмического приборостроения.

Достоверность результатов обеспечивается их согласием с результатами теоретических и экспериментальных исследований, использованием аттестованных методик и аппаратных средств измерений.

На защиту выносятся следующие научные положения:

Методика определения ОК пленок по спектрам пропускания и отражения в средней ИК области спектра при наличии сильных полос поглощения.

Результаты экспериментальных исследований по наблюдению дополнительной дисперсии оптических констант пленок в областях поглощения, отсутствующих в монокристаллах.

Результаты исследования влияния легирующих добавок на оптические характеристики пленок BaF2 и YF3 в средней ИК области спектра.

Результаты данных по оптическим константам пленкообразующих веществ на основе фторидов и бифторидов.

Методика анализа устойчивости интерференционных покрытий и программное обеспечение для нее, в основе которой лежит введенный критерий устойчивости.

Синтез, изготовление и исследование широкополосных просветляющих покрытий для подложек из ZnSe, Si, Ge в средней ИК области спектра.

Реализация результатов работы. Материалы работы использованы при чтении спецкурсов «Прикладная оптика», «Оптика лазеров», «Проектирование интерференционных покрытий», «Оптические измерения тонких пленок», «Технология изготовления тонких пленок», читаемых по направлению «Оптотехника» на кафедре физики СанктПетербургского государственного университета аэрокосмического приборостроения. А также при выполнении ряда НИР, проводимых в Санкт-Петербургском Государственном университете аэрокосмического приборостроения и на предприятиях ОАО НИИ «Гириконд», ОАО «Тидекс».

Апробация результатов работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях и семинарах: научная сессия ГУАП, Санкт-Петербург 7-11 апреля 2014; VIII Международная конференция молодых ученых и специалистов «Оптика–2013», ИТМО, Санкт-Петербург 14-18 октября 2013;

научная сессия ГУАП, Санкт-Петербург 8-13 апреля 2013; II Всероссийская конференция по фотонике и информационной оптике. М.: НИЯ МИФИ, 23-25 января 2013; 15th International Conference «Laser Optics 2012», SPb, june 25-29, 2012; VII Международная конференция «Фундаментальные проблемы оптики – 2012», ИТМО, Санкт-Петербург 15-19 октября 2012;

научная сессия ГУАП, Санкт-Петербург 9-13 апреля 2012; VII Международная конференция молодых ученых и специалистов "Оптика–2011", ИТМО, Санкт-Петербург 17-21 октября 2011; научная сессия ГУАП, Санкт-Петербург 9-13 апреля 2011; научная сессия ГУАП, Санкт-Петербург 9-13 апреля 2010.

Публикации. В диссертации обобщены результаты 19 работ автора, которые указаны в списке литературы. Четыре работы опубликованы в журналах из перечня ведущих периодических изданий ВАК.

Личное участие автора. В материалах совместных работ личный вклад автора является определяющим. Основная часть теоретических и экспериментальных исследований обсуждение и интерпретация результатов проводилась совместно с научным руководителем.

Структура и объемы работы. Диссертационная работа состоит из введения, двух частей, пяти глав, заключения, списка литературы, включающего 132 наименования.

Основная часть работы изложена на 157 страницах машинописного текста. Работа содержит 51 рисунок и 18 таблиц.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность исследований, изложены цели, задачи и научная новизна работы, сформулированы основные положения, выносимые на защиту, приведены сведения об апробации работы, публикациях, структуре и объеме работы.

Часть 1 состоит из двух глав, в которых изложена методика коррекции спектров и проведено исследование оптических констант пленок фторидов.

В Главе 1 приведен обзор спектрофотометрических методов определения показателей преломления (n) и поглощения пленок (k). Предложена и рассмотрена методика базирующийся на коррекции поглощения в спектрах пропускания и отражения. Эта методика позволила свести задачу определения оптических констант пленок к известной задаче нахождения ОК непоглощающих пленок.

Пропускание T(f+s) и отражение R(f+s) в подложке и в пленке с поглощением имеет вид:

где Af и As - поглощение в пленке и в подложке, fT и fR - функции, которые находились нахождения мы использовали разложение в степенной ряд Тейлора для Т и R. Раскладывая (1) имеем:

Пренебрегая членами второго порядка малости, имеем:

Тогда, для непоглощающей подложки (ZnSe):

их можно записать в виде:

где С1 – С4 – это постоянные коэффициенты, которые находились численно c точностью + 0.001. Таким образом, коррекцию для пленки с показателем преломления nf ~ 1.3–1.4 на подложке из селенида цинка для уравнения (6) имеет вид:

где С1=0.195, С2=0.595, С3= 0.209, С4=0. Для поглощающей подложки (Si) сначала проводится коррекция на поглощение в подложке:

Эти поправки используются в системе «пленка-подложка»:

После учета поглощения в подложке формулы (8-9) принимают вид:

Используя выражения (8-9) решением уравнения (10) может быть представлено в виде:

где численные значения коэффициентов для пленки nf ~ 1.3–1.4 на подложке из кремния равны: С1=0.195, С2=0.595, С3= 0.209, С4=0.579.

На рисунке 1 приведены рассчитанные спектры пропускания (Т), отражения (R), поглощения (A) для пленки BaF2 (n=1.35) с поглощением и спектры пропускания и отражения пленки с коррекцией на поглощение (Ткорр и Rкорр) ZnSe. Скорректированные спектры пропускания по формуле (7) практически совпадают со спектрами непоглощающей пленки (T0 и R0).

Использовались спектры без поглощения (T0), спектры с поглощением (T) и спектры в которых проведена коррекция (Tкорр.).

Рис. 1. Спектры пропускания, отражения, Рис. 2. Разность спектров пропускания в поглощения для пленки BaF2 с поглощением пленке без коррекции и с коррекцией со На рисунке 2 показана зависимость разности пропусканий нескорректированного спектра и спектра без поглощения (T-T0), а также зависимость разности пропусканий спектров скорректированного и спектра без поглощения, т.е. (Ткорр.-Т0) от длины волны. Для наглядности все графики даны в обратных сантиметрах. Из рисунка 2 видно, что ошибки в скорректированных спектрах не превышают 0.25%, что соответствует ошибкам измерения экспериментальных спетров. Для реализации методики составлена программа на языке Wolfram Mathematica-8.0.

В Главе 2 представлены результаты исследования оптических констант пленок фторидов и бифторидов в диапазоне от 2 до 12 мкм.

изготавливать оптические покрытия с использованием одинарных и двойных фторидов. Для их определения использовалась предложенная нами методика коррекции спектров на поглощении в спектрах пропускания и отражения. В качестве подложек использовались ZnSe и Si, для которых предварительно были определены дисперсионные зависимости оптических констант.

В качестве примера рассмотрим пленку BaF2 на подложке из селенида цинка (ZnSe) марки SVD. Его экспериментальные спектральные характеристики представлены на рисунке 3.

Рис.3. Экспериментальные спектральные характеристики пленки BaF Рис. 5. Дисперсионные зависимости для пленки BaF2 на подложке из ZnSe отражение – 29%. Эти значения с точностью до 0.002 совпадают с пропусканием подложки с пленкой в точках экстремумов, скорректированных на поглощение, при толщине пленки кратной /2. Тем самым подтверждается корректность предложенной методики.

После обработки спектров выяснилось, что в большей части спектра имеется нормальная дисперсия, как в монокристаллах. Отличием является наличие дополнительной дисперсии показателя преломления (n) в областях полос поглощения пленок (2.7-3.3 мкм и 5.5-7.0 мкм), которые отсутствуют в монокристаллах.

На рисунке 5 представлены дисперсионные зависимости для пленки BaF2 на подложке из ZnSe. Дисперсия коррелирует с дополнительными полосами поглощения в указанных областях.

Проведены экспериментальные исследования пленок фторидов и бифторидов.

Определены оптические константы исследуемых пленок: YF3, BaF2, CaF2, 98%BaF2+2%MgF2, 90%BaF2+10%CaF2, 67%YF3+33%BaF2, 50%YF3+50% BaF 67%YF3 + 33%CaF2.

На рисунке 6 и рисунке 7 приведены зависимости показателей преломления (n), поглощения (k) от длины волны () на подложках из ZnSe марки SVD для пленок BaF2, 98%BaF2+2%MgF2, 90%BaF2+10%CaF2.

Рис.6. Зависимости показателя преломления Рис.7. Зависимости показателя поглощения (n) от длины волны () пленок BaF2, (k) от длины волны () пленок BaF2, 98%BaF2+2%MgF2, 90%BaF2+10%CaF2 на 98%BaF2+2%MgF2, 90%BaF2+10%CaF2 на На рисунке 8 и рисунке 9 приведены зависимости показателей преломления (n), поглощения (k) от длины волны () на подложках из Si марки КЭФ-5 для пленок YF3, 67%YF3+33%BaF2 и 50%YF3+50%BaF2.

Рис.8. Зависимости показателя преломления Рис.9. Зависимости показателя поглощения 67% YF3+33% BaF2 и 50%YF3+50%BaF2 67%YF3+33%BaF2 и 50%YF3+50%BaF Проведен сравнительный анализ, как известных фторидов, так и перспективных материалов бифторидов в средней инфракрасной (ИК) области спектра и выявлены наиболее перспективные пленкообразующие материалы (98%BaF2+2%MgF2 и 67%YF3+33%BaF2), которые в отличии от известных фторидов не имеют сильных полос поглощения, негигроскопичны, обладают хорошими механическими свойствами и могут быть использованы в составе сложного покрытия в средней ИК области спектра.

Часть 2 содержит три главы, в которых рассмотрен синтез ахроматических просветляющих покрытий.

интерференционных покрытий. Проведен обзор литературных данных, касающихся основных методов синтеза интерференционных покрытий (ИП), который позволил сделать вывод, что наиболее гибкими и универсальными являются численные методы. Эти методы основаны на решении задачи минимизации функции качества. Для синтеза использовалась методика, основанная на теории эквивалентных слоев и численных методов оптимизации. В работе эта методика развита для синтеза ахроматических просветляющих покрытий. Для этого автором была модернизирована программа Film Manager. В не были добавлены следующие дополнения:

Внедрили опцию замены пленки с произвольным показателем преломления на эквивалентную трехслойную структуру типа HLH или LHL (H – высокопреломляющий слой, L – низкопреломляющий слой).

Ввели замену трехслойной структуры типа HLH или LHL на реальные пленки из базы Ввели учет отражения от обратной стороны подложки.

Эти дополнения в программе были необходимы для синтеза различных покрытий, в первую очередь просветляющих (антиотражающих).

Глава 4 посвящена анализу устойчивости синтезированных покрытий. В диссертации представлен обзор имеющихся работ, касающихся анализа устойчивости. Отмечено, что вопросы исследования устойчивости многослойных структур рассматриваются недостаточно. Предложена методика, в основе которой лежит введенный критерий устойчивости на основе исследования трансформации спектров при конечных ошибках в толщинах слоев. Величина критерия устойчивости выражается как:

Для реализации этой методики создано программное обеспечение на языке Wolfram Mathematica-8.0, которое позволяет производить коррекцию в слоях.

На рисунке 10 приведены примеры гистограмм устойчивости по слоям для светоделительного покрытия, где 0 – опорная длина волны. Из рисунка 10 видно, что ошибки разного знака могут давать существенные различия в некоторых слоях. Для 1-го и 3го слоев величина критерия устойчивости Fk симметрична относительно знака ошибки. Для 5-го и 7-го слоев - ассиметрична. Другими словами, изменение знака ошибки должно привести к существенному изменению критерия устойчивости.

В диссертации приведены примеры сравнительного анализа методик определения устойчивости спектральных характеристик: для полосовых интерференционных фильтров, ахроматических просветляющих и светоделительных покрытий. Анализ показал, что устойчивость, определенная по первой производной функции качества практически нигде не соответствует реальной. Устойчивость, определенная по второй производной позволяет выявить в структуре покрытия слои, наиболее критичные к изменению оптической толщины, но при этом количественные расхождения оптических толщин в слоях существуют. Устойчивость, определяемая по первой производной от спектра пропускания, для малой ошибки дает хорошие результаты, но с увеличением ошибок начинаются расхождения с расчетными сдвигами.

(а) – ошибка в толщине 0.010 мкм; (б) – ошибка в толщине 0.0750 мкм;

Показано, что для полосовых интерференционных фильтров оптимальными являются критерии устойчивости, предложенные нами и в работе по первой производной от спектра пропускания.

Для просветляющих ахроматических покрытий введенный нами критерий дает хорошие результаты для любых видов ошибок.

Для светоделительных покрытий введенный нами критерий устойчивости дает наилучшие результаты.

Таким образом, предложенная методика анализа устойчивости предоставляет возможность уже на первом этапе синтеза покрытия выявить в структуре слои, которые наиболее критичны к изменению оптической толщины, и прогнозировать их коррекцию в последующих слоях.

просветляющих покрытий для средней ИК области спектра. В ней рассмотрен поэтапный процесс синтеза, включающий выбор начального приближения в виде равнотолщинных пленок, оптимизацию по показателям преломления слоев, замену слоев эквивалентными комбинациями, оптимизацию просветляющих покрытий по толщинам слоев, расчет функции качества и анализа устойчивости.

Модернизированная программа Film Manager позволяет проводить замену начальной конструкции на эквивалентные структуры, типа HLH или LHL. На рисунке 11 приведены спектральные характеристики начального приближения и реальной структуры (оптимизированной эквивалентной структуры) на подложке из кремния (Si).

При анализе полученных результатов видно, что спектральные характеристики базовых структур почти совпадают со структурами, в которых несуществующие в природе показатели преломления заменялись на эквивалентные слои из реально существующих материалов.

Рис.11. Спектральные характеристики начальной 6-ти слойной структуры и оптимизированной эквивалентной структуры (типа LHL) для 10-ти слойного покрытия на подложке из Si На рисунке 12 приведены экспериментальный и теоретический спектры пропускания и отражения покрытий на основе пленок Ge, ZnSe, BaF0.98Mg0.02F2 на подложке Si.

В диссертации приведены примеры практической реализации ахроматических просветляющих покрытий для средней ИК области спектра с внедрением исследуемых смесей: BaF0.98Mg0.02F2 и Y0.67 Ba0.33 F2.67 на подложках из Si, Ge и ZnSe в средней ИК области спектра. Практически все синтезируемые покрытия были реализованы на практике на предприятиях ОАО НИИ «Гириконд», ООО «Тидекс». Все реализованные покрытия отличаются высокой механической прочностью и химической стойкостью. Это демонстрирует эффективность исследуемых смесей.

В заключении сформулированы основные выводы и результаты работы.

Разработана методика исследования оптических констант пленок (показателя преломления и поглощения), базирующаяся на коррекции поглощения в спектрах пропускания и отражения, позволяющая решать задачу нахождения оптических констант при наличии сильных полос поглощения.

Составлена программа, которая поддерживает разработанную методику нахождения оптических констант численными методами на языке Wolfram Mathematica - 8.0.

Проведены исследования оптических констант (ОК) пленок фторидов, которые наиболее перспективны в средней ИК области спектра. Определены ОК пленок YF3, BaF2,CaF2 в диапазоне спектра 2-12 мкм.

Проведены исследования оптических констант (ОК) пленок двойных фторидов (бифторидов), которые наиболее перспективны в средней ИК области спектра BaF2MgF2, BaF2-CaF2, YF3-BaF2.

Впервые наблюдалось наличие дополнительной дисперсии пленок в областях дополнительного поглощения (3 мкм и 6 мкм), отсутствующих в монокристаллах.

Приведена база данных по оптическим константам тонких пленок YF3, BaF2, CaF2, 98%BaF2+2%MgF2, 90%BaF2+10%CaF2, 67%YF3+33%BaF2, 50% YF3+50% BaF2 и 67% YF3 + 33% CaF2. В базе использованы, как имеющиеся литературные данные, так и оригинальные результаты исследования в области спектра 2-12 мкм.

Разработана методика анализа устойчивости синтезированных покрытий, в основе которой лежит введенный критерий на основе трансформации спектров при конечных ошибках в толщинах слоев.

Для анализа критериев устойчивости была создана программа, написанная на языке Wolfram Mathematica - 8.0.

Проведен сравнительный анализ методик определения устойчивости спектральных характеристик для полосовых интерференционных фильтров, ахроматических просветляющих и светоделительных покрытий.

10. Предложена методика синтеза просветляющих покрытий, которая базируется на использовании базовых структур из пленок с произвольными значениями показателей преломления и последующей заменой части пленок эквивалентными слоями с помощью модернизированной программы Film Manager и предложенным анализом устойчивости синтезированных структур.

11. Результаты работы синтеза просветляющих покрытий на подложках из Si, ZnSe, Ge в среднем инфракрасном диапазоне спектра использованы при выполнении ряда опытноконструкторских работ, проводимых на предприятиях ОАО НИИ «Гириконд», ООО «Тидекс».

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах Котликов Е.Н., Иванов В.А., Моцарь Е.В., Новикова Ю.А., Тропин А.Н. Анализ устойчивости спектральных характеристик многослойных оптических покрытий // Оптика и спектроскопия. – 2011 г. – Т.111. – № 3. – С.515-520.

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Программное обеспечение для анализа устойчивости и коррекции интерференционных покрытий // Научный журнал, информационноуправляющие системы. – 2013 г. – № 1(62). – С. 41– 46.

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Сравнительный анализ критериев устойчивости интерференционных покрытий // Оптический журнал. –2013 г. - Т. 80. – № 9. – С. 61-67.

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Исследование оптических пленок BaxMg1-xF2 // Оптика и спектроскопия. – 2014 г. – Т.117. – № 3. – С.48-52.

Другие публикации:

Котликов Е.Н., Лавровская Н.П., Новикова Ю.А., Тимофеевский А.В., Шалин В.Б.

Оптические константы пленок фторида иттрия. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч.

Ч.1. Технические науки / СПб.: ГУАП. – 2010 г. – С.160-163.

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Прокашев В.Н., Тимофеевский А.В. Исследование оптических пленок Yx Ba1-x F2+x. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч. Ч.1.

Технические науки / СПб.: ГУАП. – 2011 г. – С. 133-136.

Котликов Е.Н., Моцарь Е.В, Новикова Ю.А., Матросов С.В. Синтез широкополосных просветляющих покрытий для ИК области спектра. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч. Ч.1. Технические науки / СПб.: ГУАП. – 2011 г. – С. 130-133.

Котликов Е.Н., Иванов В.А., Новикова Ю.А., Тропин А.Н., Царев Ю.Н. Исследование оптических свойств пленок легированных фторидов. Известия ГУАП №1.

Аэрокосмического приборостроения: науч. журнал / СПб.: ГУАП. – 2011 г. – С.117Котликов Е.Н., Моцарь Е.В., Новикова Ю.А., Тропин А.Н. Анализ устойчивости многослойных интерференционных покрытий. Известия ГУАП №1. Аэрокосмического приборостроения: науч. журнал / СПб.: ГУАП. – 2011 г. - С.123-131.

10. Котликов Е.Н., Иванов В.А., Новикова Ю.А., Тропин А.Н. Проектирование и особенности изготовления инфракрасных оптических покрытий с воспроизводимыми характеристиками. Известия ГУАП №2. Аэрокосмического приборостроения: науч.

журнал / СПб.:ГУАП. – 2011г.– С. 72-78.

11. Новикова Ю.А. Исследование оптических констант пленок Yx Ba1-x F2+x. Сборник трудов VII Международной конференции молодых ученых и специалистов «ОптикаСПб.: ИТМО. – 2011 г. – Т.79.- С. 12. Новикова Ю.А. Синтез ахроматических просветляющих покрытий для ИК области спектра. Сборник трудов VII Международной конференции молодых ученых и специалистов «Оптика-2011» / СПб.:ИТМО. – 2011г.– Т.79. – С.511.

13. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Прилипко В.К. Программное обеспечение для анализа устойчивости интерференционных покрытий. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч.

Ч.1. Технические науки / СПб.: ГУАП. – 2012 г. – С. 171-174.

14. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Щербак С.Я. Анализ устойчивости и коррекции многослойных интерференционных покрытий по трансформации спектров пропускания. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч. Ч.1. Технические науки / СПб.:

ГУАП. – 2012 г. – С. 174-177.

15. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Сравнительный анализ критериев устойчивости интерференционных покрытий. Сборник трудов VII Международной конференции «Фундаментальные проблемы оптики – 2012»/ СПб.: ИТМО – 2012 г. – С. 198-199.

16. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Исследование пленкообразующих материалов на основе бинарных фторидов. II Всероссийская конференция по фотонике и информационной оптике. Сб. научных трудов. / М.: НИЯ МИФИ – 2013г. – С.111-112.

17. Котликов Е.Н., Андреев В.М., Новикова Ю.А. Определение оптических констант пленок на подложках из кремния. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч. Ч.1.

Технические науки / СПб.: ГУАП. – 2013 г. – С. 164-167.

18. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Исследование оптических пленок фторидов и бифторидов. Научная сессия ГУАП: Сб. докл.: В 3 ч. Ч.1. Технические науки / СПб.:

ГУАП. – 2013 г. – С. 167-169.

19. Котликов Е.Н. Новикова Ю.А. Исследование оптических констант пленкообразующих материалов на основе фторидов для средней инфракрасной области. Сборник трудов VII Международной конференции молодых ученых и специалистов «Оптика-2013» / СПб.: ИТМО. - 2013 г. - С.275-277.