На правах рукописи

Кальянов Александр Леонтьевич

ПОЛНОПОЛЬНАЯ СКАНИРУЮЩАЯ НИЗКОКОГЕРЕНТНАЯ

МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТРИЯ

01.04.05 – Оптика

Автореферат

диссертации на соискание ученой степени

кандидата физико-математических наук

Саратов – 2011

Работа выполнена на кафедре оптики и биофотоники Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского и в лаборатории проблем когерентно оптических измерений в точной механике Института проблем точной механики и управления РАН.

Научный руководитель: доктор физико-математических наук, профессор Рябухо Владимир Петрович

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, профессор Скрипаль Анатолий Владимирович доктор физико-математических наук, профессор Ушаков Николай Михайлович

Ведущая организация: Саратовский государственный технический университет, г. Саратов

Защита диссертации состоится 15 декабря 2011 года в 15 часов 30 минут на заседании диссертационного совета Д 212.243.01 по физико-математическим наукам при Саратовском государственном университете им. Н.Г. Чернышевского по адресу:

410012, г. Саратов, ул. Университетская, 42, III учебный корпус, ауд. 34.

С диссертацией можно ознакомиться в Зональной научной библиотеке имени В.А. Артисевич Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского.

Автореферат разослан «» ноября 2011 года.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор физ.-мат. наук, профессор В.М. Аникин

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность исследований. Когерентно-оптические методы измерения и визуализации занимают особое место в ряду средств, позволяющих восстанавливать оптическую и геометрическую микроструктуру объектов, благодаря сочетанию неразрушающего принципа зондирования исследуемого объекта и достаточно высокой разрешающей способности [Л1, Л2]. Наряду с хорошо известными и широко применяемыми методами визуализации, такими как микроскопия интерференционного и фазового контраста, конфокальная микроскопия, оптическая когерентная томография, в последнее время большое внимание уделяется возможности использования для исследования с высоким пространственным разрешением внутренней структуры объектов оптической интерференционной микроскопия [Л3, Л4, Л5].

Одним из актуальных направлений в оптической интерферометрии является разработка методов и средств визуализации и измерения параметров геометрической формы и внутренней структуры биологических клеток. Такие исследования имеют большое как теоретическое, так и прикладное значение [Л6, Л7]. Фундаментальный характер подобных исследований обусловлен необходимостью развития представлений о метаболических процессах и сопровождающих эти процессы изменениях клеточной структуры тканей [Л8, Л9]. Практическое же применение результатов исследования структуры биологических клеток заключается в возможности использования полученных данных в качестве инструмента для диагностики различного рода заболеваний или инструмента контроля в биоинженерии [Л10, Л11]. С другой стороны востребованным остается изучение рельефа поверхности и внутренней структуры объектов технического происхождения при производстве микроэлектроники и оптических компонентов, контроле качества обработки поверхностей, покрытия их лакокрасочными материалами и др.

Микроинтерферометрия полного поля сочетает в себе высокое поперечное разрешение микроскопа с высоким продольным разрешением интерференционных методов измерения [Л12, Л13, Л14]. Регистрация интерференционного сигнала по всему полю зрения микроскопа позволяет отказаться от поперечного сканирования объекта, благодаря чему уменьшается время исследования. Для сканирования объекта по глубине используют его контролируемое перемещение вдоль оптической оси, что позволяет получить информацию о форме его поверхности, рельефе, а так же о внутренней структуре, в случае если объект достаточно прозрачен. Использование широкополосного источника излучения позволяет получить продольную разрешающую способность системы порядка 1 мкм. Для регистрации сигнала применяются детекторы изображения матричного типа, регистрирующие интенсивность оптического излучения по всему полю зрения. Высокое пространственное разрешение делает метод сканирующей полнопольной микроинтерферометрии эффективным инструментом для изучения формы и внутренней структуры биологических объектов клеточного масштаба.

Любая задача наблюдения и регистрации явления интерференции света предполагает использование детектора излучения, будь то человеческий глаз, фотопластина или матрица цифрового фотоаппарата. Следовательно, интерференционная картина определяется не только свойствами источника излучения, параметрами оптической схемы и структурой объекта исследования, но и характеристиками применяемого детектора. Использование современных цифровых систем регистрации, обработки и визуализации интерференционных картин требует учета спектральных и пространственных параметров матричных фотодетекторов при качественном и количественном анализе интерферограмм, особенно в полихроматическом свете.

Решение вышеописанных проблем и вопросов является актуальным и определило цель настоящей диссертационной работы.

Цель диссертационной работы состояла в разработке и практической реализации сканирующего полнопольного низкокогерентного микроинтерферометра для исследования объектов технического и биологического происхождения, а так же в разработке теории формирования интерференционных изображений в полнопольном интерферометре.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

• Развитие теории формирования изображений слоистых объектов в интерференционном микроскопе с учетом эффектов поперечной и продольной когерентности, описание интерференционной картины, формируемой тремя и более оптическими волнами.

• Создание и апробация сканирующего полнопольного низкокогерентного микроинтерферометра для исследования технических и биологических объектов, изучения рельефа их поверхности, а также внутренней структуры.

• Разработка алгоритмов решения обратной задачи в сканирующей интерференционной микроскопии слоистых микрообъектов, и разработка программного комплекса, позволяющего визуализировать, анализировать и проводить количественные измерения параметров микроформы и микроструктуры объектов технического и биологического происхождения.

• Анализ взаимного влияния спектральных свойств матричного кремниевого детектора и источника излучения на регистрируемую низкокогерентную интерференционную картину.

• Установление физических особенностей использования цветных датчиков изображения в низкокогерентной интерферометрии, установление влияния спектральных параметров таких датчиков на формируемые в низкокогерентной интерферометрии сигналы и изображения в полихроматическом свете.

Научная новизна работы:

• Развита теория формирования изображений слоистых объектов в низкокогерентной микроинтерферометрии с учетом эффектов пространственной когерентности для случая интерференции трех и более оптических полей.

• Разработан алгоритм решения обратной задачи в сканирующей полнопольной микроинтерферометрии, разработано программное обеспечение, позволяющее проводить исследования объектов биологического и технического происхождения на сканирующем полнопольном микроинтерферометре.

• Разработаны теоретические основы и проведен анализ взаимного влияния источника излучения, детектора и, непосредственно, интерферометра, на спектральный состав излучения, формирующего интерференционную картину и связанный ним интерференционный сигнал.

• Разработаны теоретические основы и проведен анализ эффектов, связанных с использованием цветного датчика изображения для регистрации интерференционного сигнала.

Научная и практическая значимость работы Результаты диссертационной работы развивают и дополняют теоретические и экспериментальные основы метода полнопольной сканирующей низкокогерентной микроинтерферометрии.

В работе предложены методы моделирования и учета влияния эффектов, связанных с использованием кремниевых матричных детекторов изображения, монохромных и цветных, для регистрации интерференционного сигнала, в низкокогерентной микроинтерферометрии.

В ходе выполнения работы разработан полнопольный сканирующий низкокогерентный микроинтерферометр для исследования рельефа поверхности и внутренней структуры объектов технического и биологического происхождения.

Разработаны алгоритмы сканирования, визуализации и анализа данных, решения обратной задачи.

Основные результаты и положения, выносимые на защиту:

1. Теоретическая интерпретация и математическая модель формирования интерференционного изображения тремя и более оптическими волнами с учетом эффектов пространственной и временной когерентности интерферирующих оптических волн.

2. Алгоритм решения обратной задачи полнопольной сканирующей интерферометрии и основанный на нем программный комплекс, позволяющий визуализировать, анализировать и проводить количественные измерения параметров микроформы и микроструктуры объектов технического и биологического происхождения.

3. Параметры интерференционного сигнала в частично когерентном свете, формируемого в сканирующем интерференционном микроскопе, – огибающая, период и положение интерференционных осцилляций, определяются совместным влиянием параметров спектра излучения источника, спектра чувствительности детектора и спектра пропускания оптических элементов интерферометра, включая используемые оптические фильтры, а также спектральными свойствами объекта исследования.

4. Параметры интерференционного сигнала в полихроматическим свете – ширина огибающей интерференционного импульса и период осцилляций, регистрируемого в интерференционном микроскопе с матричным цифровым датчиком изображения, существенным образом зависят от настроек баланса белого цветного датчика изображения, используемого в качестве фотодетектора интерференционного изображения.

Личный вклад автора диссертации Соискателем выполнена разработка схемного решения и сборка полнопольного сканирующего низкокогерентного микроинтерферометра при консультативном участии к.ф.-м.н. Лычагова В.В. Лично соискателем разработаны алгоритмы сканирования и восстановления формы и структуры объекта, на их основе разработано программное обеспечение. Эксперименты по изучению совместного влияния компонентов системы на эффективные спектры проведены совместно с аспирантом Смирновым И.В. Лично соискателем получены и проанализированы данные о влиянии настройки баланса белого цветного детектора изображения на форму огибающей интервенционного импульса.

Совместно с научным руководителем выполнено обсуждение результатов и формулировка выводов по диссертационной работе.

Достоверность полученных в работе результатов и выводов обусловлена применением широко используемого в физической оптике теоретического аппарата описания процессов формирования оптических изображения и интерференции частично когерентного света в интерференционных системах, включая системы оптической микроскопии, а также соответствием результатов экспериментальных исследований, формального теоретического анализа и численного моделирования интерференционных изображений и сигналов.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на международной междисциплинарной школе по оптике, лазерной физике и биофизике Saratov Fall Meeting International School for Junior Scientists and Students on Optics, Laser Physics and Biophotonics (SFM) (Саратов, Россия, 2005-2011 гг.), на междисциплинарной международной конференции Optics + Photonics (Сан-Диего, США, 2006, 2008 гг.), на международной конференции European Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), (Мюнхен, Гремания, 2009 г.) Публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 13 печатных работах, из которых 8 научных статей в изданиях, рекомендованных ВАК, 5 статей в трудах международных конференций.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка цитируемой литературы, состоящего из 102 наименований.

Диссертация изложена на 132 страницах, содержит 89 рисунков.

Работа выполнена на кафедре оптики и биофотоники Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского и в лаборатории проблем когерентно оптических измерений и точной механике Института проблем точной механики и управления РАН.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, изложена цель и задачи исследования, кратко изложено содержание работы и сформулированы основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе рассмотрены теоретические вопросы формирования интерференционного сигнала от объектов сложной внутренней структуры в системах полнопольной сканирующей низкокогерентной микроинтерферометрии с учетом эффектов поперечной и продольной когерентности [2,6,7].

На рис. 1 схематично показано сечение слоистого объекта – локальной пленки на подложке, и возможные графики для разностей хода трех объектных 1 ( x, y ), 2 ( x, y ) 3 ( x, y ) и опорной R ( x, y ) волн относительно отсчетной плоскости, совмещенной с гранью делительного кубика.

Рис. 1. Профиль поверхности исследуемого объекта (а)\и соответствующее ему распределение оптической разности хода волн, отраженных границами раздела (б) Для описания интерференционного сигнала от такого сложного многослойного объекта получено выражение: