На правах рукописи

Ященок Алексей Михайлович

ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ

МЕТОДАМИ ПОЛИИОННОЙ СБОРКИ И ЛЕНГМЮРА-БЛОДЖЕТТ

И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ

05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты,

микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Саратов 2007

Работа выполнена на кафедре физики полупроводников Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского

Научный руководитель: Заслуженный деятель науки РФ, доктор технических наук, профессор Климов Борис Николаевич

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, профессор Скрипаль Анатолий Владимирович, доктор технических наук, профессор Сальников Александр Николаевич

Ведущая организация: Саратовский филиал Института радиотехники и электроники РАН

Защита диссертации состоится “24” мая 2007 г. в 15 час. 30 мин. на заседании диссертационного совета Д.212.243.01 по специальности 05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах по адресу: 410026, г. Саратов, ул. Астраханская, 83.

С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке СГУ Автореферат разослан “20” апреля 2007 г.

Ученый секретарь диссертационного совета Аникин В.М

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность В настоящее время ведутся интенсивные исследования в области разработки и создания наноразмерных электронных и оптоэлектронных устройств. Для создания таких систем в большинстве случаев используются неорганические материалы. Многообразие органических веществ и возможность синтеза молекул с заданной структурой обуславливают перспективность их использования в электронике. Применение таких систем реализуется в двух направлениях: 1) модификация поверхности классических полупроводниковых материалов и структур наноразмерными органическими слоями (просветляющие покрытия, изолирующие и защитные слои, пассивирующие покрытия, ориентирующие слои в жидкокристаллических дисплеях); 2) создание принципиально новых компонентов и устройств (функциональные слои в органических светоизлучающих дисплеях, рецепторные центры в твердотельных химических датчиках)1.

В большинстве практически важных случаев необходимо получать организованные слои органических молекул с заданной толщиной и структурой. Наиболее перспективным подходом при создании наноразмерных слоев органических соединений является использование принципа самоорганизации их молекул на поверхности раздела газ-жидкость или жидкость-твердое тело. Примерами практической реализации указанного принципа являются методы Ленгмюра-Блоджетт (ЛБ)1, 2 и полиионной сборки2.

Первый базируется на многократном переносе монослоев дифильных органических соединений с поверхности раздела вода-воздух на поверхность твердой подложки. Метод полиионной сборки состоит в последовательной адсорбции из водного раствора на твердую подложку положительно или отрицательно заряженных молекул полимеров полиэлектролитного типа, образующих заряженные адгезионные монослои. Планарный характер методов позволяет их комбинировать и получать наноразмерные пленки с новыми свойствами.

Физические свойства наноразмерных покрытий, полученных данными методами, во многом определяются выбором веществ, а также толщиной монослоя и пленки в целом. Для формирования пленок ЛБ перспективно использовать объемно-полостные молекулы. Примером таких молекулярных систем являются молекулы -циклодекстрина. Уникальная способность к образованию комплексов включения по типу “гость-хозяин” с веществами органической и неорганической природы обуславливает применение пленок ЛБ дифильных производных -циклодекстринов в качестве чувствительных слоев твердотельных химических датчиков для повышения селективности.

Особенностью метода полиионной сборки для формирования наноразмерных пленок является возможность использования не только заряженных монослоев Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы / Под ред. Лучинина В.В., Таирова Ю.М. – М.:

ФИЗМАТЛИТ, 2006. – 552 с.

Плотников Г.С., Зайцев В.Б. Физические основы молекулярной электроники / М.: Физ. Фак. МГУ, 2000. – 164 с.

органических молекул, но и неорганических наночастиц. Допирование полиэлектролитных слоев наночастицами позволяет расширить диапазоны варьирования их электрофизических и оптических свойств, а значит и возможности практического применения.

В связи с вышесказанным исследование свойств наноразмерных пленок при варьировании состава и толщины является актуальной задачей.

Цель работы: Исследование влияния состава и количества слоев на оптические и электрофизические свойства наноразмерных планарных покрытий, полученных методами полиионной сборки и Ленгмюра-Блоджетт.

Для достижения указанной цели решались следующие задачи:

1. Исследование влияния модификации свойств поверхности монокристаллического кремния полиэлектролитными слоями на:

— значение коэффициента переноса монослоев дифильных циклодекстринов;

— электрофизические свойства структур металл – диэлектрик – полупроводник.

2. Формирование методом полиионной сборки нанокомпозитных покрытий на основе полиаллиламиногидрохлорида, содержащих наночастицы оксида железа, и исследование влияния различных режимов сорбции на их оптические параметры.

3. Исследование влияния числа слоев наночастиц оксида железа на электрофизические, оптические и магнитные свойства нанокомпозитных пленок на основе полиаллиламиногидрохлорида.

Научная новизна:

1. Установлено, что модификация поверхности кремния полиэтиленимином и полистиролсульфонатом натрия приводит к уменьшению коэффициента переноса монослоев дифильных -циклодекстринов.

2. Получены нанокомпозитные пленки на основе наночастиц оксида железа и полиэлектролита полиаллиламиногидрохлорида методом полиионной сборки.

3. Установлено влияние режимов сорбции наночастиц оксида железа и полиаллиламиногидрохлорида на показатель преломления и толщину нанокомпозитной пленки.

4. Показано, что при исследованных режимах сорбции увеличение числа слоев наночастиц оксида железа приводит к увеличению показателя преломления нанокомпозитной пленки на основе наночастиц оксида железа и полиаллиламиногидрохлорида.

Достоверность полученных результатов обусловлена применением в экспериментах стандартной измерительной аппаратуры, воспроизводимостью экспериментальных результатов.

Практическая значимость 1. Результаты исследования влияния полиэлектролитных слоев на перенос монослоев -циклодекстринов могут быть использованы для увеличения селективности твердотельных химических датчиков.

2. Использование полиэлектролитных слоев в качестве промежуточного слоя в МДП-структурах позволит реализовать управление электрофизическими характеристиками данных структур и приборов на их основе.

3. Зависимость показателя преломления и шероховатости поверхности нанокомпозитной пленки на основе полиаллиламиногидрохлорида от числа слоев наночастиц оксида железа позволит использовать данные нанокомпозитные покрытия для улучшения параметров и характеристик, твердотельных фотопреобразующих и светоизлучающих устройств.

4. Результаты исследования магнитных и оптических свойств нанокомпозитных пленок на основе полиаллиламиногидрохлорида и наночастиц оксида железа могут быть использованы для совершенствования известных и разработки новых устройств записи и хранения информации.

Основные положения, выносимые на защиту 1. Модификация свойств поверхности монокристаллического кремния слоями полиэтиленимина и полистиролсульфоната натрия приводит к регулируемому уменьшению значений коэффициента переноса монослоев дифильных -циклодекстринов, что связано со специфическим взаимодействием, обусловленным пространственной конфигурацией молекул -циклодекстринов.

2. Нанесение методом полиионной сборки слоя полиэтиленимина на поверхность монокристаллического кремния n-типа уменьшает сопротивление МДП-структуры вследствие обогащения поверхности полупроводника основными носителями заряда; последующее нанесение полистиролсульфоната натрия и увеличение числа полиэлектролитных слоев приводит к возрастанию сопротивления структуры, что обусловлено компенсацией заряда и увеличением общей толщины пленки.

3. При исследуемых режимах последовательной адсорбции полиаллиламиногидрохлорида и наночастиц оксида железа увеличение числа слоев приводит к увеличению показателя преломления нанокомпозитной пленки, что связано с ростом объемной фракции наночастиц магнетита.

Апробация работы Основные результаты работы были представлены на V-й международной конференции «Оптика, оптоэлектроника и технологии» (Ульяновск, 2003);

Научно-технической конференции «Перспективные направления развития электронного приборостроения» (Саратов, 2003); VI-й международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы»

(Ульяновск, 2004, устный доклад); VII-й международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (Ульяновск, 2005); VIII-й международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (Ульяновск, 2006); Международной конференции, посвященной 60-летию создания института физической химии РАН (Москва, 2005); 20-й международной юбилейной школе-семинаре «Новые магнитные материалы микроэлектроники» (Москва, 2006, устный доклад); Всероссийской конференции инновационных проектов аспирантов и студентов «Индустрия наносистем и материалы» (Москва, 2006, устный доклад); Saratov Fall Meeting – SFM’06 (Saratov, 2006); Санкт-Петербургской международной конференции по НаноБиоТехнологиям (Санкт-Петербург, 2006, устный доклад), на научных семинарах кафедры физики полупроводников.

Данные исследования проводились в рамках государственных контрактов ФЦНТП (№ 02.442.11.7183, №02.442.11.7249, № 02.513.11.3043) и российсконемецкого проекта (DFG 436 RUS 113/844/0-1, РФФИ 06-02-04009).

Личный вклад автора состоит: в получении большинства образцов для исследований, связанных с использованием методов полиионной сборки и Ленгмюра-Блоджетт, а также в создании МДП-структур; измерении электрофизических свойств исследуемых структур; в математической обработке и анализе полученных экспериментальных данных. При использовании результатов других авторов или полученных в соавторстве результатов даются соответствующие ссылки на источник.

Публикации По теме диссертации опубликовано 17 научных работ, в том числе 5 статей в реферируемых научных журналах из списка ВАК.

Структура и объем работы Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы. Объем диссертации составляет страниц, включая 39 рисунков, 6 таблиц. В списке использованных источников содержится 100 наименований.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, рассмотрена новизна, практическая значимость, сформулированы цель работы, основные задачи исследований, приведены основные положения, выносимые автором на защиту.

Первая глава носит обзорный характер. В ней приводится информация о свойствах полиэлектролитных пленок и нанокомпозитных покрытий на их основе, получаемых методом полиионной сборки. Обсуждаются литературные данные о практическом использовании наноразмерных пленок на основе полиэлектролитных слоев, в том числе содержащих магнитные наночастицы.

Рассмотрены методы формирования наноразмерных пленок на твердых подложках, которые основаны на принципах самоорганизации (метод полиионной сборки) и принудительной организации молекул вещества (метод Ленгмюра-Блоджетт). Кроме того, обсуждается возможность комбинации методов Ленгмюра-Блоджетт и полиионной сборки с целью создания мультислойных пленок с новыми свойствами.

Вторая глава посвящена исследованию влияния модификации свойств поверхности подложки монокристаллического кремния полиэлектролитными слоями катионного и анионного типа на:

— коэффициент переноса монослоев дифильных -циклодекстринов;

— электрофизические свойства структур металл – диэлектрик – полупроводник.

монокристаллического кремния на коэффициент переноса монослоев Ленгмюра-Блоджетт использовали дифильные производные -циклодекстринов с различным числом привитых алкильных цепей С15Н31: одной (-ЦД-1), тремя (-ЦД-3) и пятью (-ЦД-5); в качестве полиэлектролитных слоев использовали катионный полиэтиленимин (PEI) и анионный полистиролсульфонат натрия (PSS). Перед нанесением пленок ЛБ на поверхности монокристаллического кремния формировали адгезионный слой методом полиионной сборки из водных растворов PEI и PSS. При переносе монослоев дифильных -ЦД на поверхности модифицированных подложек формировали несколько зон с разным числом монослоев. Исследуемые структуры представлены на рисунке 1.

Количественную оценку степени переноса монослоев -циклодекстринов проводили, рассчитывая коэффициент переноса (K). Коэффициент переноса определяли как отношение убыли площади монослоя на водной субфазе при погружении или поднятии подложки (Sp) к площади поверхности подложки (Sn), на которую осуществляли перенос монослоя.

Установлено, что коэффициент переноса монослоев исследуемых -ЦД на немодифицированную поверхность монокристаллического кремния при погружении подложки в субфазу не зависит от числа алкильных радикалов в Наибольшая чувствительность изменению поверхности твердой монослоев. Показано, что влияние катионного монослоя тем сильнее, чем меньше алкильных цепей в молекуле -циклодекстрина, с Рис. 1. Схематичное изображение образцов а – увеличением алкильных цепей немодифицированная подложка, б – подложка, значения коэффициента переноса модифицированная слоем PEI, в – подложка, возрастают (рис. 2).

полиэлектролитных слоев на монослоев перенос монослоев дифильных ЦД обусловлено образованием комплексов “гость-хозяин”. В случае нанесения катионного полиэтиленимина на поверхность подложки монокристаллического кремния образование таких комплексов вызвано включением положительно заряженных коротких боковых алкильных цепей PEI в полость циклодекстрина, которая обладает избыточной электронной плотностью.

Существование комбинированного отрицательного слоя PEI/PSS на поверхности монокристаллического кремния вызывает образование комплексов “гость-хозяин” за счет включения в полость циклодекстрина бензольного кольца, при этом отрицательно заряженная сульфогруппа может выходить из коэффициента переноса от числа привитых алкильных цепей в молекуле Нанесение полиэлектролитных слоев слоев при погружении подложки в методом полиионной сборки проводили на подложки монокристаллического кремния (КЭФ-5). Для получения электрических контактов использовали метод Рис. 3. Структура образцов и наблюдается на всех измеряемых частотах.

сверху; б – структура со слоем PEI; в – структура со слоем PEI/PSS формуле: R = R ' R", где R', R'' – средние значения динамического сопротивления структур, рассчитанные в области с полиэлектролитной пленкой и без нее соответственно. Показано, что нанесение катионного полиэтиленимина на поверхность кремния (n-типа) уменьшает R (рис. 5) вследствие обогащения основными носителями заряда приповерхностного слоя монокристаллического кремния слоя анионного полистиролсульфоната натрия приводит к увеличению R структуры, по сравнению с модификацией слоем PEI, при этом происходит компенсация заряда катионного PEI анионным PSS вследствие взаимного проникновения заряженных боковых цепей полиионных молекул полиэлектролитов3. При увеличении количества наносимых монослоев полиэлектролитов на подложку кремния происходит возрастание R структуры.

Таким образом, модификация свойств поверхности монокристаллического кремния полиэлектролитными слоями катионного и анионного типа позволяет регулировать перенос монослоев -циклодекстринов, а также осуществлять управление электрофизическими характеристиками МДП-структур.

Третья глава посвящена исследованию влияния режимов сорбции на оптические параметры нанокомпозитных пленок на основе полиаллиламиногидрохлорида с наночастицами оксида железа (Fe3O4) (форма преимущественно сферическая, средний размер – 8 нм, стабилизированы лимонной кислотой) (рис. 6). Формирование нанокомпозитных покрытий проводили на подложках монокристаллического кремния (КЭФ-5) методом полиионной сборки.

Последовательную сорбцию из водных Рис. 6. ПЭМ изображения растворов полиаллиламиногидрохлорида наночастиц оксида железа Electrical detection of self-assembled polyelectrolyte multilayers by a thin film resistor / P.A. Neff, A. Naji, C. Ecker, B. Nickel, R. Klitzing, A.R. Bausch // Macromolecules. – 2006. – V. 39, No. 2. – P. 443-446.

(PAH) и наночастиц оксида железа (Fe3O4) проводили без применения интенсификацией сорбции и промывки и без таковой) (рис. 7). Исследование

PEI PAH

установки: 1-основание; 2-кран промывки, совпадают с точностью до (устройство вертикального перемещения 1%. Кроме того, при данных режимах подложки); 3-штанга крана; 4-держатель подложки; 5-подложка; 6-барабан; 7сосуды с жидкостями; 8-электронная приводит к увеличению показателя схема управления; 9-шаговый двигатель преломления нанокомпозитных пленок барабана; 10-микропереключатель; 11- (табл. 1).

Результаты эллипсометрических исследований нанокомпозитных пленок Таким образом, установлено влияние режимов сорбции наночастиц оксида железа и полиаллиламиногидрохлорида на подложках монокристаллического кремния на показатель преломления и толщину нанокомпозитной пленки.

Показано, что при исследуемых режимах сорбции увеличение числа слоев наночастиц оксида железа приводит к увеличению показателя преломления нанокомпозитной пленки на основе наночастиц оксида железа и полиаллиламиногидрохлорида.

Четвертая глава посвящена исследованию влияния числа слоев наночастиц оксида железа на показатель преломления, морфологию и полиаллиламиногидрохлорида с наночастицами оксида железа. По результатам исследования влияния режимов сорбции на толщину и показатель преломления нанокомпозитных пленок было проведено сравнение толщины и показателя преломления полиэлектролитных пленок, не содержащих наночастицы.

Установлено, что показатель полистиролсульфоната натрия и полиаллиламиногидрохлорида на 1, подложках монокристаллического кремния практически не зависит от 1, числа слоев (рис. 8) и составляет 1.48±0.02. Полученное значение 1, показателя преломления для пленок нанокомпозитных пленок на основе полиаллиламиногидрохлорида с наночастицами оксида железа показатель преломления увеличивается по сравнению с полиэлектролитной пленкой без наночастиц (рис. 8). Кроме того, увеличение показателя преломления нанокомпозитных пленок происходит при увеличении числа слоев полиэлектролита и наночастиц (рис. 8). Такое изменение значений показателя преломления связано с возрастанием объемной фракции наночастиц Fe3O4 в нанокомпозитной пленке на основе полиаллиламиногидрохлорида при увеличении числа последовательно наносимых слоев.

Исследование методом атомно-силовой микроскопии поверхности нанокомпозитной пленки проводили на атомно-силовом микроскопе Nanoscope III multimode (Digital Instruments Inc, USA) в полуконтактном режиме с постоянной величиной прижимной силы равной 42 Н/м, частота сканирования полиаллиламиногидрохлорида с наночастицами оксида железа характерно образование агломератов из наночастиц при увеличении числа последовательно наносимых слоев (рис. 9). Среднее значение шероховатости (Ra) поверхности нанокомпозитной пленки возрастает с увеличением числа слоев полиэлектролита и наночастиц оксида железа и составляет: PEI/(Fe3O4/PAH)1 – Ra = 5.3 нм; PEI/(Fe3O4/PAH)2 – Ra = 6.9 нм; PEI/(Fe3O4/PAH)3 – Ra = 7.7 нм;

PEI/(Fe3O4/PAH)6 – Ra = 12.1 нм. Возрастание значений шероховатости Ra поверхности нанокомпозитной пленки с увеличением числа последовательно наносимых слоев говорит об увеличении эффективной поверхности пленки.

Electrochemical and in situ ellipsometric investigation of the permeability and stability of layered polyelectrolyte films / J.J. Harris, M.L. Bruening // Langmuir. – 2000. – V. 16. – P. 2006-2013.

Рис. 9. АСМ изображения поверхности нанокомпозитных пленок с различным числом слоев наночастиц оксида железа: a-слой PEI; б-PEI/(Fe3O4/PAH)2; в-PEI/(Fe3O4/PAH)6.

Исследования вторичной ионной масс-спектрометрии проводили на массспектрометре МИ-1305. Были получены концентрационные профили нанокомпозитных пленок на основе PAH с наночастицами оксида железа (рис. 10). Установлено возрастание выхода атомов железа с увеличением числа слоев полиэлектролита PAH и наночастиц оксида железа. Из полученных зависимостей концентрационного профиля нанокомпозитных пленок была определена площадь под кривыми, величина которой пропорциональна числу атомов железа в пленке. Полученный результат свидетельствует об увеличении объемной фракции наночастиц при увеличении последовательной сорбции компонентов нанокомпозитной пленки, что подтверждает зависимость Выход Fe+, произв. ед.

1,4 S(22)/S(12) = 1. Рис. 10. Концентрационный профиль слоев (вертикальными линиями на кривых отмечено время полного протравливания где a, b – диэлектрические пленки, рядом приведены значения отношений площадей под кривыми выхода атомов железа для пленок с 22 и 32 слоями к площади под кривой выхода атомов железа для пленки с слоями) eff – эффективная диэлектрическая проницаемость нанокомпозитной пленки.

Полученные значения объемной фракции наночастиц оксида железа в нанокомпозитной пленке на основе полиаллиламиногидрохлорида представлены в таблице 2. Оценка показала, что объемная фракция наночастиц оксида железа в нанокомпозитной пленке на основе PAH увеличивается с возрастанием числа наносимых слоев. При использовании автоматизированной установки для получения нанокомпозитных пленок значения объемной фракции наночастиц возрастают практически линейно с увеличением числа слоев по сравнению со значениями, рассчитанными для нанокомпозитных пленок, полученных без применения установки.

Результаты оценки объемной фракции наночастиц оксида железа в нанокомпозитной Характеристики Исследование нанокомпозитных пленок на основе PAH с наночастицами оксида железа методом электронного парамагнитного резонанса (ЭПР) проводили на спектрометре Varian E-4 EPR X при фиксированной частоте сигнала 9.2 ГГц. Спектры всех исследованных образцов содержат интенсивную ассиметричную широкую (ширина линии 600-700 Э) линию с эффективным фактором спектроскопического расщепления geff, зависящим от ориентации вектора нормали n к плоскости пленки по отношению к внешнему магнитному полю H0. При повороте пленки от положения n||H0 до положения nH0 значение geff меняется, соответственно, от 1.5 до 3. Значительная анизотропия gфакторa резонансной линии в нанокомпозитных пленках, содержащих наночастицы оксида железа, свидетельствует о существенной намагниченности образцов.

Измерены вольт-амперные характеристики МДП-структур, содержащих нанокомпозитные пленки следующего состава: PEI/(Fe3O4/PAH)6, PEI/(Fe3O4/PAH)11, PEI/(Fe3O4/PAH)16. Установлено, что при использовании нанокомпозитной пленки в качестве промежуточного слоя в МДП-структурах наблюдается возрастание их сопротивления. Значения сопротивления зависят от числа слоев наночастиц оксида железа.

Таким образом, обнаружена зависимость физических параметров нанокомпозитных пленок на основе полиэлектролита PAH с наночастицами оксида железа от числа формируемых слоев. Полученный результат может быть использован для регулирования оптических и магнитных свойств нанокомпозитных пленок.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Модификация свойств поверхности кремния полиэтиленимином и полистиролсульфонатом натрия приводит к уменьшению коэффициента переноса монослоев дифильных -циклодекстринов, что связано со специфическим взаимодействием между молекулами полиэлектролитов и циклодекстринов (образование комплексов включения "гость-хозяин").

2. Нанесение слоя полиэтиленимина на поверхность монокристаллического кремния приводит к уменьшению сопротивления МДП-структуры, что связано с увеличением концентрации основных носителей заряда в приповерхностной области полупроводника. Дальнейшее осаждение слоя полистиролсульфоната натрия и увеличение числа полиэлектролитных слоев приводит к возрастанию сопротивления МДП-структуры, что обусловлено компенсацией заряда, а также возрастанием толщины полиэлектролитной пленки.

3. Методом полиионной сборки получены нанокомпозитные пленки на основе полиэлектролита полиаллиламиногидрохлорида с наночастицами оксида железа на поверхности монокристаллических кремниевых пластин.

Установлено влияние режимов сорбции полиаллиламиногидрохлорида и наночастиц оксида железа на показатель преломления и толщину нанокомпозитной пленки.

4. Показано, что при исследованных режимах сорбции увеличение числа слоев наночастиц оксида железа приводит к увеличению показателя полиаллиламиногидрохлорида с наночастицами оксида железа.

5. Увеличение показателя преломления нанокомпозитной пленки на основе полиаллиламиногидрохлорида с возрастанием числа слоев наночастиц оксида железа связано с ростом объемной фракции наночастиц магнетита в нанокомпозитной пленке, который происходит за счет увеличения эффективной поверхности пленки (увеличение шероховатости).

6. Установлено, что наличие нанокомпозитной пленки в МДП-структуре влияет на вид вольт-амперных характеристик и увеличивает сопротивление структуры. На значение сопротивления МДП-структуры влияет число слоев наночастиц магнетита в нанокомпозитной пленке.

7. ЭПР спектры нанокомпозитных пленок с различным числом слоев наночастиц магнетита содержат интенсивную широкую линию, обладающей заметной анизотропией g-факторa, что свидетельствует о значительной намагниченности образцов.

СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев / Д.И. Биленко, В.П. Полянская, М.А. Гецьман, Д.А. Горин, А.А. Невешкин, А.М. Ященок // ЖТФ. – 2005. – Т. 75, вып. 6. – С. 69-73.

2. Электрофизические свойства МДП-структур содержащих наноразмерные пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе -циклодекстрина / А.М. Ященок, Д.А. Горин, К.Е. Панкин, А.А. Невешкин, М.А. Гецьман, Б.Н. Климов, С.Н. Штыков // ЖТФ. – 2006. – Т. 76, вып. 4. – С. 105-108.

3. Автоматизированная установка для получения наноразмерных покрытий методом полиионной сборки / С.А. Портнов, А.М. Ященок, А.С. Губский, Д.А. Горин, А.А. Невешкин, Б.Н. Климов, А.А. Нефедов, М.В. Ломова // Приборы и техника эксперимента. – 2006. – № 5. – С. 1-6.

4. Коэффициент переноса пленок Ленгмюра-Блоджетт как индикатор поверхности монокристаллического кремния, модифицированной полиионными слоями / А.М. Ященок, Д.А. Горин, К.Е. Панкин, М.В. Ломова, С.Н. Штыков, Б.Н. Климов, Г.И. Курочкина, М.К. Грачев // ФТП. – 2007. – Т.41, вып. 6. – С. 706-710.

5. Электрофизические свойства структур металл – диэлектрик – полупроводник содержащих наноразмерные пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе каликс[4]резорцинаренов с ионами металлов / Б.Н. Климов, А.А. Невешкин, А.М. Ященок, Д.А. Горин, А.О. Мантуров, Т.Ю. Русанова, С.Н. Штыков // Вестник СГТУ. – 2006. – № 4 (17), вып. 2. – С. 32-38.

полиэлектролит/наночастицы магнетита / Д.А. Горин, А.М. Ященок, Ю.А. Кокшаров, Д.О. Григорьев, Е.А. Мальцева, Г.Б. Хомутов, Г.Б. Сухоруков // Новые магнитные материалы микроэлектроники: Программа 20 международной юбилейной школы-семинара – Москва. 2006, С. 1062-1064.

7. Пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе высокомолекулярных соединений и их применение / Б.Н. Климов, С.Н. Штыков, Д.А. Горин, Т.Ю. Русанова, М.А. Гецъман, А.А. Невешкин, А.М. Ященок // Перспективные направления развития электронного приборостроения: Материалы науч.-техн. конф. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2003. - С. 236-237.

8. Монослои и пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе новых органических веществ / С.Н. Штыков, К.Е. Панкин, Б.Н. Климов, Д.А. Горин, М.А. Гецьман, А.М. Ященок // Перспективные направления развития электронного приборостроения: Материалы науч.-техн. конф.- Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2003. - С. 249-252.

9. Вольт-амперные характеристики структур алюминий – пленка ЛенгмюраБлоджетт на основе -циклодекстрина – монокристаллический кремний / C.Н. Штыков, Б.Н. Климов, К.Е. Панкин, Д.А. Горин, М.А. Гецьман, А.М. Ященок, Г.И. Курочкина, А.Е. Глазырин, М.К. Грачев // Оптика, оптоэлектроника и технологии: Труды V международной конференции. Ульяновск: Изд-во УлГУ, 2004. - С. 99.

10. Эллипсометрическое исследование наноразмерных полиионных слоев на монокристаллическом кремнии / Б.Н. Климов, Д.А. Горин, А.М. Ященок, А.А. Невешкин, А.А. Нефедов, С.В. Черноморов // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы: Труды VII международной конференции. Ульяновск: Изд-во УлГУ, 2005. - С. 19.

11. Динамические вольт-амперные характеристики нанокомпозитных покрытий с наночастицами Fe3O4 / Б.Н. Климов, Д.А. Горин, А.А. Невешкин, А.М. Ященок, А.А. Нефедов // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы: Труды VIII международной конференции. - Ульяновск: Изд-во УлГУ, 2006. - С 109.

12. Особенности ВАХ МДП-структур, содержащих наноразмерные пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе каликс[4]резорцинарена с ионами металлов / А.А. Невешкин, Д.А. Горин, А.М. Ященок, А.О. Мантуров, Б.Н. Климов // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы:

Труды VIII международной конференции. - Ульяновск: Изд-во УлГУ, 2006. С 108.

13. Характеристики смешанных монослоев на основе производных циклодекстрина с некоторыми органическими хромофорами / С.Н. Штыков, Д.А. Горин, К.Е. Панкин, А.М. Ященок, Г.И. Курочкина, М.К. Грачев // Сборник тезисов Международной конференции, посвященная 60-летию создания института физической химии РАН – Москва, 2005. – Т. 1, ч. 1 С. 366.

14. Автоматизированная установка для получения нанокомпозитных покрытий методом полиионной сборки / А.С. Губский, С.А. Портнов, А.М. Ященок, Д.А. Горин, А.А. Невешкин, Б.Н. Климов, М.В. Ломова, Т.А. Колесникова // Индустрия наносистем и материалы: Материалы конференции. – М.: МИЭТ, 2006. – С. 85-90.

15. Nanocomposite planar films of polyelectrolyte/iron oxide nanoparticles / A.M. Jashchenok, D.A. Gorin, D.O. Grigorev, Yu.A. Koksharov, A.A. Serdobincev, A.A. Neveshkin, M.V. Lomova, G.B. Khomutov, G.B. Sukhorukov, H. Mhwald // International workshop on nanobiotechnologies: Abstracts of international workshop. - SPb., Publishing House of Politechnical University, 2006. – p. 59.

16. Автоматизация процесса получения нанокомпозитных покрытий методом полиионной сборки / С.А. Портнов, Д.А. Горин, А.М. Ященок, А.С. Губский, А.А. Невешкин, А.А. Нефедов, М.В. Ломова // Химия поверхности и нанотехнология: Третья Всероссийская конференция. – Санкт-Петербург, 2006. – С. 201-202.

17. Влияние микроволнового облучения на оптические и электрофизические свойства полиионных слоев с наночастицами магнетита / Д.А. Горин, А.М. Ященок, А.А. Невешкин, Б.Н. Климов, А.О. Мантуров, А.А. Нефедов // Химия поверхности и нанотехнология: Третья Всероссийская конференция. – Санкт-Петербург, 2006. – С. 242-243.