Специальность 05.13.06 –“Автоматизация и управление технологи
ческими процессами и производствами” (приборостроение). Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва –2010 г.
Работа выполнена на кафедре “Системы автоматического управле ния и контроля в микроэлектронике” Московского государственного института электронной техники (технический университет) Научны й рук оводитель : доктор технических наук, профессор Портнов Е.М. Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор Бондаревский А.С. кандидат технических наук Дударев Д.А. Ведущ ая организация: ГУП НПЦ «ЭЛВИС», г. Москва Защита диссертации состоится “ 8 ” апреля 2010 г. в 14:30 часов на заседании диссертационного совета Д.212.134.04 при Московском государственном институте электронной техники (тех ническом университете) по адресу : 124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5, МИЭТ. С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МИЭТ . Автореферат разослан “ 17 ” февраля 2010 г. Ученый секретарь диссертационного совета Д.212.134.04 доктор технических наук, профессор А.И. Погалов 2 Общая характеристика работы На современном этапе развития науки и техники при стремительно развивающихся технологиях, увеличивающейся сложности приборов и систем, возрастании требований к их надежности и долговечности, не уклонном развитии автоматизации различных этапов производства весьма актуальной является проблема повышения требований к технологичеcкому оборудованию. В то же время обеспечить необходи мое качество производства высокотехнологичных изделий можно лишь при строгом соблюдении и контроле всех этапов технологического про цесса. На сегодняшний момент технологические процессы целого ряда отраслей науки и техники связаны с необходимостью постоянного кон троля и точного дозирования химических газовых реагентов. Теоретическим исследованиям и разработке фундаментальных ос нов в области расходометрии посвящены труды видных ученых П.П. Кремлевского, А.Н. Павловского, В.М. Ильинского, Ф. Мейзда, Ф. Хер нинга, Г.П. Катыса и многих других. Разработкой и выпуском расходо меров в настоящее время занимаются многие ведущие российские и ми ровые приборостроительные фирмы, в частности: «Саратовгазавтома тика» , ЗАО “Взлет”, АО “Центрприбор”, НПФ “ТЭМсервис”, Про мышленная группа “Метран” (Россия), Flow Meter (Великобритания), Foxboro, Thermo Fisher Scientific, Rockwell, Hoffer Flow controls, Barton (США), Burkert Easy Fluid Control Systems, VSE (Германия), Faure Herman (Франция) . Потребность в измерении параметров потоков газообразных ве ществ испытывают многие отрасли. Значительное число производст венных процессов во многих высокотехнологичных отраслях промыш ленности (особенно в генных технологиях, биотехнологиях, медицине, системах жизнеобеспечения, микро и наноэлектронике, ядерных тех нологиях, тонких химических технологиях, пищевых технологиях) свя заны с процессом массопереноса различных газообразных веществ со временные двигатели внутреннего сгорания оснащаются интеллекту альными системами впрыска топлива с применением прецизионных до заторов. Характеризуя современные приборы метрологического назна чения , следует отметить , что они не в состоянии с достаточной точно стью производить измерение и не гарантирует неизменность основных нормируемых точностных характеристик (погрешность и динамический диапазон измерения). Применяющиеся сегодня в качестве рабочих и образцовых средств измерения расходомеры типа РГС1, РГС2, счетчики газа ТРСГИРГА РВ, СГ1, CГ2, расходомерсчетчик электромагнитный РСМ05 имеют погрешность 12 % и уже не обеспечивают требуемой точности и вос производимости технологических процессов. Данный фактор явно не удовлетворяет запросы современных высокотехнологичных отраслей промышленности, где требуется подача разнообразных химических реагентов с погрешностью, не превышающей 0.6 %, а в области микро
[ 
«