WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

«УТВЕРЖДАЮ»

Зав. кафедрой

«……» _ 2013 г.

РАБОЧАЯ ПРОГРАММА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ

(наименование дисциплины (модуля)

Направление/специальность подготовки Приборостроение Профиль/специализация подготовки Технология приборостроения Квалификация (степень) выпускника бакалавр (бакалавр, магистр, специалист) Форма обучения очная (очная, очно-заочная) г. Пенза 2013 г.

1. ЦЕЛИ ОСВОЕНИЯ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

Целями освоения учебной дисциплины (модуля) «Технология изготовления микромеханических устройств» являются формирование профессиональной компетенции:

ПК-7: «Способен рассчитывать и проектировать элементы и устройства, основанные на различных физических принципах действия».

2. МЕСТО УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ В СТРУКТУРЕ ООП ВПО

Дисциплина «Технология изготовления микромеханических устройств»

относится к профессиональному циклу Б.3. Данная дисциплина базируется на знаниях, полученных в ходе изучения курсов «Метрология, стандартизация и сертификация», «Технология изготовления приборов», «Физические основы получения информации», «Основы проектирования приборов и систем». Учебная дисциплина «Технология изготовления микромеханических устройств» готовит студента к освоению профессиональных компетенций ПК-4, ПК-33.

3. КОМПЕТЕНЦИИ СТУДЕНТА, ФОРМИРУЕМЫЕ В РЕЗУЛЬТАТЕ

ОСВОЕНИЯ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ) / ОЖИДАЕМЫЕ

РЕЗУЛЬТАТЫ ОБРАЗОВАНИЯ И КОМПЕТЕНЦИИ СТУДЕНТА ПО

ЗАВЕРШЕНИИ ОСВОЕНИЯ ПРОГРАММЫ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

В результате освоения дисциплины студент должен:

1) Знать: базовые конструктивно-технологические решения, используемые при создании и производстве микромеханических устройств и приборов, основные технологические процессы изготовления микромеханических устройств.

2) Уметь: рассчитывать и проектировать варианты топологии и конструкции чувствительных элементов микромеханических датчиков, схемы температурной компенсации выходного сигнала.

3) Владеть: методиками разработки технологических процессов изготовления, сборки и испытания чувствительных элементов и микромеханических датчиков.

4. СТРУКТУРА И СОДЕРЖАНИЕ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

Общая трудоемкость дисциплины составляет _4_ зачетных единицы, _144_ часов.

Формы текущего контроля успеваемости семестра Семестр Неделя (по неделям Раздел Виды учебной деятельности, включая № семестра) учебной самостоятельную работу студентов п/п дисциплины и трудоемкость (в часах) Форма промежуточной аттестации (по семестрам) 1 8 1 Лекция Текущий Введение.

- 2 часа контроль на занятии 2 8 3 Лекция Практи Лабора Самост Текущий сведения о кремнии аллическо м кремнии Применени кремниевы тензорезис датчиках физически х величин Температу компенсац выходного сигнала тензорезис полупрово дниковых датчиков давления нические датчики физически х величин.

технологии изготовлен микромеха нических устройств

5. ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

В процессе освоения студентами дисциплины «Технология изготовления микромеханических устройств используются следующие образовательные технологии»:

Лекции с применением мультимедийных технологий;

Практические занятия;

Самостоятельная работа студентов;

6. ОЦЕНОЧНЫЕ СРЕДСТВА ДЛЯ ТЕКУЩЕГО КОНТРОЛЯ

УСПЕВАЕМОСТИ, ПРОМЕЖУТОЧНОЙ АТТЕСТАЦИИ ПО ИТОГАМ

ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ И УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ

ОБЕСПЕЧЕНИЕ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ СТУДЕНТОВ

Для проведения текущего контроля успеваемости студентов предусмотрены следующие контрольные вопросы:

1. Понятие микросистемной техники. Особенности, основные положения, этапы развития микросистемной техники.

2. Кремний как механический элемент в микросистемной технике.

Общие сведения о кремнии, элементарная ячейка кремния. Анизотропия, индексы Миллера.

3. Искажение кристаллической решетки кремния, поверхность кристалла, дефекты, плотность дислокаций.

4. Монокристаллический и поликристаллический кремний.

Механические и электрофизические свойства кремния 5. Обобщенная структура составляющих тензоэффекта в тензорезисторах. Коэффициент тензочувствительности 6. Применение тензорезистивного эффекта в чувствительных элементах датчиков давлений.

7. Принципы построения чувствительных элементов датчиков давлений на основе тензорезистивного эффекта, измерительный мост Уитстона.

8. Варианты топологии и конструкции чувствительных элементов датчиков давлений.

9. Применение эффекта изменения емкости в чувствительных элементах датчиков давлений.

10. Температурная зависимость характеристик кремниевых тензорезисторов. Конструктивно – технологический и схемотехнический способы компенсации температурной погрешности.

11. Компенсация температурной погрешности при питании датчиков током и напряжением. Температурная компенсация начального выходного сигнала и чувствительности полупроводниковых чувствительных элементов датчиков. Использование термозависимых и термонезависимых резисторов в схемах температурной компенсации.

12. Емкостные полупроводниковые датчики давления.

13. Микромеханические акселерометры.

14. Датчики Холла. Химические датчики.

15. Типовой технологический процесс изготовления чувствительных элементов интегральных полупроводниковых датчиков давления.

16. Операции химической очистки, окисления, травления, ионного легирования, диффузии, фотолитографии Темы лабораторных работ:

1. Исследование топологии чувствительного элемента интегрального полупроводникового датчика давления.

2. Определение градуировочной характеристики интегрального полупроводникового датчика давления.

3. Исследование температурной зависимости характеристик чувствительного элемента интегрального полупроводникового датчика давления 4. Определение погрешности интегрального полупроводникового датчика Темы практических занятий 1. Расчет характеристик чувствительного элемента интегрального полупроводникового датчика давления.

2. Разработка типового технологического процесса изготовления чувствительного элемента интегрального полупроводникового датчика давления

7. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

а) основная литература:

1. Гридчин В.А., Драгунов В.П. Физика микросистем: Учеб. пособие.

В 2 ч. Ч. 1. -Новосибирск: Изд-во ПГТУ, 2004. - 416 с. - (Серия «Учебники НГТУ»).

2. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. - М.: Сов. радио, 1980. - 420 с.

Энергоатомиздат, 1983.

4. Виглеб. Датчики. Устройство и применение. - М.: Мир, 1989.

5. Чернышев Основы надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем - М.: «Радио и связь», 1988.

б) дополнительная литература:

1. Дж. Най Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц - М.: Мир, 1987.

2. J.C. Greenwood, "Silicon in Mechanical Sensors," J. Phys. E, Sci.

Instrum., vol. 21, pp.1114-28, 1988.

3. Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization / Mark J. Madou. -2nd ed.- CRC Press, 2002.

4. ОСТ 107.460084.200-88. Микросборки. Общие требования и нормы конструирования.

5. The MEMS handbook / Mohamed Gad-el-Hak. - CRC Press, 2002.

6. M. Elwenspoek, H. Jansen. Silicon Micromachining. p.cm. - (Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering; 7). - Cambridge University Press. - 1998 (ISBN 0 521 59054 X).

в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы www.bsac.eecs.berkeley.edu.

www.mems.sandia.gov

6. МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ УЧЕБНОЙ

ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

Занятия по дисциплине «Технология изготовления микромеханических устройств» проводятся в лекционных аудиториях, оборудованных специализированной учебной мебелью и средствами мультимедиа (ноутбук, проектор, проекционный экран) Лабораторные занятия проводятся в специализированной лаборатории электронных приборов. Для выполнения работ оборудованы четыре рабочих места. В состав каждого рабочего места входят:

Микроскоп…………………………………………………………………………1 шт.

Устройство для исследования характеристик полупроводниковых кристаллов (зондовое устройство МКНИ. 757644.050) 1 шт.

Универсальный лабораторный стенд с набором сменных макетных плат 1 шт.

Образцы полупроводниковых чувствительных элементов 5 шт.

Программа составлена в соответствии с требованиями ФГОС ВПО с учетом рекомендаций и ПрООП ВПО по направлению и профилю подготовки «Приборостроение»_.

Автор(ы) к.т.н, доцент Волков В.С. _ Рецензент(ы) Программа одобрена на заседании (Наименование уполномоченного органа вуза (УМК, НМС, Ученый совет) от _ года, протокол №

Похожие работы:

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ МОСКОВСКИЙ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ) ИНСТИТУТ ТЕПЛОВОЙ И АТОМНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ (ИТАЭ) (ЦППОЭ и ТЭС) Направление подготовки: 140100 Теплоэнергетика и теплотехника Профиль(и) подготовки: - Тепловые и атомные электростанции, Схемы, оборудование и эксплуатация энергетических установок, Технологические процессы и производства - Природоохранные технологии на ТЭС, Парогазовые и газотурбинные установки ТЭС, Технология воды и топлива на ТЭС, -...»

«Учреждение Российской академии наук Государственный научный центр Российской Федерации – Институт медико-биологических проблем Российской академии наук Некоммерческая организация Ассоциация Народный СпортПарк Международный университет в Москве ДОНОЗОЛОГИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ И УКРЕПЛЕНИЕ СОМАТИЧЕСКОГО ЗДОРОВЬЯ И ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ РЕЗЕРВОВ ОРГАНИЗМА ЧЕЛОВЕКА (МЕДИЦИНСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ НАВИГАТОР ЗДОРОВЬЯ) Москва, 2010 2 Григорьев А.И., Орлов В.А., Журова С.С., Фетисов О.Б., Шавырин И.Б. Донозологический...»

«Департамент образования Вологодской области Бюджетное образовательное учреждение среднего профессионального образования Вологодской области Вологодский политехнический техникум УТВЕРЖДАЮ: Директор БОУ СПО ВО Вологодский политехнический техникум / М.В. Кирбитов/ Приказ № 90 29_082013г. РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ Заправка транспортных средств горючими и смазочными материалами 190631.01 Автомеханик Кубенское 2013 г. ДЕПАРТАМЕНТ ОБРАЗОВАНИЯ ВОЛОГОДСКОЙ ОБЛАСТИ Бюджетное...»

«ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ЛЕСНОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЙ ЦЕНТР ПРИМЕРНАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ Организация и проведение мероприятий по охране и защите лесов специальность 250110 Лесное и лесопарковое хозяйство (базовой подготовки) п. Правдинский 2011 Примерная программа профессионального модуля Организация и проведение мероприятий по охране и защите лесов (базовой подготовки) разработана на основе федерального...»

«ФИЗИКА ПЛАЗМЫ В СОЛНЕЧНОЙ СИСТЕМЕ При поддержке ПРОГРАММА ПОНЕДЕЛЬНИК, 10 ФЕВРАЛЯ 2014 г. 09.00-20.00 09.00- Регистрация. Фойе конференц-зала ИКИ РАН. 09.20-09.30 Открытие конференции. Конференц-зал ИКИ РАН. СЕКЦИЯ СОЛНЦЕ. Конференц-зал ИКИ РАН Председатель: Обридко В.Н. 09.30 – 09.45 Соколов Д.Д., Пипин В.В., Мосс Д.Л. Обращения магнитного диполя в свете наблюдательных данных и моделей динамо. 09.45 – 10.00 Беневоленская Е.Е., Понявин Ю.Д. Изменение полярного магнитного поля солнца в солнечном...»

«Департамент образования и науки Брянской области Государственное бюджетное образовательное учреждение среднего профессионального образования Брянский техникум энергомашиностроения и радиоэлектроники Рабочая программа Профессионального модуля ПМ. 04 Дефектация сварных швов и контроль качества сварных соединений по профессии среднего профессионального образования 150709.02 Сварщик (электросварочные и газосварочные работы) Брянск 2013 год 1 Рабочая программа профессионального модуля разработана на...»

«ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ЛЕСНОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЙ ЦЕНТР ПРИМЕРНАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ ПРОВЕДЕНИЕ РАБОТ ПО ЛЕСОУСТРОЙСТВУ И ТАКСАЦИИ специальность 250110 Лесное и лесопарковое хозяйство (базовой подготовки) п. Правдинский 2011 Примерная программа профессионального модуля Проведение работ по лесоустройству и таксации (базовой подготовки) разработана на основе Федерального государственного образовательного...»

«ПРОГРАММА ПО ТЕОРИИ ГОСУДАРСТВА И ПРАВА Составитель д.ю.н., профессор Ю.С. Решетов РАЗДЕЛ I ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ТЕОРИИ ГОСУДАРСТВА И ПРАВА Тема 1. Понятие, предмет и методология теории государства и права Понятие теории государства и права. Предмет теории государства и права. Теория государства и права как единая наука, изучающая государство и право. Онтологическая и гносеологическая составляющие теории государства и права, ее структура. Исходные учения о государстве и праве. Функции теории...»

«IV немецко-российские дни неигрового кино в Калининграде 10–13 апреля 2014 в кинотеатре Заря и арт-клубе Репортёр Немецко-российские дни неигрового кино Территория кино пройдут с 10 по 13 апреля 2014 г. в Калининграде в четвертый раз. Территория кино это совместный немецко-российский некоммерческий проект в области авторского документального кино, проводимый под эгидой Министерства юстиции, культуры и Европы Земли Шлезвиг-Гольштейн (Германия) и Министерства культуры Калининградской области...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ ФЕДЕРАЛЬНОЕ БЮДЖЕТНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ КРАСНОЯРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. В.П. АСТАФЬЕВА Кафедра физиологии человека и методики обучения биологии учебно-методический комплекс дисциплины Инновационные процессы в образовании Направление 050100. 68 Педагогическое образование (квалификация (степень) магистр) магистерская программа Экологическое образование Красноярск 2011г...»

«В.И. Шаховский Волгоградский государственный педагогический университет, г. Волгоград V.I. Shakhovsky Volgograd State Pedagogical University, Volgograd ЭМОТИВНАЯ ЛИНГВОЭКОЛОГИЯ РУССКОГО МАТА EMOTIVE LINGUOECOLOGY OF RUSSIAN OBSCENITIES Ключевые слова: мат, эмотивная лингвоэкология, амбивалентность функций русского мата, экспансия, лексикографическое фиксирование, экоцид: разрушение языка и здоровья человека, экологичность/неэкологичность. Национальная программа оздоровления языка Keywords:...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ КРАСНОЯРСКОГО КРАЯ КРАЕВОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАЧАЛЬНОГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ ПРОФЕССИОНАЛЬНОЕ УЧИЛИЩЕ № 79 П. КОШУРНИКОВО УТВЕРЖДАЮ: Зам. директора по УПР _И.Ф. Копнина _20г. РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ ПМ.05 Приготовление блюд из мяса и домашней птицы Профессия 260807.01 Повар, кондитер Нормативный срок обучения – 2 года и 5 мес. на базе основного общего образования Рабочая программа профессионального...»

«Министерство образования и наук и Украины Днепропетровская областная государственная администрация Национальный горный университет МАТЕРИАЛЫ Международной научно-технической конференции Дніпро-М Проблемы механики горно-металлургического комплекса 28 - 31 мая 2002 года Днепропетровск 2002 1 28 - 31 мая 2002 года в Национальном горном университете состоялась международная научно-техническая конференция Проблемы механики горно–металлургического комплекса Организаторами конференции выступили...»

«РАБОЧАЯ ПРОГРАММА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (РПУД) Организационные основы системы образования: нормативноправовые основы деятельности преподавателя в вузе (для ДОП Преподаватель высшей школы) Начало титульного листа Правительство Российской Федерации Санкт-Петербургский государственный университет Факультет психологии РАБОЧАЯ ПРОГРАММА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ СД-03 Организационные основы системы образования: нормативно-правовые основы деятельности преподавателя в вузе по дополнительной образовательной...»

«Учреждение образования Брестский государственный университет имени А.С. Пушкина УТВЕРЖДАЮ Ректор Учреждения образования Брестский государственный университет имени А.С. Пушкина А.Н. Сендер _ 2014 г. ТЕОРИЯ И ПРАКТИКА ДОШКОЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ Программа вступительного испытания для специальности II ступени высшего образования (магистратуры) 1-08 80 01 Теория и методика дошкольного образования 2014 г. СОСТАВИТЕЛИ: Г.Н. Казаручик, доцент, кандидат педагогических наук, исполняющий обязанности...»

«Промоакция (Промоакция) с розыгрышем призов — дисков Seagate® Backup Plus объемом 1 ТБ — в рамках опроса по облачным технологиям Официальные правила Принимая участие в этой Промоакции, участники соглашаются руководствоваться настоящими Официальными правилами. [Примечание. Не все те люди, которые предпринимают попытку пройти опрос, получают право на участие в розыгрыше и автоматически включаются в состав участников.] ДЛЯ УЧАСТИЯ ИЛИ ПОБЕДЫ ПРИОБРЕТАТЬ КАКИЕ-ЛИБО ПРОДУКТЫ НЕ ТРЕБУЕТСЯ. ФАКТ...»

«Учреждение образования Брестский государственный университет имени А.С. Пушкина УТВЕРЖДАЮ Ректор Учреждения образования Брестский государственный университет имени А.С. Пушкина _ А. Н. Сендер _ 2014 г. ИЗОБРАЗИТЕЛЬНОЕ ИСКУССТВО И ЧЕРЧЕНИЕ, НАРОДНЫЕ ХУДОЖЕСТВЕННЫЕ ПРОМЫСЛЫ С МЕТОДИКОЙ ПРЕПОДАВАНИЯ Программа вступительного испытания для специальности II ступени высшего образования (магистратуры) 1-08 80 02 Теория и методика обучения и воспитания (в области изобразительного искусства и черчения)...»

«Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н.Ельцина Специализированный учебно-научный центр ПРОГРАММА ПО РУССКОМУ ЯЗЫКУ ДЛЯ ПОСТУПАЮЩИХ В 9 ГУМАНИТАРНЫЙ КЛАСС Екатеринбург Программа утверждена на заседании кафедры филологии СУНЦ УрФУ. Зав. кафедрой филологии кандидат филологических наук, доцент М. А. Алексеева...»

«Министерство образования и науки Ульяновской области Департамент профессионального образования и науки ОГБОУ СПО технологический техникум р.п. Кузоватово РАБОЧАЯ ПРОГРАММА профессионального модуля ПМ 01 Социальная работа с лицами пожилого возраста и инвалидами 040401 Социальная работа по программам подготовки специалистов среднего звена Рабочая программа профессионального модуля разработана в соответствии с ФГОС по специальности среднего профессионального образования 040401 Социальная работа по...»

«Тибет. Кайлас 7-20 мая 2014 Друзья! Вы давно мечтаете побывать в Тибете, прикоснуться к его духовному наследию, Обойти Священную Гору Кайлас? - Тогда лучший год для этого - 2014!!! 2014 год – год зеленой деревянной лошади по Тибетскому календарю. В этот год, раз в двенадцать лет, каждая Кора (так называют тибетцы ритуальный обход святыни), совершенная вокруг горы Кайлас, приравнивается к 13 Корам. Но есть еще более сакральная внутренняя Кора, которая позволяет непосредственно дотронуться до...»




























 
2014 www.av.disus.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.