WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

«УТВЕРЖДАЮ»

Зав. кафедрой

«……» _ 2013 г.

РАБОЧАЯ ПРОГРАММА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МСТ-ДАТЧИКОВ

(наименование дисциплины (модуля) Направление/специальность подготовки Приборостроение Профиль/специализация подготовки Технология приборостроения Квалификация (степень) выпускника бакалавр (бакалавр, магистр, специалист) Форма обучения очная (очная, очно-заочная) г. Пенза 2013 г.

1. ЦЕЛИ ОСВОЕНИЯ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

Целями освоения учебной дисциплины (модуля) «Технология изготовления МСТ-датчиков» являются формирование профессиональной компетенции:

ПК-7: «Способен рассчитывать и проектировать элементы и устройства, основанные на различных физических принципах действия».

2. МЕСТО УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ В СТРУКТУРЕ ООП ВПО

Дисциплина «Технология изготовления МСТ-датчиков» относится к профессиональному циклу Б.3. Данная дисциплина базируется на знаниях, полученных в ходе изучения курсов «Метрология, стандартизация и сертификация», «Технология изготовления приборов», «Физические основы получения информации», «Основы проектирования приборов и систем». Учебная дисциплина «Технология изготовления МСТ-датчиков» готовит студента к освоению профессиональных компетенций ПК-4, ПК-33.

3. КОМПЕТЕНЦИИ СТУДЕНТА, ФОРМИРУЕМЫЕ В РЕЗУЛЬТАТЕ

ОСВОЕНИЯ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ) / ОЖИДАЕМЫЕ

РЕЗУЛЬТАТЫ ОБРАЗОВАНИЯ И КОМПЕТЕНЦИИ СТУДЕНТА ПО

ЗАВЕРШЕНИИ ОСВОЕНИЯ ПРОГРАММЫ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

В результате освоения дисциплины студент должен:

1) Знать: физических принципов действия интегральных датчиков, базовых конструктивно-технологических решений, используемых при проектировании и производстве интегральных датчиков физических величин, основных технологических процессов изготовления интегральных датчиков.

2) Уметь: рассчитывать и проектировать варианты топологии и конструкции чувствительных элементов интегральных датчиков давления, перемещения, интегральных микромеханических акселерометров.

3) Владеть: методиками разработки технологических процессов изготовления, сборки и испытания чувствительных элементов и интегральных датчиков физических величин.

4. СТРУКТУРА И СОДЕРЖАНИЕ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

Общая трудоемкость дисциплины составляет _4_ зачетных единицы, _144_ часов.

Формы текущего контроля успеваемости Виды учебной деятельности, семестра Семестр Неделя (по неделям Раздел № включая самостоятельную работу семестра) учебной п/п студентов дисциплины Форма и трудоемкость (в часах) промежуточно основной элемент в микросистемной Механические и электрофизически Применение кремниевых тензорезисторов в физических физических технологический изготовления интегральных полупроводников химической окисления, травления, легирования, фотолитографии.

технологическая оснастка, режимы проведения технологических операций для получения интегральных заданными метрологическим эксплуатационны характеристиками испытаний интегральных полупроводников ых датчиков физических

5.ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

В процессе освоения студентами дисциплины «Технология изготовления МСТ-датчиков используются следующие образовательные технологии»:

Лекции с применением мультимедийных технологий;

Практические занятия;

Самостоятельная работа студентов;

6. ОЦЕНОЧНЫЕ СРЕДСТВА ДЛЯ ТЕКУЩЕГО КОНТРОЛЯ

УСПЕВАЕМОСТИ, ПРОМЕЖУТОЧНОЙ АТТЕСТАЦИИ ПО ИТОГАМ

ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ И УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ

ОБЕСПЕЧЕНИЕ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ СТУДЕНТОВ

Для проведения текущего контроля успеваемости студентов предусмотрены следующие контрольные вопросы:

1. Понятие микросистемной техники. Особенности, основные положения, этапы развития микросистемной техники.

2. Кремний как основной элемент для изготовления интегральных датчиков. Общие сведения о кремнии, элементарная ячейка кремния.

Анизотропия, индексы Миллера.

3. Искажение кристаллической решетки кремния, поверхность кристалла, дефекты, плотность дислокаций.

4. Монокристаллический и поликристаллический кремний.

Механические и электрофизические свойства кремния 5. Обобщенная структура составляющих тензоэффекта в тензорезисторах. Коэффициент тензочувствительности 6. Применение различных физических эффектов для проектирования интегральных датчиков.

7. Принципы построения чувствительных элементов датчиков давлений на основе тензорезистивного эффекта, измерительный мост Уитстона.

8. Варианты топологии и конструкции чувствительных элементов интегральных датчиков физических величин.

9. Конструктивно – технологический и схемотехнический способы компенсации температурной погрешности интегральных датчиков.

10. Компенсация температурной погрешности при питании датчиков током и напряжением. Температурная компенсация начального выходного сигнала и чувствительности полупроводниковых чувствительных элементов датчиков.

11. Емкостные полупроводниковые датчики давления.

12. Микромеханические акселерометры.

13. Датчики Холла. Химические датчики.

14. Типовой технологический процесс изготовления чувствительных элементов интегральных датчиков.

15. Операции химической очистки, окисления, травления, ионного легирования, диффузии, фотолитографии Темы лабораторных работ:

1. Исследование топологии чувствительного элемента интегрального датчика 2. Определение градуировочной характеристики интегрального датчика 3. Исследование температурной зависимости характеристик чувствительного элемента интегрального датчика давления 4. Определение погрешности интегрального датчика давления Темы практических занятий 1. Расчет характеристик чувствительного элемента интегрального датчика давления.

2. Разработка типового технологического процесса изготовления чувствительного элемента интегрального датчика давления

class='zagtext'>7. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

а) основная литература:

1. Гридчин В.А., Драгунов В.П. Физика микросистем: Учеб. пособие.

В 2 ч. Ч. 1. -Новосибирск: Изд-во ПГТУ, 2004. - 416 с. - (Серия «Учебники НГТУ»).

2. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. - М.: Сов. радио, 1980. - 420 с.

Энергоатомиздат, 1983.

4. Виглеб. Датчики. Устройство и применение. - М.: Мир, 1989.

5. Чернышев Основы надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем - М.: «Радио и связь», 1988.

б) дополнительная литература:

1. Дж. Най Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц - М.: Мир, 1987.

2. J.C. Greenwood, "Silicon in Mechanical Sensors," J. Phys. E, Sci.

Instrum., vol. 21, pp.1114-28, 1988.

3. Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization / Mark J. Madou. -2nd ed.- CRC Press, 2002.

4. ОСТ 107.460084.200-88. Микросборки. Общие требования и нормы конструирования.

5. The MEMS handbook / Mohamed Gad-el-Hak. - CRC Press, 2002.

6. M. Elwenspoek, H. Jansen. Silicon Micromachining. p.cm. - (Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering; 7). - Cambridge University Press. - 1998 (ISBN 0 521 59054 X).

в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы www.bsac.eecs.berkeley.edu.

www.mems.sandia.gov

6. МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ УЧЕБНОЙ

ДИСЦИПЛИНЫ (МОДУЛЯ)

Занятия по дисциплине «Технология изготовления МСТ-датчиков»

проводятся в лекционных аудиториях, оборудованных специализированной учебной мебелью и средствами мультимедиа (ноутбук, проектор, проекционный экран) Лабораторные занятия проводятся в специализированной лаборатории электронных приборов. Для выполнения работ оборудованы четыре рабочих места. В состав каждого рабочего места входят:

Микроскоп…………………………………………………………………………1 шт.

Устройство для исследования характеристик полупроводниковых кристаллов (зондовое устройство МКНИ. 757644.050) 1 шт.

Универсальный лабораторный стенд с набором сменных макетных плат 1 шт.

Образцы полупроводниковых чувствительных элементов 5 шт.

Программа составлена в соответствии с требованиями ФГОС ВПО с учетом рекомендаций и ПрООП ВПО по направлению и профилю подготовки «Приборостроение»_.

Автор(ы) к.т.н, доцент Волков В.С. _ Рецензент(ы) Программа одобрена на заседании (Наименование уполномоченного органа вуза (УМК, НМС, Ученый совет) от _ года, протокол №



Похожие работы:

«Департамент образования администрации города Липецка МУНИЦИПАЛЬНОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБЩЕОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ СРЕДНЯЯ ОБЩЕОБРАЗОВАТЕЛЬНАЯ ШКОЛА № 23 имени С.В. ДОБРИНА города ЛИПЕЦКА РАССМОТРЕНО СОГЛАСОВАНО УТВЕРЖДАЮ На заседании Заместитель директора Директор МБОУ СОШ методического совета по учебно- № 23 г. Липецка МБОУ СОШ № 23 г. воспитательной работе _А.В. Мочалов Липецка Г.В. Зыкова Приказ № 288 Протокол № 1 30.08.2013 года от 30.08.2013 года от 30.08.2013 года Рабочая программа учебного...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Башантинский аграрный колледж им. Ф. Г. Попова (филиал) ГОУ ВПО КАЛМЫЦКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ Проведение ветеринарно-просветительской деятельности 2011 г. 1 Рабочая программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальностям среднего профессионального образования (далее – СПО) 111801 Ветеринария Организация-разработчик:...»

«Министерство образования и науки РФ федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный университет Исторический факультет УТВЕРЖДАЮ Проректор по научной работе А.Ф. Крутов _ 2011 г. РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ДИСЦИПЛИНЫ Теоретические и прикладные основы теории личности (ОД.А.08; цикл ОД.А.00 Обязательные дисциплины основной образовательной программы подготовки аспиранта по отрасли Психологические науки, специальность 19.00.07...»

«1.Цели и задачи дисциплины. Теория систем и системный анализ необходимы для системного представления кадастра недвижимости как многоцелевой информационной системы. Цель и задачи дисциплины - освоение методологии систем, принципов системного подхода и системного анализа при создании и ведении кадастра недвижимости, практических навыков в представлении пространства недвижимого имущества в виде сложной динамической системы, математического моделирования и оценки состояния территорий. Объект...»

«Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежская государственная медицинская академия имени Н.Н.Бурденко Министерства здравоохранения и социального развития Российской Федерации ОСНОВНАЯ ПРОФЕССИОНАЛЬНАЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНАЯ ПРОГРАММА ПОСЛЕВУЗОВСКОГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ (ХИРУРГИЯ) (интернатура) Воронеж - 2012 ОДОБРЕНА Ученым Советом ГБОУ ВПО ВГМА им. Н.Н. Бурденко Минздравсоцразвития России 26.04.2012 г. протокол №...»

«МИНИСТЕРСТВО СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ УДК 32 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный агроинженерный университет имени В.П. Горячкина Рецензент: Доцент кафедры политологии, истории и права Московского государственного университета природообустройства ЕМ. Кирюшин Составители: Васильев В.П., Пичужкин Н.А., Стрелецкий A.M. Под редакцией доктора исторических наук, профессора Минаева В.П. Основы...»

«3. Программа курса  Теоретическая механика Смысловой модуль 1. Описание механических систем методами Ньютона и  Лагранжа. Тема 1. Обобщенные координаты и связи. Пределы применимости классической механики. Описание материальной точки (частицы). Обобщенные координаты. Степени свободы физической системы. Связи голономные, неголономные и склерономные, реномные. Описание системы N материальных точек (частиц) без связей и со связями. Тема 2 .Механические системы. Принцип причинности в физике....»

«ПРАВИТЕЛЬСТВО ИВАНОВСКОЙ ОБЛАСТИ ПОСТАН О В ЛЕНИЕ от 30.12.2013 № 574-п г. Иваново Об утверждении Территориальной программы государственных гарантий бесплатного оказания гражданам медицинской помощи на территории Ивановской области на 2014 год и на плановый период 2015 и 2016 годов В соответствии с федеральными законами от 21.11.2011 № 323-ФЗ Об основах охраны здоровья граждан в Российской Федерации, от 29.11.2010 № 326-ФЗ Об обязательном медицинском страховании в Российской Федерации,...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования АЛТАЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ УТВЕРЖДАЮ Директор МИЭМИС _(_) _ 20_ г. РАБОЧАЯ ПРОГРАММА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ СОЗДАНИЯ ИНФОРМАЦИОННОГО ОБЩЕСТВА Уровень основной образовательной программы: Бакалавриат Направление(я) подготовки (специальность), код 230700 Прикладная информатика Профиль (и) Прикладная информатика в экономике Курс, семестр:...»

«Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное Уральский государственный педагогический университет Институт фундаментального социально-гуманитарного образования Кафедра культурологии РАБОЧАЯ УЧЕБНАЯ ПРОГРАММА по дисциплине Мировая художественная культура для специальности 050502.65 – Технология и предпринимательство, по циклу ГСЭ.В.1(2) – Общие гуманитарные и социально-экономические дисциплины (дисциплины и курсы по выбору студента)...»

«ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ЛЕСНОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЙ ЦЕНТР ПРИМЕРНАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ ОРГАНИЗАЦИЯ И ПРОВЕДЕНИЕ МЕРОПРИЯТИЙ ПО ВОСПРОИЗВОДСТВУ ЛЕСОВ И ЛЕСОРАЗВЕДЕНИЮ специальность 250110 Лесное и лесопарковое хозяйство (базовой подготовки) п. Правдинский 2011 Примерная программа профессионального модуля Организация и проведение мероприятий по воспроизводству лесов и лесоразведению (базовой подготовки)...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Башантинский аграрный колледж им. Ф. Г. Попова (филиал) ГОУ ВПО КАЛМЫЦКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ Выполнение работ по рабочей профессии 2011 г. Рабочая программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальностям среднего профессионального образования (далее – СПО) 111 801 Ветеринария. Организация-разработчик: Башантинский...»

«МИНИСТЕРСТВО СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФГБОУ ВПО Кубанский государственный аграрный университет Факультет водоснабжения и водоотведения (Наименование вуза, факультета) Рабочая программа дисциплины (модуля) Машины и оборудование для природообустройства и водопользования(Наименование дисциплины (модуля) Направление подготовки 280100.62 – Природообустройство и водопользование Профиль подготовки Мелиорация, рекультивация и охрана земель Квалификация (степень) выпускника Бакалавр...»

«Рабочая программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта (ФГОС) среднего профессионального образования по специальности 060301 Фармация. Организация-разработчик: ГАОУ СПО АО АМК Разработчики: Афанасьева Е.П., преподаватель ГАОУ СПО АО АМК Дресвянина Н.В., преподаватель первой квалификационной категории ГАОУ СПО АО АМК Иванова Т.Е., преподаватель высшей квалификационной категории ГАОУ СПО АО АМК Пиковская Г.А., преподаватель высшей...»

«Роман Савин teстирование COM или Пособие по жестокому обращению с б а г а м и в интернет-стартапах Роман Савин Одна из причин, побудивших автора написать эту книгу, — осознание собственного бессилия в поисках сиюминутного практического смысла при чтении классических сочинений по теории тестирования., в особенности когда ты в поисках работы и время дорого. Наиболее эффективный подход для тренинга тестировщиков — дать им практический инструментарий, поставить в нужную сторону мозги — и в бой. Эта...»

«Московский Государственный Университет имени М.В. Ломоносова Факультет вычислительной математики и кибернетики Кафедра системного программирования Курсовая работа Исследование и разработка методов иерархической классификации с поддержкой дообучения выполнил: Студент 427 группы Бабаков Александр Валентинович Научный руководитель: Недумов Ярослав Ростиславович Москва 2013 Оглавление Введение 1 Постановка задачи 2 Обзор существующих решений 2.1 Иерархическая классификация 2.2. Дообучение...»

«УТВЕРЖДАЮ Проректор по учебной работе В.П. Гарькин 10 июля 2009 года Общая и теоретическая физика ПРОГРАММА ВСТУПИТЕЛЬНЫХ ИСПЫТАНИЙ ДЛЯ ПОСТУПАЮЩИХ В МАГИСТРАТУРУ САМАРСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА по направлению 010700.68 Физика Самара 2009 МЕХАНИКА Кинематика материальной точки и твердого тела. Способы описания движения материальной точки. Степени свободы твердого тела. Разложение движения твердого тела на слагаемые движения. Виды движения. Векторы угловой скорости, углового...»

«Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежская государственная медицинская академия имени Н.Н.Бурденко Министерства здравоохранения и социального развития Российской Федерации ОСНОВНАЯ ПРОФЕССИОНАЛЬНАЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНАЯ ПРОГРАММА ПОСЛЕВУЗОВСКОГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ КЛИНИЧЕСКАЯ ФАРМАКОЛОГИЯ (ординатура) Воронеж - 2012 ОДОБРЕНА Ученым Советом ГБОУ ВПО ВГМА им. Н.Н. Бурденко Минздравсоцразвития России 26.04.2012 г....»

«CROSS-BORDER MOVE FOR HEALTH 2013-2014 ОРГАНИЗАЦИЯ ФИЗКУЛЬТУРЫ И СПОРТА В ФИНЛЯНДИИ И РЕСПУБЛИКЕ КАРЕЛИЯ ред. Ханну Итконен I 2013 This programme is funded by the European Union, the Russian This programme is fundedt i o n European t h e the Russian lFederation F i nthe Republic of Finland F e d e r a by the a n d Union, R e p u b i c o f and l a n d Ханну Итконен Профессор социологии физкультуры. Университет г. Ювяскюля Перевод: Елена Грён Семинар Организация физкультуры и спорта в Финляндии и...»

«РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ Проведение лабораторных микробиологических исследований (ПМ. О4) Архангельск 2013 г. 1 Рабочая программа профессионального модуля Проведения лабораторных микробиологических исследований (ПМ.04) разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта (ФГОС) среднего профессионального образования по специальности 060604 Лабораторная диагностика Организация-разработчик: ГАОУ СПО АО АМК Разработчик: Черноусова Н.Н., преподаватель...»






 
2014 www.av.disus.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.