III ВСЕРОССИЙСКАЯ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ

МЕТОДЫ СОЗДАНИЯ, ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРО-, НАНОСИСТЕМ И ЭКОНОМИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ

МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

МОЛОДЕЖНАЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНАЯ ШКОЛА-СЕМИНАР

«ИНДУСТРИЯ МИКРО-, НАНОСИСТЕМ»

г. Пенза

30 ноября – 2 декабря 2011 г.

Посвящается 300-летию со дня рождения М.В. Ломоносова и 30-летию образования кафедры «Нано- и микроэлектроника»

Пензенского государственного университета

ПРОГРАММА КОНФЕРЕНЦИИ

1 Министерство образования и наук

и РФ Федеральное космическое агентство Федеральное агентство по атомной энергии Российская академия наук Научный совет РАН по физике конденсированных сред Правительство Пензенской области Министерство образования Пензенской области Пензенская областная торгово-промышленная палата ФБГОУ ВПО «Пензенский государственный университет»

Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (ТУ) Национальный исследовательский университет «Московский энергетический институт»

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»

ФГУП НИИЭМП

ОАО НИИФИ

ФГУП ФНЦП «ПО Старт»

ООО «РНПО «Русучприбор»

Межгосударственная ассоциация разработчиков и производителей учебной техники III Всероссийская научно-техническая конференция «Методы создания, исследования микро-, наносистем и экономические аспекты микро-, наноэлектроники»

Молодежная образовательная школа-семинар «Индустрия микро-, наносистем»

ПРОГРАММА КОНФЕРЕНЦИИ

ПЕНЗА Президент: В.И. Волчихин Председатель: Р.М. Печерская Сопредседатели: Ю.И. Кривов С.Ю. Байдаров Организационный комитет В.Г. Андреев, И.И. Артемов, И.В. Бойков, Т.А. Волк, К.А. Воротилов, С.И. Геращенко, С.Ю. Давыдов, А.Г. Дмитриенко, В.В. Лучинин, В.А. Мещеряков, И.Н. Мирошникова, В.Г. Недорезов, В.П. Падеров, Ю.С. Песоцкий, А.С. Сигов, Ю.М. Таиров, Д.А. Усанов, И.Н. Чугуева, Н.К. Юрков.

Ученый секретарь: И.А. Аверин Программный комитет А.С. Сигов – председатель, И.Н. Мирошникова, - зам. председателя, И.А. Аверин, А.Н. Головяшкин, С.Ю. Давыдов, В.Д. Кревчик, В.А. Мошников, Ю.П. Перелыгин, Е.А. Печерская

ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ МИКРО-,НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРО-, НАНОСИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МИКРО-, НАНОМАТЕРИАЛОВ И ПРИБОРОВ МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ, ВКЛЮЧАЯ УСЛОВИЯ УДАЛЕННОГО ДОСТУПА

ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ ФАКТОРОВ НА СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

НАНОКОМПОЗИТЫ И СТРУКТУРЫ НА ИХ ОСНОВЕ

НАНОПОРОШКИ И МАТЕРИАЛЫ НА ИХ ОСНОВЕ

ФИЗИКА НАНОСТРУКТУР (МЕЗОСКОПИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, МОЛЕКУЛЯРНЫЕ

СИСТЕМЫ В НАНОСТРУКТУРАХ, МАГНИТООПТИКА НАНОСТРУКТУР)

СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ, КОНТРОЛЯ, МОНИТОРИНГА И

ДИАГНОСТИКИ

МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ И

СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Продолжительность пленарного доклада – до 30 мин.

Продолжительность устного доклада – 15 мин. (с дискуссией) 440026, г. Пенза, ул. Красная, 40, Пензенский государственный университет Телефон оргкомитета: (8412) Электронный адрес: [email protected] 30 ноября 2011 г. с 930 до 1000 по адресу ул. Красная, 40, ПГУ, корпус №1, зал заседаний (второй этаж, ауд. 1-211)

ПРОГРАММА

III ВСЕРОССИЙСКАЯ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ

«МЕТОДЫ СОЗДАНИЯ, ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРО-, НАНОСИСТЕМ И ЭКОНОМИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»

9-30 Регистрация участников конференции (1 корпус, ауд. 1-211) 1000 – 1010 Вступительное слово ректора ПГУ Волчихина В.И.

1010 – 1030 Пленарный доклад (5 корпус, киноконцертный зал) Печерская Р.М. ФГБОУ ВПО ПГУ, Пенза КАФЕДРЕ НАНО-, МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ –

СЕКЦИЯ 1. ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ МИКРО-,НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

1045 – 1100 1. Вареник Ю.А., Метальников А.М. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ЦИФРОВОЕ ПРЕОБРАЗОВАНИЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ-КОД ПРИ ИЗМЕРЕНИИ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ЧЕТЫРЁХЗОНДОВЫМ МЕТОДОМ

1100 – 1115 2. Аверин И.А., Карманов А.А. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ

СПЕКТРОСКОПИИ

1115 – 1130 3. *Давыдов С.Ю., *Лебедев А.А., **Посредник О.В. * Физико-технический институт им. А.Ф.

Иоффе РАН (Санкт-Петербург),** Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург)

СПОСОБЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ СПОНТАННОЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ В

СТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ ПОЛИТИПОВ SIC

1130 – 1200 Чайная пауза 1200 – 1215 4. Печерская Е.А. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКА

1215 – 1230 5. Палатников М.Н., Щербина О.Б., Ефремов В.В. Учреждение РАН Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья КНЦ РАН (Апатиты)

ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСА МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ КЕРАМИК Nb2O5 И Ta2O

1245 – 1300 6. Н.В. Сидоров, М.Н. Палатников, О.Р.Стародуб, А.А Яничев, В.М Воскресенский. Учреждение РАН Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья КНЦ РАН (Апатиты)

КОМПЛЕКСНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРОСТРУКТУР В МОНОКРИСТАЛЛАХ НИОБАТА ЛИТИЯ МЕТОДАМИ РСА И КРС

СЕКЦИЯ 2. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРО-, НАНОСИСТЕМ

СЕКЦИЯ 6. НАНОПОРОШКИ И МАТЕРИАЛЫ НА ИХ ОСНОВЕ

Сопредседатели: Аверин И.А., Воротилов К.А.

1045 – 1100 1. Аверин И.А., Губич И.А. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО

ПОРИСТОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ

1100 – 1115 2. Головяшкин А.Н. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ПОЛУЧЕНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ МЕТОДОМ ИОННОКЛАСТЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ В ВАКУУМЕ

1115 – 1130 3. 1Губич И. А., 2Пермяков Н.В., 2Соколова Е.Н. 1ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза), 2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В.И. Ульянова (Ленина) «ЛЭТИ», Санкт-Петербург

ИССЛЕДОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФОРМИРОВАНИЯ POR-Al2O

1130 – 1200 Чайная пауза 1200 – 1215 4. Дунаева Е.Э. Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)

ОСОБЕННОСТИ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ОКСИДНЫХ ВАНАДИЕВЫХ БРОНЗ – NaxV2O5 МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО ИЗ РАСПЛАВА

1215 – 1230 5. Соловьев В.А., Метальников А.М., Пивкин А.Ю., Барзова Е.А. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЕНОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ МЕТОДОМ СПРЕЙ –

ПИРОЛИЗА АЭРОЗОЛЕЙ

1245 – 1300 6. Еремкин В.В., Галий И.В., Нагаенко А.В., Панич А.А., Смотраков В.Г., Филиппов С.Е., Шилкина Л.А. НКТБ «Пьезоприбор» Южного федерального университета (Ростов-на-Дону)

НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ СПЕКАНИЕ КЕРАМИКИ НА ОСНОВЕ ЦИРКОНАТА-ТИТАНАТА СВИНЦА

СЕКЦИЯ 3. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МИКРО-, НАНОМАТЕРИАЛОВ И ПРИБОРОВ МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ, ВКЛЮЧАЯ УСЛОВИЯ УДАЛЕННОГО ДОСТУПА

14 – 14 1. Вареник Ю.А., Метальников А.М., Рябов Д.В. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МАГНИТОМЯГКИХ МАТЕРИАЛОВ В

СИЛЬНЫХ МАГНИТНЫХ ПОЛЯХ

1415 – 1430 2. Вареник Ю.А., Печерская Р.М. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

1430 – 1445 3. Доросинский А.Ю., Кругляков С.А. ФГУП «НИИ электронно-механических приборов» (Пенза)

УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ МЕХАНИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ

1445 – 1500 4. Доросинский А.Ю., Кругляков С.А. ФГУП «НИИ электронно-механических приборов» (Пенза)

ОБЗОР МЕТОДОВ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МАРКИ МЕТАЛЛА

1600 – 1800 Посещение выставки

СЕКЦИЯ 4. ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ ФАКТОРОВ НА СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ МИКРО-,

НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Сопредседатели: Головяшкин А.Н., Давыдов С.Ю.

1400 – 1415 1. 1Аверин И.А., 2Александрова О.А., 2Грачёва И.Е., 2Мошников В.А., 1Печерская Р.М., 1Пронин И.А. - ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза), 2 – ГОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» (Санкт-Петербург)

ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПАРАМЕТРЫ ТОНКИХ ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ПРИ ПОМОЩИ ЗОЛЬ-ГЕЛЬТЕХНОЛОГИИ

1415 – 1430 2. Васильев В.А., Громков Н.В., Паткин Д.В., Рыжова Т.Н. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

УМЕНЬШЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДНЫМ СИГНАЛОМ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

1430 – 1445 3 Лугин А.Н. ФГУП «Научно-исследовательский институт электронно-механических (Пенза)

ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ РЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК В АСПЕКТЕ ТЕОРИИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ

1445 – 1500 4. Сидоров Н.В., Палатников М.Н., Яничев А.А. Учреждение Российской академии наук Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И.ВТананаева КНЦ РАН (Апатиты)

МИКРОСТРУКТУРЫ И ЭФФЕКТ ФОТОРЕФРАКЦИИ В МОНОКРИСТАЛЛЕ НИОБАТА ЛИТИЯ

1500 – 1515 5. Хошев А.В., Чебурахин И.Н. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ ФАКТОРОВ НА КАЧЕСТВО ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЁНОК ИЗ МОНООКИСИ

КРЕМНИЯ

1600 – 1800 Посещение выставки

СЕКЦИЯ 9. МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ И

СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

10 – 10 1. Вареник Ю.А., Печерская Е.А. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

МОДЕЛИРОВАНИЕ БИПОЛЯРНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ

1015 – 1030 2. Васильев В.А., Хованов Д.М. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

1030 – 1045 3. Вергазов И.Р. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

МОДЕЛИРОВАНИЕ СТЕРЖНЕВОГО УПРУГОГО ЭЛЕМЕНТА НИМЭМС ДАТЧИКА СИЛЫ

1045 – 1115 Чайная пауза 1115 – 1130 4. Кондратьев А.В., Васильев В.А. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ПРИКЛАДНЫЕ ПРОГРАММНЫЕ ПАКЕТЫ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ И АНАЛИЗА СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ

И СТРУКТУР МИКРО-, НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

1130 – 1145 5. Лугин А.Н., Оземша М.М. ФГУП «Научно-исследовательский институт электронномеханических приборов» (Пенза)

ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ, ПРОГРАММА И РЕЗУЛЬТАТЫ РАСЧЕТА ТОНКОПЛЕНОЧНОГО

КОНТАКТА

1145 – 1200 6. Санкин А.В., Митюгова О.А., Касьяненко И.С., Дядюк М.Н., Алтухов В.И. Пятигорский государственный гуманитарно-технический университет (Пятигорск)

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ВЫРАЩИВАНИЯ И СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ И НАНОМАТЕРИАЛОВ НА ЕГО ОСНОВЕ

1215 – 1230 7. Хошев А.В. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ПРИМЕНЕНИЕ ФУНКЦИИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ PEARSON ІV ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОФИЛЕЙ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ БОРА В КРЕМНИИ ПРИ ИОННОМ ЛЕГИРОВАНИИ

СЕКЦИЯ 5. НАНОКОМПОЗИТЫ И СТРУКТУРЫ НА ИХ ОСНОВЕ

СЕКЦИЯ 7. ФИЗИКА НАНОСТРУКТУР (МЕЗОСКОПИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, МОЛЕКУЛЯРНЫЕ СИСТЕМЫ В НАНОСТРУКТУРАХ, МАГНИТООПТИКА НАНОСТРУКТУР)

1000 – 1015 1. 1Аверин И.А., 2Александрова О.А., 2Грачёва И.Е., 2 Мошников В.А., 1Печерская Р.М., 1Пронин И.А.

1 – ФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет», (Пенза), 2 – ГОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»

ВЛИЯНИЕ ВЯЗКОСТИ РАСТВОРИТЕЛЯ НА МОРФОЛОГИЮ НАНОКОМПОЗИТОВ, ПОЛУЧЕННЫХ С

ПОМОЩЬЮ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ-ТЕХНОЛОГИИ

1015 – 1030 2. 1Аверин И.А., 1Губич И.А., 2 Мошников В.А., 2Соколова Е.Н., 2Пермяков Н.В. 1 – ФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет» (Пенза), 2 – ГОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЩЕЛОЧНО-КИСЛОТНЫХ РАСТВОРИТЕЛЕЙ ПРИ ДВУХСТАДИЙНОМ АНОДИРОВАНИИ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ

1030 – 1045 3. 1,4Золкин А.С., 2,3Перминова Н.Г., 2,3Тимофеев И.В. 1 - Новосибирский государственный университет, 2 - ЗАО «Вектор Байотехнолоджи», 3 - ФГУН ГНЦ ВБ «Вектор», 4 - Институт лазерной физики СО РАН (Новосибирск)

НАНОЧАСТИЦЫ СЕРЕБРА С УЗКИМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ ПО РАЗМЕРАМ – ОСНОВА АНТИБАКТЕРИАЛЬНЫХ ФИЛЬТРОВ С ВЫСОКИМИ АНТИБАКТЕРИАЛЬНЫМИ СВОЙСТВАМИ

1045 – 1115 Чайная пауза 1115 – 1130 4. Коренькова А.А ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

НИЗКОРАЗМЕРНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ

1130 – 1145 5. Аверин К. И. ФГУП «НИИ электронно-механических приборов» (Пенза)

ОБРАЗОВАНИЕ СОБСТВЕННЫХ ДЕФЕКТОВ В ПЛЕНКАХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ НА ОСНОВЕ ХРОМА И

НИКЕЛЯ

1145 – 1200 6. Иванов К.В., Кревчик В.Д., Першенков П.П. ФБГОУ ВПО ПГУ (Пенза)

АСИММЕТРИЧНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ В ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКЕ И СИСТЕМАХ ДИАГНОСТИКИ

1215 – 1230 7. *Нгуен Х. Т., *Фам М. А., *Медников С. В., **Бурханов А. И. *Волгоградский государственный технический университет,**Волгоградский государственный архитектурно - строительный университет, (Волгоград)

ПОВЕДЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОЙ ПРОВОДИМОСТИ В LiNbO3 В СЛАБЫХ ПЕРЕМЕННЫХ ПОЛЯХ НИЗКО- И

ИНФРАНИЗКОЙ ЧАСТОТЫ

СЕКЦИЯ 8. СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ, КОНТРОЛЯ, МОНИТОРИНГА И

ДИАГНОСТИКИ

Сопредседатели: Геращеноко С.И., Соловьев В.А.

1400 – 1415 1. Геращенко С.И, Янкина Н.Н., Янкин Н.Н. ФГБОУ ВПО ПГУ (Пенза)

ДЕКОМПОЗИЦИЯ ДЖОУЛЬМЕТРИЧЕСКИХ СИГНАЛОВ БИОЛОГИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ НА ОТДЕЛЬНЫЕ СОСТАВЛЯЮЩИЕ

1415 – 1430 2. Головяшкин А.Н., Тетеревятникова Е.Ю. (Пенза)

РАСЧЕТ И МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕДАТОЧНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ХИМИЧЕСКИ-ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО

ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА

1430 – 1445 3. 1Кондрашин В.И., 1Соловьев В.А., 2Солодимова Г.А. 1 - ФГБОУ ВПО ПГУ, 2 - ФГУП «НИИЭМП»

(Пенза)

МУЛЬТИСЕНСОРНЫЙ ГАЗОАНАЛИЗАТОР НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ОЛОВА