WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

АМАНЖОЛОВ О.А., ВЛАСОВ А.И., ЕЛСУКОВ К.А.

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

по формированию требований

к материально-техническому оснащению

учебного процесса бакалавров и магистров

по профилю подготовки

«Наноинженерия»

Под редакцией заслуженного деятеля науки РФ,

Член-корреспондента РАН, профессора,

В.А.Шахнова

Комплект учебно-методического обеспечения для подготовки бакалавров и магистров по программам высшего профессионального образования направления подготовки «Нанотехнология»

с профилем подготовки «Наноинженерия Москва МГТУ им.Н.Э.Баумана ББК 32. Ф УДК 621.3.

Рецензенты:

Кафедра вакуумной электроники Московского физико-технического института (зав. кафедрой академик РАН Бугаев А.С.) Кафедра «Проектирование и технология производства РЭС»

Владимирского государственного университета (зав. кафедрой профессор Руфицкий М.В.) Аманжолов О.А., Власов А.И., Елсуков К.А.

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ по формированию требований к материально-техническому оснащению учебного процесса бакалавров и магистров по профилю подготовки «Наноинженерия»:

Библиотека Наноинженерии. – М.: МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2008. – 97 с.: ил.

Представлено учебно-методическое обеспечение поддержки подготовки бакалавров и магистров по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия».

В разделе изложены основные положения по образованию в области наноинженерии в рамках программы подготовки бакалавров/магистров. Приведена обобщнная конфигурация материально-технической базы подготовки бакалавров/магистров, примерный перечень лабораторного оборудования, специально оборудованных лабораторий, кабинетов и аудиторий, а также перечни современных учебников и учебно-методических пособий, в том числе электронных изданий, рекомендуемых студентам, осваивающим программу бакалавра с учетом профиля подготовки. Подробно рассмотрены вопросы построения полного цикла обучения по программе бакалавров/магистров. Даны рекомендации по формированию Научно-образовательных центров, учебных лабораторий и других образовательных структур.

Материалы учебно-методического комплекса соответствуют программам подготовки бакалавров/магистров, реализуемым в МГТУ им.Н.Э.Баумана. Разработаны с привлечением и в кооперации с НИИСИ РАН, ИРЭ РАН, РНЦ «Курчатовский институт», ФТИАН РАН и др. предприятиями ННС. Структура и состав учебно-методического обеспечения соответствует требованиям Федеральных законов от 10.07.1992 N 3266-1 «Об образовании»

(с изменениями и дополнениями) и от 22.08.1996 N 125-ФЗ «О высшем и послевузовском профессиональном образовании» (с изменениями и дополнениями), Типового положения об образовательном учреждении высшего профессионального образования (высшем учебном заведении), утвержденным постановлением Правительства РФ от 14 февраля 2008 г. N 71.

Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия».

Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

ББК 32. 6Ф7. Коллектив авторов, Все права принадлежат Российскому агентству по образованию,

СОДЕРЖАНИЕ

СПИСОК ОСНОВНЫХ ПОНЯТИЙ И ТЕРМИНОВ

УСЛОВНЫЕ СОКРАЩЕНИЯ

ВВЕДЕНИЕ

1. ИНФРАСТРУКТУРА МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ БАЗЫ

ПОДГОТОВКИ КАДРОВ ДЛЯ НАНОИНЖЕНЕРИИ

1.1. Центры коллективного пользования 1.2. Научно-образовательные центры

2. ТИПОВАЯ КОНФИГУРАЦИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ БАЗЫ

ПОДГОТОВКИ БАКАЛАВРОВ/МАГИСТРОВ

2.2. Модуль «Технологические системы формирования наноструктур» 2.3. Модуль «Исследовательские наноизмерительные системы» 2.4. Модуль «Комплекс испытаний, сертификации и метрологических исследований наносистем»

2.5. Модуль «Мультисервисная информационно-образовательная среда и САПР наносистем»

Приложение 1 Перечень современных учебников и учебно-методических пособий (в том числе электронных изданий) рекомендуемых студентам, осваивающим программу бакалавриата с профилем «Наноинженерия»

Приложение 2 Перечень современных учебников и учебно-методических пособий (в том числе электронных изданий) рекомендуемых студентам, осваивающим программу магистратуры с профилем «Наноинженерия»

Приложение 3. Перечень продукции (номенклатура продукции) наноиндустрии, подлежащей сертификации в системе добровольной сертификации продукции наноиндустрии «Наносертифика»

Предметный указатель

СПИСОК ОСНОВНЫХ ПОНЯТИЙ И ТЕРМИНОВ

(англ. Nanotechnological систем, основанных на законах и принципах нанотехнологий и деятельность по плана и ее регулярная корректировка в установленном порядке;

Программа дисциплины Основной методический компонент по дисциплине, содержащий Методические Комплекс материалов представляемых в виде приложения к программе Методические указания Комплекс материалов, раскрывающих рекомендуемый режим и характер Регламент контроля Блок дисциплин Крупная часть учебной программы, имеющая определенную Модуль дисциплин Логически завершенная часть учебной программы, состоящая из Модуль дисциплины часть учебной дисциплины, имеющая определенную логическую Учебно-методический совокупность регламентирующих документов, учебных материалов и высшего учебного заведения, разрабатывается на основе государственного образовательного стандарта, создается с целью оптимизации содержания Учебник печатное или электронное издание, содержащее систематическое Учебное пособие учебное издание, официально утвержденное в качестве данного вида Курс лекций Материал, подготовленный с целью организации самостоятельной работы Конспект лекций Материал, который освещает содержание дисциплины в наиболее Программа дисциплины программа, соответствующая требованиям ГОС ВПО и учитывающая Обеспечение качества Комплекс взаимосвязанных действий в рамках системы менеджмента комплексных оценок оценки качества предоставляемых образовательных Наноинженерия Междисциплинарная область фундаментальной и прикладной науки и (англ. Nanotechnological техники, предметом которой являются исследования, проектирование и совершенствование методов производства и применения интегрированных Question & Test Interoperability (Спецификация совместимости вопросов и

IMS QTI



ADL Co-Laboratory (ADL Co-Lab) Network SCORM Run-Time Environment (RTE) Application Program Interface (API) Content Organization (организация построения Content Packaging (Размещение материалов) SCORM Run-Time Environment (RTE) Data Model как системе управления обучением (LMS), так и учебному материалу.

Learning Management System (LMS) (Система управления обучением) учебный объект и создают отчет для структуры, контролирующей Metadata (Метаданные) Информация о материале включающая описание характеристик и св язей Content Organization Sharable Content Object Sharable Content Object (SCO) (Учебный объект) The Sharable Content Object Reference Model SCORM Content Aggregation Model (CAM) (Модель соединения учебного SCORM Sequencing and Navigation (SN) последовательность действий)

УСЛОВНЫЕ СОКРАЩЕНИЯ

АСМ – атомно-силовая микроскопия.

АСУ – автоматизированная система управления.

АЧХ – амплитудно-частотная характеристика.

ВОПГ – высокоориентированный пиролитический графит.

МПВ – метод постоянной высоты.

МПТ – метод постоянного тока.

ПК – персональный компьютер.

ПО – программное обеспечение.

ППС – пилообразная периодическая структура.

ОС – операционная система.

СЗМ – сканирующая зондовая микроскопия.

СТМ – сканирующая туннельная микроскопия.

СЭМ – сканирующий электронный микроскоп.

ТЗ – техническое задание.

API Application Programming Interface.

FFT Fast Fourier Transform.

J2SE Java 2 Standard Edition.

JRE Java Runtime Environment.

OpenGL Open Graphics Library.

RUP Rational Unified Process.

UML Unified Modeling Language.

АСМ-ФК – Атомно-силовая микроскопия в режиме фазового контраста РЭМ – Растровая электронная микроскопия ПЭМ – Просвечивающая электронная микроскопия ДРС – Динамическое рассеяние света НДРС – Неполяризованное динамическое рассеяние света РС – Рамановская спектроскопия низкочастотных радиальных мод ТГА – Термогравиметрия ГХ – Газовая хроматография РСА – Рентгеноструктурный анализ РФА – Рентгенофазовыйый анализ РСА-УЛ – Уширение линий рентгеновской дифракции РФ – Рентгеновский флуоресцентный анализ ИК-ФЛС – Фотолюминесцентная спектроскопия УФ-ИК – Спектроскопия поглощения ЭДРА – Энерго-дисперсионный рентгеновский анализ РФЭС – Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия МУРР – Малоугловое рентгеновское рассеяние МУРРСИ – Малоугловое рентгеновское рассеяние синхротронного излучения Фурье-ИК – Фурье ИК спектроскопия ОЭС – Оже-электронная спектроскопия ВИМС – Вторичная ионная масс-спектрометрия МУНР – Малоугловое нейтронное рассеяние Метод BET – Адсорбционный метод определения удельной площади поверхности

ВВЕДЕНИЕ

Наноинженерия (англ. Nanotechnological engineering) это междисциплинарная область фундаментальной и прикладной науки и техники, предметом которой являются исследования, проектирование и совершенствование методов производства и применения интегрированных систем, основанных на законах и принципах нанотехнологий и микросистемной техники. Материально-техническое оснащение учебно-экспериментальной базы подготовки бакалавров и магистров по «Наноинженерии» должно соответствовать блокам дисциплин утвержденных программ подготовки по специализациям и профилям Наноинженерии (рис.В.1) и включать следующие основные комплексы: комплекс «Технологические системы формирования наноструктур», комплекс «Исследовательские наноизмерительные системы», комплекс «Испытаний, сертификации и метрологических исследований наносистем» и комплекс «Информационно-коммуникационные технологии в наноинженерии и САПР наносистем».

Рис.В.1. Компонентная карта «Наноинженерии».

Направление наноинженерии включает в себя разработку и создание функционально законченных сложных многоуровневых приборов, устройств и систем, использующих элементы и блоки, созданные с использованием нанотехнологий. К числу таких приборов, устройств и систем, например, относятся:

-различного рода информационные микро- и наносистемы, включающие системы локации и связи, системы сбора, обработки и передачи данных, датчики и сенсоры, а также устройства мехатроники на их основе;

-биомедицинские приборы и устройства, включающие как приборы и устройства диагностики, так и локальной доставки лекарств и терапии;

-технологическое оборудование для производства наноструктур, наноматериалов и наносистем;

-измерительное и аналитическое оборудование для диагностики и анализа наноструктур, наноматериалов и наносистем;

-программные комплексы и технологии моделирования и проектирования наноструктур, наноматериалов, приборов, устройств и систем на их основе.

Микро- и наноэлектромеханические Технологии и устройства, объединяющие в Интерфейсы и транспорты наносистем Способы и методы взаимодействия Энергетика наносистем Технологии энергообеспечения наносистем Элементная база наносистем Создание наноэлектронных функциональных Микроскопия наносистем Способы глубинного исследования Проектирование и формирование Процессы разработки, производства и Комплекс испытаний, сертификации и Испытания, метрологическое и методическое метрологических исследований обеспечение наноинженерии наносистем ИКТ в наноинженерии и САПР Информационно-коммуникационные Структура номенклатуры технических объектов наноинженерии отражена на рис.В.2.

Основные игроками в наноиндустрии на сегодня являются: во-первых, институты РАН, крупнейшие ГНЦ и гос. корпорации, реализующие федеральные целевые программы, вовторых, научные центры и лаборатории университетов и, в третьих, отдельные средние и малые компании (в основном специализирующиеся пока на биомедицине и измерительных системах). Они же и определяют требования к кадровому обеспечению. Сама структура распределения рынка нанопродукции между его участниками на данный момент еще окончательно не сложилась. Основная задача формирования материально-технической базы учебного процесса – инфраструктурное и материально техническое обеспечение подготовки и переподготовки кадров по специализациям и профилям «Наноинженерии» на основе проектных методов обучения, что обуславливает требования к структуре и составу оборудования учебных лабораторий.

Рис.В.2. Номенклатура технических объектов, относящихся к наноинженерии В общем случае инфраструктурное и материально техническое обеспечение подготовки и переподготовки кадров должно включать несколько простых и надежных образовательных компонент, реализующих основные методики блоков дисциплин программы подготовки бакалавров, единичные образцы опытно-экспериментального и исследовательского оборудования, обеспечивающего реализацию блоков учебных дисциплин научно-исследовательского профиля, конкретных научно-исследовательских проектов и выполнение НИОКР в рамках магистерских программ. Все оборудование группируется помодульно, в зависимости от специализации блоков (модулей) учебных дисциплин.

Классифицировать компоненты развиваемой инфраструктуры проще всего по уровням решаемых задач в интересах конкретных субъектов национальной нанотехнологической сети (ННС) (рис.В.3.), так как именно субъекты ННС и должны дефакто являться заказчиками на кадровое обеспечение наноиндустрии. Они формируют тенденции развития кадровой инфраструктуры наноиндустрии через систему заказов на конкретных специалистов и систему заказов на НИОКР. Фундаментальные исследования и развитие материально-технической базы должны поддерживаться государством в рамках реализации частно-государственного партнерства.

Кадровая инфраструктура НОЦ Рис.В.3. Компоненты материально-технической базы кадровой инфраструктуры В настоящий момент базовыми компонентами кадровой инфраструктуры наноиндустрии являются: центры коллективного пользования, научно-образовательные центры и инфраструктура лабораторных кафедральных центров. Каждый из элементов инфраструктуры призван решать конкретные задачи на своем уровне экспертизы и компетенции.

Центры коллективного пользования, как правило, организованы при ведущих научных центрах, институтах РАН и ряде университетов, при тесной кооперации региональных, межрегиональных и международных участников ННС. Оснащены единичным, уникальным оборудованием и ориентированы на выполнение фундаментальных прорывных исследований, подготовку и переподготовку кадров высшей квалификации.

Научно-образовательные центры создаются в основном на базе университета, с привлечением партнеров – организаций ННС, оснащены серийным нанотехнологическим опытно-экспериментальным оборудованием. Имеют возможность проводить заказные НИОКР, подготовку и переподготовку кадров в нуждах кооперации (отдельные группы по заказу партнеров кооперации), а также «бакалавров-магистров» и кадров высшей квалификации.

Основным же элементом широкой подготовки кадров были и остаются кафедры и именно на них ложится вся тяжесть базовой нанотехнологической подготовки, они должны быть оснащены простым и надежным в обслуживании нанотехнологическим оборудованием.

Развитие материально-технической лабораторной базы кафедр, ведущих подготовку по направлениям и специализациям наноиндустрии, одна из важнейших ближайших задач, без решения которой не решить в широком и системном плане вопросы подготовки специалистов для наноиндустрии. В ближайшее время необходимо создать все условия для комплектации лабораторий кафедр учебным и опытно-исследовательским оборудованием, обеспечивающим подготовку и переподготовку по программам инженерного образования, выполнение НИОКР, разработку учебно-методического контента и реализацию проектных методов обучения специалистов наноиндустрии.

1. ИНФРАСТРУКТУРА МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ БАЗЫ

ПОДГОТОВКИ КАДРОВ ДЛЯ НАНОИНЖЕНЕРИИ

Системное и широкое развитие центров коллективного пользования наноиндустрии началось с 2000 года. Уже тогда стало ясно, что добиться эффективной загрузки уникального и часто единичного оборудования можно лишь с реализацией межрегионального, а зачастую и международного доступа к нему потенциальных потребителей – творческих научных коллективов. Первопроходцем в этом направлении стал ГНЦ «Курчатовский институт» и на сегодня его центр коллективного пользования является крупнейшим в стране, с отлично проработанной методикой доступа пользователей к ресурсам центрам, оказания консалтинговых и проектных услуг (http://www.kcsr.kiae.ru/).

Одной из основных проблем дальнейшего скоординированного развития и использования ресурсов ЦКП является на сегодня отсутствие единого информационного ресурсного центра, в котором было бы обобщена и представлена в открытом доступе вся информация по деятельности ЦКП, их оснащенности, видам выполняемых работ. На сайте http://pribor.extech.ru можно получить информацию, как по созданным в рамках различных программ ЦКП, так и по уникальным стендам и установкам, но зачастую эта информация практически не структурирована, предоставлена в виде doc или pdf файлов без возможности их нормального индексирования поисковыми системами. Главным недостатком надо отметить то, что практически для большей половины, указанных на сайте, ЦКП отсутствуют ссылки на их интернет ресурсы. Не понятно, если ЦКП ориентирован на выполнение заказных работ на имеющемся у него парке оборудования, то как, не имея сайта, он информирует потенциальных пользователей о своей загрузке и возможностях. Самым интересным на сайте оказался документ - Каталог Центров коллективного пользования научным оборудованием (2007 г.), но опять же его представление в формате pdf не позволяет максимально эффективно обеспечить поиск и навигацию по ресурсам сети ЦКП.

Кроме недостаточной информационной открытости и публичности, проблемой развития ЦКП является то, что многие из них ориентированы не на рынок исследовательских услуг для региональных и т.п. заказчиков, а для удовлетворения собственных внутренних потребностей конкретной организации или даже отдельных творческих коллективов. Даже если уровень финансирования работ такого коллектива достаточно высок, все равно, это формирует высокий риск неэффективности использования ресурсов ЦКП, если, вдруг, по каким то причинам, такое финансирование будет прекращено, а организационная структура ЦКП будет не готова к активной работе на рынке исследовательских услуг.

В дальнейшем необходимо обеспечить информационную прозрачность деятельности ЦКП, т.е. должны быть приняты нормативные документы, которые обязали бы ЦКП (или организации, при которых они созданы) предоставлять поквартальную отчетность о своей деятельности (по аналогии с отчетность ОАО для своих акционеров) и публиковать эту отчетность на своих интернет порталах. Многие ЦКП не имеют своего представительства в интернет, получить сведения об их возможностях и видах работ стороннему потребителю крайне проблематично, в итоге складывается впечатление, что ряд ЦКП создан в интересах отдельных групп исследователей, для решения конкретных внутренних задач, а не ориентированы на предоставление ресурсов ЦКП сторонним пользователям и ведение хозяйственной деятельности.

Также совершенно понятно, что, используя базу уникального единичного оборудования ЦКП, ни о какой широкой подготовки специалистов для наноиндустрии не может идти и речи. ЦКП изначально ориентированы на прорывные исследования, выполняемые конкретными, сложившимися творческими коллективами и в образовательном процессе могут быть использованы только для проведения экскурсий (если это позволяет требования по «чистоте помещений»), для демонстрации полученных высоких научнотехнических результатов и как база для стажировки и подготовки специалистов высшей квалификации (кандидатов, докторов наук).

С целью повышения уровня академической мобильности, возможности организации стажировок и практик для кадров высшей квалификации, и в первую очередь для обеспечения эффективности работы ЦКП и их публичности, в ближайшее время целесообразно создать единый федеральный портал, на котором будет собрана вся информация о деятельности ЦКП. Провести государственную аккредитацию ЦКП (чтобы статус ЦКП присваивался аккредитационной комиссией, а не самими учредителями). Одним из основных требований к аккредитованным ЦКП должно стать требование по предоставлению квартальной отчетности о деятельности ЦКП с обязательным ее размещением на портале ЦКП, иначе многие из них так и останутся дорогими игрушками в руках отдельных ученых.

Развитие научно-образовательных и научно-технологических центров, в том числе и для кадровой инфраструктуры наноиндустрии, предусмотрено Федеральной целевой программой "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008— 2010 годы". За развитие приборно-инструментальной составляющей инфраструктуры наноиндустрии в программе закреплено направление 1, в рамках которого предусматриваются приобретение оборудования для оснащения государственных организаций национальной нанотехнологической сети, его монтаж, а также подготовка квалифицированного персонала для его эксплуатации. Указанное направление включает в себя мероприятия по формированию материально-технической базы национальной нанотехнологической сети, включая закупку, поставку, осуществление строительномонтажных работ, шефмонтажа и пусконаладочных работ по введению в эксплуатацию оборудования для организаций национальной нанотехнологической сети [http://nano.extech.ru/].

В первую очередь научно-образовательные центры ориентированы на создание инфраструктуры опытно-экспериментальных производств, позволяющих университету, при котором создаются НОЦ, выполнять заказные НИОКР на новом качественном уровне, доводить разработки своих лабораторий до опытных образцов.

В части реализации образовательных программ возможности НОЦ пока еще не совсем понятны, скорее всего, они сосредоточатся на программах переподготовки кадров для нужд предприятий ННС региона. Их возможности по переподготовки во многом будут определяться структурой и составом материально-технической базы и ее соответствия нуждам предприятий – партнеров. В части программ высшего и среднеспециального образования, они так же, как и ЦКП, ограничатся, вероятно, возможностью проведения экскурсий и демонстрацией получаемых результатов для широкого круга студентов (требования к чистоте рабочей зоны и т.п. ограничат их образовательные возможности для широкого спектра контингента). Конечно, возможности по организации стажировок и практик в НОЦ более широкие, чем в ЦКП, т.е. это уже не единичные аспиранты, а возможно отдельные группы студентов-магистров из 5-10 человек, но, скорее всего, приоритеты будут отданы хоздоговорным работам, а не образовательным задачам, что рано или поздно приведет к тому, что они будут заинтересованы только в подготовке кадров для своих собственных нужд (что явно видно на примере многих университетских НИИ).

Четкого инструмента, стимулирующего НОЦ активно заниматься образовательными задачами, пока нет. Однако с развитием НОЦ появится возможность привлекать творческие группы студентов к реализации конкретных заказных проектов, увеличатся возможности проведения магистрами прикладных исследований и разработок. Однако системно вопрос подготовки кадров для наноиндустрии НОЦ, так же, как и ЦКП не решит, но при этом развитие НОЦ является крайне необходимым, чтобы обеспечить тесную связь предприятий ННС и университетов, обеспечить возможность университетам предлагать на рынке готовые, опытные образцы, а не просто идеи.

Общий перечень НОЦ, создаваемых в рамках программы можно найти в перечне инвестиционных объектов федеральной целевой программы "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008—2010 годы" (Приложение 5, http://nano.extech.ru/). Их формирование только начинается, но с первых шагов было бы целесообразно, как и в случае с ЦКП, иметь единую федеральную информационную площадку с отрытым доступом и полным перечнем НОЦ и информацией по их видам деятельности, ссылками на их публичные ресурсы, на которых были бы представлены их регулярные отчеты и методические материалы. После ввода НОЦ в эксплуатацию в течение года – двух целесообразно провести их государственную аккредитацию с дальнейшим финансированием на паритетных условиях (на каждый заработанный рубль – рубль бюджетных средств).

Вывод: Результаты деятельности ЦКП и НОЦ в принципе поддаются четкому количественному анализу, как посредством совокупности финансовых показателей, так и интегральных, качественных показателей научной и хозяйственной деятельности. В настоящий момент практически никто не сможет ответить на вопрос – «На сколько успешны результаты деятельности того или иного компонента инфраструктуры?», да и просто получить информацию об их возможностях крайне сложно. Как функционируют созданные элементы инфраструктуры тоже неизвестно, так как большинство из них не имеет публичных информационных ресурсов. Для обеспечения необходимого уровня управляемости процессом развития инфраструктуры наноиндустрии целесообразно:

1. создать единый федеральный портал с полной информацией по деятельности ЦКП, НОЦ и иных элементов инфраструктуры наноиндустрии с открытым доступом (например, такую роль на себя мог бы взять проект «НАНОМЕТР»

(http://www.nanometer.ru), ставший в последнее время самым популярным ресурсов по нанотематике в России).

2. разработать и периодически осуществлять процедуру государственной аккредитации ЦКП и НОЦ, причем результатом аккредитации должно являться решение о гос.

финансировании аккредитованного элемента инфраструктуры на период аккредитации в объемах, паритетных с объемом заработанных ЦКП, НОЦ средств (например, как это реализуется по поддержке ведущих научных школ).

3. обязательным условием аккредитации компонентов инфраструктуры является наличие публичного информационно-методического ресурса, на котором периодически размещается отчетность по утвержденным формам.

4. разработать методику рейтинговой оценки деятельности ЦКП и НОЦ, на основе которой проводить ранжирование ЦКП и НОЦ в базе единого федерального портала, а также осуществлять финансирование аккредитованных компонентов инфраструктуры пропорционально комплексному рейтинговому коэффициенту.

Эти простые организационные меры позволят обеспечить необходимый уровень управляемости компонентов инфраструктуры, эффективность точечной поддержки на основе конкурсных процедур и информационную открытость в части демонстрации достижений и передачи знаний.

Главным «цехом» по производству кадров была, есть и будет кафедра. Пока никто из вузов создавать специальные «нанофакультеты» не собирается. Развитие материальнотехнической базы кафедральных лабораторий и центров является основным залогом успешной реализации программ широкой подготовки кадров в области наноиндустрии. Не получая базовых знаний и практических навыков, не пройдя начальных практических этапов в части отработки экспериментально-исследовательских, технологических и конструкторских навыков студенты не способны эффективно и в кратчайшие сроки приступить к выполнению конкретных реальных производственных проектов. Подготовку специалистов для наноиндустрии отличает: глубокая естественно-научная подготовка, междисциплинарность - специальный набор физических, химических, материаловедческих и биомедицинских дисциплин, тесная взаимосвязь учебного процесса с научными исследованиями (наличие в университете современного экспериментального и технологического оборудования), широкое использование современных вычислительных методов и информационных технологий. Учитывая это, в нашем университете, первостепенное внимание уделяется именно развитию кафедральной материальнотехнической базы по специализациям, проводимой при активной поддержке ведущих фирм наноиндустрии (ГНЦ «Курчатовский институт», STMicroelectronic NV, ОАО «НИЭМИ и завод Микрон», ЗАО «НТ МДТ», Концерн "Наноиндустрия", JSC «KLA-Tencor» и др.).

Логичным продолжением развития учебно-методической базы подготовки специалистов наноиндустрии является создание в рамках ФЦП кафедральных учебных инновационных комплексов (лабораторных учебно-исследовательских комплексов), укомплектованных учебным лабораторным оборудованием, позволяющим обеспечить все стадии проектной подготовки специалистов наноиндустрии (рис.1.1.).

Область коммерциализации (предприятия ННС) Рис.1.1. Спиральная модель интеграции кафедральных учебных комплексов в кадровую На первых этапах системной реализации развития кадровой инфраструктуры в рамках ФЦП целесообразно создать пилотные учебные инновационные комплексы при кафедрах ведущих университетах по направлениям наноиндустрии (наноэлектроника, наноматериалы, наносистемная техника, бионанотехнологии и т.д., всего таких направлений девять), наработки которых в дальнейшем будут тиражированы в других университетах. В совокупности все девять комплексов образуют уникальную кадровую инфраструктуру подготовки специалистов для наноиндустрии, причем в данном случае должна быть предусмотрена возможность кооперации университетов между собой, в том числе создание межуниверситетской программы подготовки магистров по отдельным направлениям, а возможно и интеграция в международную программу подготовки.

Типовой кафедральный учебный инновационный комплекс должен строиться по модульному принципу (каждый из модулей МТБ связан с блоком учебных дисциплин).

Основными базовыми модулями являются: модуль наноизмерений, модуль формирования наноструктур, информационный модуль (мультисервисная информационно-образовательная система), комплектация модулей определяется специализацией лабораторий. В настоящий момент отечественной промышленностью выпускается достаточный модельный ряд относительно недорого, простого в эксплуатации и надежного учебного лабораторного оборудования (ЗАО «НТ-МДТ», Концерн «Наноиндустрия» и др.).

Основной и специфической для России проблемой для эффективной и высококачественной организации учебного процесса является проблема закрепления преподавательского и инженерного учебно-вспомогательного персонала, а для «нанолабораторий» эта проблема приобретает первостепенное значение, так как спрос на специалистов, умеющих эксплуатировать современное «нанооборудование» значительно превышает предложения на рынке. Обеспечить достойные финансовые условия для специалиста за счет внутренних средств университета, в данном случае, практически не возможно, поэтому единственным практическим выходом из сложившейся ситуации является реализация «дуальной системы» функционирования учебно-исследовательских лабораторий (центров), которая предусматривает концепцию «каждой лаборатории – малое инновационное предприятие» (такой подход оправдал себя в зарубежных университетах, да и, в последнее время, в России уже есть положительные примеры такой организации). При этом на государственном уровне надо установить правила льготного размещения малых (аккредитованных при университете) предприятий на площадях кафедр, при условии, если их штатный состав на 60% процентов состоит из сотрудников данной госорганизации. Во многом все это существует и функционирует уже сейчас (де-факто), так как это объективные условия выживания, рынок все расставляет на свои места, но это работает без должной законодательной базы.

В общих чертах «дуальная система» такова: в структуре кафедры имеются учебноисследовательские лаборатории (центры компетенции, отделы), их сотрудники в основном – преподаватели кафедры (как правило, большинство преподавателей работает на 1.5 ставки, да еще и в разных местах, а такая орг. структура позволит преподавателю работать на 0. научным сотрудником на кафедре). С первого взгляда это могут реализовать университетские НИИ, однако это совсем не так, НИИ оторваны от образовательных задач кафедры и, следовательно, их сотрудники оторваны от главной задачи – подготовки кадров.

Получается, что учебная нагрузка преподавателя кафедры – сотрудника НИИ только мешает ему работать над проектами НИИ, он находится между двух «огней», с одной стороны интересы кафедры, с другой интересы НИИ, в результате приходится чем-то жертвовать.

Чтобы изначально создать условия, когда работа над научными проектами будет помогать образовательному процессу, необходимо обеспечить централизованное управление кафедральной наукой и учебным процессом, интегрировав в структуру кафедр как учебные, так и научные лаборатории. Необходимо обеспечить сотрудника и студента возможностью заниматься оплачиваемой научной деятельностью в научных лабораториях кафедры, а не на стороне. Реализация «дуальной» системы ведет к развитию и укреплению потенциала кафедры, а через это к укреплению потенциала факультета, университета в целом. Если будет создана необходимая законодательная база, способствующая развитию «дуальной»

системы при университетах, то это позволит менее зависеть от субъективных факторов, практически решить проблему притока и закрепления молодых сотрудников и их эффективной научно-технической деятельности.

Эффективной формой реализации «дуальной» системы развития инновационного процесса является форма, когда один и тот же творческий коллектив выступает в двух лицах - на потребительском рынке в виде малого научного предприятия и на рынке госзаказов в виде лаборатории университета или научного центра. «Дуальная» система работы творческих коллективов успешно развивается практически во всех ведущих научнотехнических кластерах, где находится большое количество малых и средних научнотехнических предприятий с высоким инновационным потенциалом. Эффективность данной схемы подтверждается и зарубежным опытом.

Основная цель создания учебно-инновационных центров – это обеспечение проектных методов обучения широкого контингента студентов, воспроизводство и закрепление научных и педагогических кадров университета, реализация дуальной системы инновационно-образовательной деятельности, когда в одном лице существуют учебноисследовательские лаборатории университетов и малые инновационные компании.

1.4. Научные молодежные лаборатории и студенческие КБ О школьном «нанообразовании» сейчас говорится достаточно много, однако все же в ближайшее время бурного прихода нанотехнологических курсов в школы ждать не приходится. Скорее всего, в отдельных физико-математических лицеях будут, в рамках эксперимента, поставлены курсы по нанотехнологиям и может быть даже организованы отдельные школьные нанолаборатории. Правильнее рассматривать «нанообразование» в школе – как одну из дополнительных компонент «технологических курсов» (школьных кружков) наравне с радиотехническими, авиамодельными, робототехническими и пр.

направлениями работы. Учитывая тесную связь с естественно научными, классическими дисциплинами, нанотехнологические курсы могли бы стать хорошим дополнением к практической химии, физике, биологии и т.п. Другой важной проблемой школьного нанообразования является отсутствие соответствующих кадров не только педагогов, но инженерно-вспомогательного персонала, который должен будет обслуживать школьные нанолаборатории. Не разработаны и соответствующие методические материалы. Скорее всего, школьные нанолаборатории будут создаваться либо при университетах, либо при муниципальных межшкольных центрах творчества молодежи, что позволит пользоваться их ресурсами целому ряду подшефных школ.

По оценкам специалистов Минобрнауки, один комплект школьного оборудования может стоить от 3 до 4 млн. рублей. Однако, учитывая, что в него крайне желательно включить модули сканирующей зондовой микроскопии, оптических исследований, простейший электронный микроскоп и средства нанолитографии стоимость школьного учебно-методического комплекта может превысить 5 млн. рублей, но в принципе все компоненты УМК на сегодня выпускаются отечественными предприятиями, например ЗАО «NT-MDT». В интервью «Газета.ру» министр образования и науки отметил, что в ближайшее время министерство объявит конкурс среди физико-математических школ на поставку этих комплектов - «Я думаю, что это будет иметь очень важный психологический эффект, когда уже школьников мы сможем привлекать к лабораторным работам в этой новой сфере».

Однако, главным останется не выделить ресурсы для комплектации школьных нанолабораторий, а эффективно ими воспользоваться, чтобы создать инфраструктуру формирования у школьников интереса к такому новому и сложному научному направлению, как нанотехнологии. Наиболее целесообразно, по нашему мнению, формировать школьные нанолаборатории при университетах (или с привлечением специалистов университетов), реализовывать в них программы дополнительного школьного образования под эгидой департамента образования региона с итоговой научной конференцией (олимпиадой), по результатам которой школьники бы получали возможность зачисления в профильный университет.

Технологии создания и развития школьных научных лабораторий (НИЛ) уже многие годы успешно себя зарекомендовали в МГТУ им.Н.Э.Баумана. В 2006 году список многочисленных школьных научных лабораторий МГТУ им.Н.Э.Баумана дополнила школьная нанотехнологическая научно-исследовательская лаборатория кафедры «Проектирование и технология производства ЭС» (ИУ4). В ВФМШ при МГТУ им.Н.Э.Баумана абитуриенты не только проходят обучение по математике и физике, но и технологические спец. курсы в лабораториях университета, одним из которых и стал спец.

курс «Основы нанотехнологий» созданной НИЛ.

Программа обучения в данной школьной лаборатории представляет собой обучение группы молодых исследователей (максимум 10 человек) по специальной программе, предполагающей углубленную подготовку по основам нанотехнологий. Образовательная программа школьников рассчитана на несколько семестров: один учебный семестр и несколько исследовательский. Обычно, в лабораторию приходят учащиеся 10-х классов профильных лицеев и школ МГТУ им.Н.Э.Баумана, и в первом учебном семестре они проходят теоретический курс «Основы нанотехнологий», лабораторные работы в области сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и учебно-технологическую практику, на которой приобретаются навыки постановки и выполнения экспериментов. Программа занятий ориентирована на то, чтобы показать тесную межпредметную связь нанотехнологий с классическими естественнонаучными дисциплинами: физикой, химией, биологией, математикой.

Сочетание образовательных программ в школьных научных лабораториях с проведением научных олимпиад и конференций школьников позволяет максимально эффективно решать вопросы по профильной подготовке абитуриентов. Результатом такого обучения в НИЛ является исследовательская работа, оформленная в соответствии с требованиями, сопоставимыми с требованиями на курсовые работы и отчеты по НИР.

Апробация результатов исследований проводится на ежегодной научной конференции – олимпиаде «Шаг в будущее – Москва» в форме публичной защиты, где обсуждается проделанная работа и намечается круг задач по ее развитию. Многие из школьников в дальнейшем, поступив в МГТУ им.Н.Э.Баумана, продолжают развивать выбранное научное направление, становятся стипендиатами Правительства и Президента России, выигрывают различные Гранты и конкурсы. Результаты деятельности школьных НИЛ МГТУ им.Н.Э.Баумана 9в том числе и по нанотехнологиям) неоднократно освещались в электронных и традиционных СМИ (http://pr.bmstu.ru/newsline/?p=1272#more-1272, Наноскоп http://www.nanometer.ru/2008/04/25/dovuzovskoe_nanoobrazovanie_49405.html, http://www.nanometer.ru/2008/05/31/dovuzovskoe_nanoobrazovanie_53055.html ).

Благодаря реализованной в МГТУ им.Н.Э.Баумана комплексной образовательной программы «школьник-студент-инженер», при поддержке ведущих отечественных высокотехнологичных компаний, не только выявляются склонные к научноисследовательской работе учащиеся, но и реализуется поэтапная проектная подготовка, вырабатываются навыки постановки, проведения, оформления и защиты научного исследования. Данный проект является логичным продолжением всего комплекса работ по формированию в МГТУ им.Н.Э.Баумана инновационной образовательной среды и современной инфраструктуры подготовки и переподготовки кадров для наноиндустрии.

2. ТИПОВАЯ КОНФИГУРАЦИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ БАЗЫ

ПОДГОТОВКИ БАКАЛАВРОВ/МАГИСТРОВ

Согласно требованиям ГОС высшее учебное заведение, реализующее основные образовательные программы подготовки бакалавра/магистра, должно располагать материально-технической базой, обеспечивающей проведение всех видов лабораторной, дисциплинарной и междисциплинарной подготовки, практической и научноисследовательской работы студентов, предусмотренных учебным планом вуза и соответствующей действующим санитарным и противопожарным правилам и нормам, или устойчивыми связями с НИИ, предприятиями, предоставляющими базу для обеспечении эффективной научно-практической подготовки бакалавров/магистров. В состав учебного лабораторного оборудования должно входить технологическое оборудование, персональные компьютеры и рабочие станции, объединенные в локальные сети с выходом в Internet, оснащенные современными программно-методическими комплексами для решения задач по профилям и специализациям «Наноинженерии».

Типовая конфигурация материально-техническая база подготовки бакалавров/магистров по специализациям и профилям «Наноинженерии» (в соответствии с ГОС) в себя: модуль «Технологические системы формирования наноструктур», модуль «Исследовательские наноизмерительные системы», модуль «Комплекс испытаний, сертификации и метрологических исследований наносистем», модуль «Мультисервисная информационно-образовательная среда и САПР наносистем».

Требования к составу и виду оборудования определяются показателями Классификационной карты примерных основных образовательных программ ВПО подготовки бакалавров и магистров по профилям и специализациям «Наноинженерия»

(табл.2.1.1).

Таблица 2.1.1. Характеристика компетенций и требования к бакалаврам/магистрам по (квалификация) характеристика подготовки "Нанотехнология" с подготовки “Нанотехнология” с требованиями "Квалификационного требованиями “Квалификационного следующие 6должности: инженер, следующие должности: инженеринженер-электроник, инженер- электроник, инженер-технолог, профессиональной деятельности выпускника включает деятельности выпускника включает деятельности. в себя совокупность средств, в себя совокупность средств, профессиональной деятельности бакалавра являются: деятельности выпускника в Квалификационные Для решения профессиональных Магистр по направлению требования. задач бакалавр осуществляет сбор, подготовки "Нанотехнология” экспериментов, готовит данные для исследования;

составления отчетов, обзоров и другой документации; экспериментальных исследований направлению профессиональной физико-математическое и деятельности с использованием физико-химическое наладке технологического и процессов с целью оптимизации контрольно-диагностического их параметров;

· участвует в работах по разработка новых программных технологических процессов в ходе решение научных, проектных и подготовки производства новой технологических задач в рамках · участвует в испытаниях и деятельности;

сдаче экспериментальных и организация модельных и опытных образцов новой техники; натурных экспериментов по организации контроля качества материалов и компонентов, выпускаемой продукции, проводит разрабатываемых процессов и выпускаемой продукции и эксплуатации;

· осуществляет контроль за также оценка техникособлюдением технологической экономической эффективности дисциплины на своем участке, разработки;

производственного и лабораторного исследований для опубликования · принимает участие в составление обзоров, рефератов, организации технического отчетов и докладов.

обслуживания и ремонте Квалификационные технологического и контрольно- требования диагностического оборудования по направлению деятельности;

· осуществляет профилактику производственного травматизма, экологических нарушений.

Бакалавр должен знать:

· постановления, материалы, касающиеся области своей профессиональной деятельности;

технические условия, положения и оборудования, программам зарубежной науки и техники в испытаний, оформлению своей профессиональной сфере;

и экономические показатели модифицирует существующие и отечественных и зарубежных разрабатывает новые методы, разработок в области своей исходя из задач конкретного профессиональной деятельности; исследования;

· основное используемое проводит экспериментальные измерительное оборудование и модернизации или создания новых · средства вычислительной математические модели процессов реферативными, периодическими и участвует в проектировании, справочно-информационными конструировании и модернизации технологиями по профилю работы; профессиональной деятельности;

информационные технологии в научных исследованиях и относящиеся к профессиональной сфере;

проведения экспериментальных работ;

методы анализа и обработки экспериментальных данных;

физические и математические модели основных процессов и исследуемым объектам;

коммуникации и связи;

технические характеристики и экономические показатели отечественных и зарубежных наноматериалов, компонентов процессов нанотехнологии и методов нанодиагностики;

порядок и методы проведения патентных исследований;

методики оценки техникоэкономической эффективности разработок;

организации труда и управления коллективом;

законодательства;

действующие стандарты и технические условия, положения и инструкции по эксплуатации исследовательского оборудования, документации;

образовательной и научной деятельности в высших учебных заведениях.

образования. - в магистратуре по направлениям: преимущественно по научным уровню подготовки образования абитуриента - среднее программу специализированной абитуриента (полное) общее образование. подготовки магистра должны иметь При формировании структуры и состава материально-технической базы для подготовки бакалавров /магистров по «Наноинженерии» основное внмиание уделяется продукционному ряду, на проектную деятельность с которым ориентирован выпускник.

Направление наноинженерии в общем включает в себя разработку и создание функционально законченных сложных многоуровневых приборов, устройств и систем, использующих элементы и блоки, созданные с использованием нанотехнологий. К числу таких приборов, устройств и систем, например, относятся:

-различного рода информационные микро- и наносистемы, включающие системы локации и связи, системы сбора, обработки и передачи данных, датчики и сенсоры, а также устройства мехатроники на их основе;

-биомедицинские приборы и устройства, включающие как приборы и устройства диагностики, так и локальной доставки лекарств и терапии;

-технологическое оборудование для производства наноструктур, наноматериалов и наносистем;

-измерительное и аналитическое оборудование для диагностики и анализа наноструктур, наноматериалов и наносистем;

-программные комплексы и технологии моделирования и проектирования наноструктур, наноматериалов, приборов, устройств и систем на их основе.

Структура и состав продукции наноиндустрии (в частности «Наноинженерии») постоянно расширяется. Для систематизации и оперативного мониторинга за потребностями рынка в РФ введена процедура добровольной сертификации продукции наноиндустрии «НАНОСЕРТИФИКА», которая определяет перечень продукционного ряда наноиндустрии (Приложение 1, рис.2.1.1), связанные с ним технологические процессы и формирует требования к построению, содержанию, изложению и оформлению методик выполнения измерений при сертификации нанопродукции. Эти требования во многом определяют состав и структуру материально-технической базы подготовки бакалавров/магистров по специализациям и профилям «Наноинженерии».

Рис.2.1.1. Продукционный ряд наноиндустрии, подлежащей сертификации в Системе добровольной сертификации продукции наноиндустрии «НАНОСЕРТИФИКА»

Исходя из структуры и состава продукционного ряда, связанных с ним технологических процессов и проектных процедур, перечня компетенций, знаний, навыков и умений для бакалавра и магистра обучающегося по профилям и специализациям «Наноинженерии» формируются и соответствующие комплексы материально-технического обеспечения, которые являются неотъемлемой частью учебно-методических комплексов специальных дисциплин. В следующих разделах приведем результаты маркетинговых исследований по комплексу оборудования с учетом особенности подготовки бакалавров/магистров по «Наноинженерии»

Входящее в состав УМК по блокам дисциплин оборудование и доступные методики должны обеспечивать реализацию максимального возможной совокупности методов и методик для обеспечения проектных методов обучения по утвержденным программ подготовки бакалавров /магистров. В настоящий момент большинство практических занятий и лабораторных работ реализуется на базе предприятий ННС и институтов РАН (РНЦ «Курчатовский институт», ФТИАН РАН и др.). В таблицах 2.1.2 – 2.1.3. представлены спецификации базовых методов и методик формирования наноструктур, характеристики основных методов и методик микроскопии и оптических исследований, которые вариативно реализуются материально-технической базой Вуза в зависимости от профилей и специализаций подготовки.

Табл.2.1.2. Характеристика основных методов и методик (компетенций) Pressure Chemical Vapor Si, SiO2, газовой фазы при низком ники и нанометров 1. высокая чистота и поликристаллич Pressure Chemical Vapor осаждение из газовой фазы ники и нанометров 1. низкая температура SixNyHz;

осаждение из газовой фазы ники групп нанометров 1. Возможность микроэлектрони (Metal Organic CVD) (Magnetron Sputtering) Табл.2.1.3. Характеристики основных методов и методик (компетенций) микроскопии.

1. Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) Метод постоянной тока (Constant Измерение рельефа поверхности при сканировании образца 1. Метод постоянной высоты Измерение рельефа поверхности при сканировании образца 1.2.

(Constant Height mode) Метод отображение работы Измерение рельефа поверхности получается путем 1.3.

Метод I(z) спектроскопии Измеряет туннельный ток в зависимости от расстояния зонобразец в каждой точке СТМ изображения.

Метод I(v) спектроскопии Предполагает одновременное получение обычного 1.5.

(or Current Imaging Tunneling изображения рельефа при фиксированных значениях тока Io и Spectroscopy, CITS) 2. Контактная сканирующая атомно-силовая микроскопия (КАСМ) Метод постоянной силы Измерение рельефа поверхности при сканировании образца 2.1.

(Constant Force mode) Метод постоянной высоты Измерение рельефа поверхности при сканировании образца 2.2.

(Constant Height mode) Контактный метод Отображение сигнала рассогласования на входе системы 2.3.

рассогласования обратной связи в процессе реализации Метода постоянной (Contact Error mode) Микроскопия латеральных сил Отображение распределения локальной силы трения по 2.4.

(Lateral Force Microscopy) Метод модуляции силы Отображение распределения локальной упругости по 2.5.

(Force Modulation mode) Отображение силы растекания Отображение распределения локальной проводимости образца 2.6.

Spreading Resistance Imaging) Контактная электростатическая Отображение распределения электрического потенциала по 2.7.

силовая мокроскопия (ЭСМ) поверхности образца, характеризуется повышенным Атомно-силовая акустическая Отображение распределения локальной упругости по 2.8.

(Atomic-force acoustic microscopy, АСАМ резонансная спектоскопия Отображение распределения локальной упругости по 2.9.

(AFAM Resonance Spectroscopy) 3. Прерывисто-Контактная сканирующая силовая микроскопия Прерывисто-контактный метод Измерение рельефа поверхности с использованием 3.1.

Прерывисто-контактный метод Отображение сигнала рассогласования на входе системы 3.2.

рассогласования обратной связи в процессе реализации прерывистоконтактного метода, обеспечивает подчеркивание (Semicontact Error mode) Метод отображения фазы Отображение особенностей рельефа, поверхностной адгезии и 3.3.

(Phase Imaging mode) 4. Бесконтактная атомно-силовая микроскопия (Non Contact AFM) 4.1.

(Non-Contact mode) 5. Многопроходные методики (Many-pass techniques) Статическая магнитно-силовая Отображает распределение магнитной структуры 5.1.

(DC Magnetic Force Microscopy, распределения первой производной магнитного поля Динамическая магнитно-силовая Отображение распределения магнитной структуры 5.2.

(AC Magnetic Force Microscopy, AC распределения второй производной магнитного поля Электростатическая силовая Отображает распределение электрического потенциала по 5.3.

(Electrostatic Force Microscopy, Метод зонда Кельвина Измерение распределения электрического потенциала по 5.4.

(Kelvin Probe Microscopy) Сканирующая емкостная Отображение распределения локальной поверхностной 5.5.

(Scanning Capacitance Microscopy, SCM) 6. Ближнепольная оптическая микроскопия (БОМ) Ближнепольная оптическая Изображение формируется при сканировании исследуемого 6.1.

7. Оптическая микроскопия 7.1.

7.2.

Оптическая профилометрия Позволяет получить профиль исследуемой поверхности на 7.3.

Раман-спектроскопия Результатом измерений является рамановский спектр 7.4.

7.5.

8. Электронная микроскопия Растровая электронная Исследуемый образец в условиях промышленного вакуума 8.1.

8.2.

8.3.

8.4.

неквалифицированными пользователями не менее 30часов в неделю). В общем случае материальнотехническая база подготовки бакалавров/магистров по Рис.2.1.2. Обобщенная технологическая цепочка синтеза наноструктур и наносистем 2.2. Модуль «Технологические системы формирования наноструктур»

Модуль «Технологические системы формирования наноструктур» МТБ УМК подготовки бакалавров/магистров по «Наноинженерии» предназначен для обеспечения тестовыми образцами проектных работ студентов, магистров и аспирантов, а также выполнения экспериментальных работ и НИОКР по профилям и специализациям подготовки.

Модуль должен включать в свой состав несколько малогабаритных экономичных настольных напылительных установок, которые предназначены для проведения лабораторных работ и начального обучения студентов по использованию вакуумного нанотехнологического оборудования. Обеспечивать весь цикл подготовки образцов для традиционного сканирующего электронного микроскопа (SEM). Простоту в обращении и обеспечивать нанесение высококачественных токопроводящих покрытий на разнообразные образцы.

Сводные результаты маркетинговых исследований по оборудованию, которое может быть использовано для комплектации данного модуля МТБ, включая краткий обзор отдельных альтернативных вариантов представлен в данном разделе.

2.2.1 Системы вакуумного формирования наноструктур Для проведения полного цикла получения тест-образцов для проведения практчисеких работ по образовательным программам бакалавров/магистров необходимо предварительно реализовать базовые подготовительные операции: очистка поверхностей, нанесение резиста, отмывка между технологическими операциями (рис.2.1.3).

удаление органических и загрязнений удаление остатков двуокиси кремния После выполнения подготовительных операций можно переходить непосредственно к технологическим процессам формирования наноструктур. При реализации образовательной компоненты по программам бакалавра подготовительные операции обычно выполняются персоналом лабораторий, в рамках практических опытно-экспериментальных работ магистров к их осуществлению могут допускаться и сами обучаемые.

Линейка оборудования фирмы BOC Edwards, которая обладает большим опытом в области производства установок для химической, фармацевтической, металлургической и научной отраслей современной индустрии, широка и включает установки вакуумного напыления различного назначения, комплектации и параметров. Наиболее приемлемыми параметрами для исследовательских установок модуля обладают установки серии A500 и TF600. Данное оборудование представляет собой мощные и многофункциональные системы тонкоплночного напыления для научных и предпродажных исследований. В состав типовой конфигурации входят:

Учебный технологический комплекс на базе малогабаритной экономичной настольной напылительной установки Scancoat Six (несколько рабочих мест учебного Исследовательский технологический комплекс на базе установок A500 или TF600.

Подробное описание: http://www.invac.ru/catalogue/12-vacuum_coating_auto_500.shtml Ориентировочная стоимость базовой конфигурации: 20 000 долларов США Дистрибьютор в РФ: ЗАО «ИНТЕК ВАКУУМ», адрес электронной почты: [email protected], Интернет-сайт: www.invac.ru, 129343, Москва, ул. Амундсена, д. 5-2, офис 18, телефон: + (495) 7886841, факс: +7 (495) 1806454 (автоматический прием) Основные базовые технические характеристики исследовательского технологического комплекса кластера на базе установок A500 или TF600 приведены в таблице:

Предельное остаточное давление 4х10 Па Функциональные возможности установок достаточно широки:

Возможность повышения производительности за счет работы до трех магнетронов одновременно Возможность объединить несколько источников в связку (в круг), для направленного распыления Широкий выбор рабочих камер Системы магнетронного распыления как на постоянном токе ПТ, так и на токе высокой частоты ВЧ Совместимость ПТ и ВЧ магнетронов в одной установке Системы ПТ и ВЧ травления Устройство распределения мощности для систем ВЧ и ПТ травления Реактивное распыление Система шлюзов и перемещения подложек Автоматическая система управления напуском технологического газа: для одного (одноканальная) или двух (двухканальная) технологических газов Система автоматического управления технологическим процессом Система косвенного нагрева подложек BOC Edwards TF600.

Данная установка разработана для реализации большого количества различных технологических процессов.

Уникальная конструкция внешней помпы, отдельный стеллаж для оснастки и увеличенная камера предоставляют гибкость использования установки.

приспособлений для верхней и нижней пластин, а также сенсорной системы управления устанавливают новые стандарты в технологии вакуумного напыления.

BOC Edwards A500.

Данная система представляет собой установку для напыления тонких плнок с фронтальной загрузкой для исследований и предпродажной разработки. Рабочая камера легко вмещает подложки большого диаметра и позволяет комбинировать термическое, электронно-лучевое испарение или магнетронное распыление без разгерметизации рабочего объема.

Функциональные возможности:

Большая камера (500 мм в диаметре, Фронтально открывающаяся крышка для удобного доступа внутрь камеры На базе установки может быть размещен весь спектр оборудования для термического, электроннолучевого и ПТ/ВЧ распылений Стоимость универсального технологического кластера по формированию наноструктур и нанопленок в составе 4-5 учебно-исследовательских комплексов Scancoat Six и исследовательского комплекса TF600 (A500) колеблется в районе 500 тысяч евро.

Оборудование BOC Edwards не является единственно возможным вариантом комплектации модуля формирования наноструктур. Кроме компании BOC Edwards, необходимо отметить оборудование для вакуумного напыления тонких плнок фирм Denton Vacuum, Leybold Optics (http://www.magnetron.ru/rus/index2.htm), созданной на базе НПО "Вакууммаш" и др.

Первые две компании не имеют на территории РФ официальных дистрибьюторов и сервисных центров, что обуславливает сложность реализации сервиса и технической поддержки установленного на территории РФ оборудования фирм Denton Vacuum и Leybold Optics. Оборудование ЗАО «Ферри-Ватт» не выпускается серийно, только под заказ.

Приведем некоторые сводные данные маркетинговых исследований по альтернативным вариантам по данным, полученным из открытых источников.

Научно-исследовательская нанотехнологическая установка NanoFAB Совместима с самыми современными системами формирования наноструктур на подложках диаметром 1-4 дюйма с использованием методов осаждения из газовой фазы (CVD) и молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE). NanoFAB 100 включает три сверхвысовакуумные (10-11 Торр) камеры – аналитическую, загрузочную и камеру смены зондовых головок, содержащие SEM модуль (сканирующая электронная микроскопия), FIB модули (до трех колонн) и СЗМ головки (до шести различных головок – STM, AFM (атомносиловая микроскопия), SNOM (сканирующая оптическая микроскопия ближнего поля), калибровочная DFM/STM, SCM (сканирующая емкостная микроскопия), головка Nanointendor или любые другие).

Это позволяет создавать нанообъекты сложной структуры; манипулировать квантовыми точками; изменять поверхность любых объектов на наноуровне; выполнять нанолитографию с возможностью полимеризации, разрушения или роста требуемых структур; методами CVD и MBE выполнять травление или выращивание наноточек и нанообъектов, способных нести независимое функциональное назначение. Также система может быть дополнительно оборудована рентгеновским микроанализатором, масс спектрометром, электронным спектрометром для химического анализа. Выполненные на платформе NanoFAB 100 Нанотехнологические Комплексы позволяют создавать на подложках с размерами до 100 мм наноэлектронные, нанофотонные, спинтронные и пр.

наноструктуры, наноэлементы и наноустройства. Основной недостаток – высокая стоимость комплектации установки.

Модульные системы осаждения фирмы MantisDeposition Модульные системы осаждения Qprep250 и Qprep500 фирмы MantisDeposition разработаны для исследования тонких плнок в ультрачистых условиях. Они сочетают в себе высокое качество и наджность компонентов системы с невысокой стоимостью конечной системы. Отличительной особенностью продукции фирмы MantisDeposiition является е модульность. По заказу на системы Qprep250 и Qprep500 можно установить дополнительные устройства, такие как источники ВЧ атомов, устройства термического испарения, а также модули для осаждения нанокластерных структур.

Qprep250 - объединяет в себе гибкость комплектации, низкую стоимость и высокое качество получаемых покрытий. Она может быть оснащена устройствами электроннолучевой металлизации, ионно-лучевого напыления и нанесения нанокластерных структур.

Параметры стандартной конфигурации.

Отверстия для установки дополнительных 4 х NW100CF компонентов Давление в камере Система может быть дополнительно оснащена Манипулятором для поворота и нагрева подложки Вакуумной загрузочной камерой Системой контроля процесса напыления Системой напыления нанокластерных структур Системой электронно-лучевой металлизации Системой внешнего или внутреннего подогрева подложки Турбо или крио насосами Безмаслянной откачкой воздуха Qprep500 - разработана для исследования для исследования тонких плнок в ультрачистых условиях. Она может быть оснащена UHV а также большим количеством дополнительных модулей и систем.

Анализатор, загрузочная камера, Многомолекулярные слои Большое количество держателей, Ультра тонкие плнки включая вращение, нагревание, охлаждение, смещение Широкий диапазон турбо и крио Источники осаждения включают ВЧ и ПТ осаждение, электронно-лучевое осаждение, K-cell, нанесение нанокластерных структур Параметры стандартной конфигурации.

Отверстия для установки дополнительных 4 х NW100CF компонентов Давление в камере Универсальный учебно-экспериментальный малогабаритный комплекс вакуумного нанесения тонких пленок модульного типа разработан на кафедре МТ11 МГТУ им.Н.Э.Баумана. Он предназначен как для обеспечения лабораторных работ по бакалаврским программам учебными образцами, так и для исследовательских работ в области технологии тонких пленок в вакууме и формирования тонкопленочных наноструктур. Рабочая камера установки, представляющая собой изготовленный из тугоплавкого стекла цилиндр, оснащена сменными фланцами, что позволяет производить нанесение пленок различными методами и визуально контролировать процессы, происходящие в вакуумной камере. Вакуумная система установки снабжена диффузионным насосом с воздушным охлаждением (для обеспечения безмасляного вакуума предусмотрен турбомолекулярный насос) и механическим насосом.

Управление форвакуумной и высоковакуумной магистралями производится оператором при помощи электромагнитных клапанов. Напуск рабочего газа контролируется системой напуска на базе РРГ-10. Управление питанием клапанов, диффузионным и механическим насосами производится при помощи САУ. Контролировать давление можно по показаниям термопарного и ионизационного вакуумметров.

Основным достоинством установки является небольшое время откачки вакуумной камеры, что позволяет проводить большое количество опытов за рабочий день.

Технические характеристики установки:

предельное давление, Па скорость осаждения пленки, нм/с скорость травления слоев, нм/с Установка содержит следующие технологические модули: термического испарения, плазмо-химического осаждения, дугового испарения и магнетронного распыления.

Модуль термического испарения Модуль плазмохимического осаждения Модуль дугового испарения Модуль магнетронного распыления Система автоматического управления позволяет контролировать процесс получения требуемого вакуума и газовой среды, поддерживать заданные режимы работы технологических источников, управлять длительностью процесса обработки изделий и обеспечивать заданные температурные режимы.

Установка выпускается с различной комплектацией: от простейшей – с форвакуумным и диффузионным насосами, контролем вакуума, модулем термического испарения с блоком питания, полностью ручным управлением до более сложных вариантов – с турбомолекулярным насосом, многоканальной системой напуска рабочего газа, четырьмя технологическими модулями, микропроцессорной системой автоматического управления и системой управления качеством формируемых тонкопленочных покрытий и наноструктур.

2.2.2. Системы для синтеза нанотрубок и их композиций Одной из важнейших задач любой инфраструктуры в области наносистемной техники и наноинженерии является предоставление пользователям возможности синтеза систем на базе нанотрубок и их композиции. С момента обнаружения первых нанотрубок, основные усилия ученых сфокусировались на разработке метода, позволяющего производить нанотрубки с заданными свойствами и в больших количествах. Именно отсутствие такого метода объясняет относительно высокую стоимость нанотрубок на сегодняшний день, связанную со сложной и дорогой технологией очищения и выделения нанотрубок, полученных каким-либо методом.

Можно выделить три основополагающих метода, использующихся в технологии:

метод термического разложения графита в дуговом разряде, метод химического осаждения из газовой фазы с использованием катализатора, метод лазерного испарения графита.

Отметим, что существует широкий набор их модификаций; возможны также сочетания нескольких методов в одном процессе. Также, относительно дешевым является альтернативный способ образования наноструктур за счет холодной деструкции графита.

Система Orion III PECVD предназначена для осаждения высококачественных плнок оксидов, нитридов и оксинитридов кремния. Уникальная конструкция реактора позволяет получать плнки с низкими внутренними напряжениями и превосходным значением шага на чрезвычайно низких уровнях мощности. Система соответствует уровню безопасности и требованиям как лабораторий, так и экспериментального производства. У Orion III есть много стандартных особенностей, которые обычно не включают в такую низкую стоимость, именно поэтому множество пользователей по всему миру выбрали именно эту систему.





Похожие работы:

«УТВЕРЖДАЮ Проректор по учебной работе С.А. Болдырев _ 20_г. РАБОЧАЯ ПРОГРАММА дисциплины Механика грунтов, основания и фундаменты (наименование дисциплины в соответствии с учебным планом) Программа переподготовки Промышленное и гражданское строительство Институт/Факультет Инженерно-строительный институт Кафедра Геотехника и дорожное строительство СОДЕРЖАНИЕ 1. Цели и задачи изучения дисциплины 1.1. Цель преподавания дисциплины 1.2. Задачи изучения дисциплины 1.3. Межпредметная связь 1.4....»

«ПРОЕКТИРОВАНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СИСТЕМ Методические указания по курсовому проектированию для студентов специальности 220301 Автоматизация технологических процессов и производств и по направлению 220200 Автоматизация и управление ЭЛЕКТРОННЫЙ ВАРИАНТ Санкт-Петербург 2009 1 ВВЕДЕНИЕ Содержание курсового проекта Проектирование автоматизированных систем (ПАС) определяется общей задачей данного курса, в результате изучения которого студенты должны знать содержание и порядок выполнения проектных...»

«Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования ГОРНО-АЛТАЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ Кафедра зоологии, экологии и генетики Кафедра геоэкологии и природопользования ЭКОЛОГИЯ Учебно-методический комплекс Для студентов, обучающихся по специальности 020401 География Горно-Алтайск РИО Горно-Алтайского госуниверситета 2010 Печатается по решению методического совета Горно-Алтайского госуниверситета УДК – ББК – Авторский знак...»

«БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ФАКУЛЬТЕТ ПРИКЛАДНОЙ МАТЕМАТИКИ И ИНФОРМАТИКИ МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ОФОРМЛЕНИЮ И ЗАЩИТЕ КУРСОВЫХ, ДИПЛОМНЫХ РАБОТ И ДРУГИХ ОТЧЕТНЫХ ДОКУМЕНТОВ СТУДЕНТОВ УНИВЕРСИТЕТА МИНСК 2005 УДК 378.147.88 (072) ББК 74.582я73 М 54 Авторы-составители: В. В. Горячкин, Н. Н. Демеш, Н. А. Коротаев Рекомендовано Ученым советом факультета прикладной математики и информатики 24 мая 2005 г., протокол № Рецензент доктор физико–математических наук, профессор В. В. Попечиц...»

«Уважаемые выпускники! В перечисленных ниже изданиях содержатся методические рекомендации, которые помогут должным образом подготовить, оформить и успешно защитить выпускную квалификационную работу. Рыжков, И. Б. Основы научных исследований и изобретательства [Электронный ресурс] : [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки (специальностям) 280400 — Природообустройство, 280300 — Водные ресурсы и водопользование] / И. Б. Рыжков.— СанктПетербург [и др.] : Лань,...»

«МИНИСТЕРСТВО СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ АЛТАЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АГРАРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ Т.В. Жарикова, Е.В. Краснов ЦЕНООБРАЗОВАНИЕ Учебно-практическое пособие Барнаул Издательство АГАУ 2006 УДК 338.5(072) Жарикова Т.В. Ценообразование: учебно-практическое пособие / Т.В. Жарикова, Е.В. Краснов. Барнаул: Изд-во АГАУ, 2006. 119 с. Учебное издание разработано в соответствии с программой курса...»

«ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ МОСКОВСКАЯ БАНКОВСКАЯ ШКОЛА (КОЛЛЕДЖ) ЦЕНТРАЛЬНОГО БАНКА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ВЫСШАЯ ШКОЛА ЭКОНОМИКИ СОГЛАСОВАНО УТВЕРЖДАЮ Заместитель директора Директор Московской банковской школы (колледжа) Московской банковской школы (колледжа) Банка России Банка России М.В. Игнатьева _ Г.Н. Булгаков _2014 года _2014 года УТВЕРЖДАЮ...»

«БОУ ВПО Чувашский государственный институт культуры и искусств Научно-методический отдел Традиции и новаТорсТво в современном ХудожесТвенном образовании Материалы международной конференции (г. Вена) Материалы VI Республиканского конкурса научно-методических работ преподавателей учебных заведений культуры и искусства Чувашской Республики Чебоксары, 2013 ББК 74.200.54 Т 65 Рекомендованно к изданию научно-методическим отделом БОУ ВПО Чувашский государственный институт культуры и искусств Традиции...»

«199034, Россия, Санкт-Петербург,14-я линия, В.О., д.7 оф.611 тел/факс: +7 (812) 677-05-07 [email protected] http://eduvideo.ru Предложение о проведении образовательного семинара для профессорско-преподавательского и управленческого состава вуза Внедрение федеральных государственных образовательных стандартов требует внедрения современных и интерактивных технологий обучения в учебный процесс. В этой связи, особенно остро стоит вопрос о повышении квалификации профессорско-преподавательского...»

«Г.М. Егорова, Н.В. Гусева, Н.Г. Остроухова ОРГАНИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВА НА ПРЕДПРИЯТИЯХ ОТРАСЛИ (ТЭК) Методические рекомендации по выполнению курсового проекта 2012 УДК 658.5 (075.5) Организация производства на предприятиях отрасли (ТЭК): методические рекомендации по выполнению курсового проекта/Сост. Г.М. Егорова, Н.В. Гусева, Н.Г. Остроухова. – Самара: 2012. – 68 с. Методические рекомендации содержат основные требования к структуре, содержанию и оформлению курсового проекта по дисциплине...»

«Министерство науки и профессионального образования Автономное учреждение Республики Саха (Якутия) Региональный технический колледж в г. Мирном МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ По оформлению курсовых и дипломных работ Разработал: Методическая служба АУ РС (Я) МРТК Мирный 2010 СОДЕРЖАНИЕ Общие положения 1. Оформление задания на проект и работу 2. Структурные элементы пояснительной записки 3. Требования к содержанию структурных элементов пояснительной 4. записки Правила оформления пояснительной записки 5....»

«В.В. Орлёнок, А.А. Курков, П.П. Кучерявый, С.Н.Тупикин ФИЗИЧЕСКАЯ ГЕОГРАФИЯ Калининград 1998 В.В. Орлёнок, А.А. Курков, П.П. Кучерявый, С.Н.Тупикин ФИЗИЧЕСКАЯ ГЕОГРАФИЯ Учебное пособие Калининград 1998 УДК 911.2 Орлёнок В.В., Курков А.А., Кучерявый П.П., Тупикин С.Н. Физическая география: Учебное пособие / Под ред. В.В. Орлёнка. Калининград, 1998. с. - ISBN 5-88874-096-9. В учебном пособии представлены материалы по различным направлениям современной географической науки - строению солнечной...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ДЕПАРТАМЕНТ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ ГРОЗНЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НЕФТЯНОЙ ИНСТИТУТ им. академика М. Д. Миллионщикова Методические рекомендации по составлению компетентностно-ориентированных рабочих программ учебных дисциплин Грозный 2010 г. 1. Цели и задачи дисциплины: Указываются цели освоения дисциплины, соотнесенные с общими целями ООП ВПО 2. Место дисциплины в структуре ООП: указывается цикл, к которому относится дисциплина...»

«Методические рекомендации по подготовке учащихся к участию в олимпиадах высокого уровня по физике М. В. Семенов Ю. В. Старокуров А. А. Якута Москва Физический факультет МГУ 2007 ББК 22.3я721+74.262.22 Учебное издание М. В. Семёнов, Ю. В. Старокуров, А. А. Якута Методические рекомендации по подготовке учащихся к участию в олимпиадах высокого уровня по физике. М.: Физический факультет МГУ, 2007. 60 с.: ил. ISBN 978–5–8279–0070–2 В пособии содержатся рекомендации по подготовке учащихся 8–х 11–х...»

«Министерство транспорта и связи Украины Государственный департамент по вопросам связи и информатизации Одесская национальная академия связи им. А.С. Попова Кафедра экономики предприятий и корпоративного управления В год 75-летия ОНАС им А.С. Попова Н.Е. Потапова-Синько ЭКОНОМИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ХОЗЯЙСТВЕННЫХ РЕШЕНИЙ Одесса 2006 1 УДК 338.27 План НМР на 2006 г. Потапова–Синько Н.Е. Экономическое обоснование хозяйственных решений. Учебное пособие для студентов экономических специальностей....»

«Аннотация к рабочим программам по географии (6-9 классы) В рабочей программе отражены нормативные документы, основное содержание предмета, УМК учащегося и учителя, критерии и нормы оценки знаний обучающихся при устном ответе, письменных контрольных работах. Данная рабочая программа для учащихся 6-9 классов составлена на основании: - стандарта основного общего образования по географии (базовый уровень) 2004 г. - примерные программы, созданные на основе федерального компонента государственного...»

«Министерство образования и наук и Российской Федерации Рубцовский индустриальный институт (филиал) ГОУ ВПО Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова Кафедра Менеджмент и экономика ПРОБЛЕМЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ ЭКОНОМИКИ И МЕНЕДЖМЕНТА В РОССИИ И ЗА РУБЕЖОМ Материалы третьей всероссийской научно-практической конференции (посвященной 70-летию АлтГТУ им. И.И. Ползунова) Рубцовск, 21-22 апреля 2011 г. Барнаул 2011 ББК 65.01 П 781 Научно-редакционная коллегия: О.П....»

«Министерство образования Республики Беларусь Международный государственный экологический университет им. А.Д. Сахарова Факультет экологической медицины Кафедра биохимии и биофизики ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА Методическое пособие по дисциплине Аналитическая химия для студентов экологических и химикотехнологических специальностей Минск МГЭУ им. А.Д. Сахарова 2005 УДК 543.2 Авторы-составители: д.х.н., профессор Баев А.К.; к.х.н., ст. преп. Свирко Л.К.; к.х.н., Копылович М.Н. Под общей редакцией...»

«Министерство образования и науки Украины Севастопольский национальный технический университет СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ДИНАМИКИ ВНЕШНЕТОРГОВОГО ОБОРОТА УКРАИНЫ, СТРУКТУРЫ ЭКСПОРТА И ИМПОРТА МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ к контрольной работе по дисциплине Основы внешнеэкономической деятельности для студентов специальности 7.050201 – Менеджмент организаций всех форм обучения Севастополь Create PDF files without this message by purchasing novaPDF printer (http://www.novapdf.com) УДК 339.5:519. Статистический...»

«Геомеханика: [учеб. пособие для вузов по специальности Шахт. и подзем. стр-во направления подгот. Горное дело], 2008, Валерий Александрович Ткачев, 5994700045, 9785994700044, Лик, 2008 Опубликовано: 22nd May 2008 Геомеханика: [учеб. пособие для вузов по специальности Шахт. и подзем. стр-во направления подгот. Горное дело] СКАЧАТЬ http://bit.ly/1fGWT41 Сейсмический мониторинг литосферы, Азарий Григорьевич Гамбурцев, 1992, Earthquake prediction, 199 страниц.. Экология учебное пособие, Ю. В....»






 
2014 www.av.disus.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.