Министерство образования и науки Российской федерации

Федеральное агентство по образованию

Государственное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

«Московский физико-технический институт (государственный университет)»

Учебно-методическое обеспечение

для подготовки кадров по программам

высшего профессионального образования

для национальной нанотехнологической сети в области обеспечения единства измерений, стандартизации и оценки соответствия Направление подготовки

«МЕТРОЛОГИЯ, СТАНДАРТИЗАЦИЯ И СЕРТИФИКАЦИЯ»

профиль

«ЕДИНСТВО ИЗМЕРЕНИЙ, СТАНДАРТИЗАЦИИ

И ОЦЕНКИ СООТВЕТСТВИЯ»

Методические рекомендации по организации и проведению итоговой государственной аттестации магистров Долгопрудный 2009 г.

Содержание 1 Рекомендуемые виды выпускных квалификационных работ магистров

2 Примерные требования к структуре, содержанию и объему выпускных квалификационных работ магистров

3 Примерные программы государственных экзаменов магистров

4 Методические рекомендации по организации и проведению государственных экзаменов магистров

5 Примерная тематика выпускных квалификационных работ магистров

1 Рекомендуемые виды выпускных квалификационных работ магистров Итоговая государственная аттестация магистра по программам высшего профессионального образования в области обеспечения единства измерений, стандартизации и оценки соответствия включает защиту выпускной квалификационной работы и государственный экзамен. Выпускной квалификационной работой является магистерская диссертация. Итоговые аттестационные испытания предназначены для определения практической и теоретической подготовленности магистра по программам высшего профессионального образования для ННС в области обеспечения единства измерений, стандартизации и оценки соответствия.

2 Примерные требования к структуре, содержанию и объему выпускных квалификационных работ магистров Требования к содержанию, объему и структуре магистерской диссертации определяются высшим учебным заведением на основании Положения об итоговой государственной аттестации выпускников высших учебных заведений, утвержденного Минобрнауки России, ФГОС ВПО по рассматриваемому направлению и профилю подготовки и методических рекомендаций соответствующего УМО.

Магистерская диссертация, являясь завершающим этапом профессионального высшего образования, должна обеспечивать не только закрепление академической культуры, но и продемонстрировать освоение необходимых компетенций и необходимую совокупность методологических представлений и методических навыков в избранной области профессиональной деятельности. При экспертизе выпускной квалификационной работы (магистерской диссертации) рекомендуется привлечение внешних рецензентов.

Магистерская диссертация должна представлять собой квалификационную работу исследовательского характера, посвященную решению актуальной задачи, имеющей теоретическое или практическое значение для современной науки и техники в области нанодиагностики. Магистерская диссертация должна содержать совокупность результатов: научных положений или научно-технических решений, которые выдвигаются автором для публичной защиты. По структуре и содержанию работа должна свидетельствовать о личном вкладе и способности автора проводить самостоятельные исследования или разработки, используя теоретические знания и практические навыки, полученные за период обучения в бакалавриате и магистратуре. Магистерская диссертация должна содержать: обоснование выбора темы исследования, актуальность и научную новизну решаемой задачи, аналитический обзор состояния проблемы, обоснование выбора методов исследования, их метрологического обеспечения, изложение и анализ полученных результатов, выводы, список использованной литературы и оглавление. По своему содержанию и уровню магистерская диссертация должна соответствовать требованиям, предъявляемым к научным публикациям в реферируемых научных изданиях. В магистерской диссертации автор должен показать умение кратко и аргументировано излагать материал в письменной форме. Рекомендуемый объем работы, как правило - не более 3-х печатных листов, включая таблицы, рисунки и графики.

Магистерская диссертация подлежит публичной защите на заседании Государственной аттестационной комиссии. В процессе публичной защиты соискатель магистерской степени должен показать умение четко и уверенно излагать содержание выполненных исследований, аргументировано отвечать на вопросы и вести научную дискуссию.

Выпускная квалификационная работа магистра по направлению подготовки «Метрология, стандартизация и сертификация» с профилем подготовки «Единство измерений, стандартизации и оценки соответствия»: должна иметь следующую структуру:

титульный лист;

задание на выпускную работу;

аннотацию научной работы;

оглавление;

главы основной части;

заключение;

список использованных источников;

приложения (если необходимо).

Во введение должно быть дано обоснование выбранной темы ВКР бакалавра, актуальность, место в современной науке, цель исследования и краткое описание задачи, объекта и методов исследования. Основная часть работы должна начинаться с краткого обзора научно-технической литературы по выбранной теме, представляющего анализ известных результатов. Далее должно следовать подробное описание объекта, методов (способов) и результатов исследования. Заключение должно содержать резюме о новизне результатов работы, оценку полноты решения задачи и отличие от уже известных результатов, описание дальнейших путей продолжения исследований.

Работа оформляется в соответствии с ГОСТ 7.32-2001 «Отчет о научноисследовательской работе. Структура и правила оформления», ГОСТ 7.1- «Библиографическое описание документа».

3 Примерные программы государственных экзаменов магистров Примерная программа государственного квалификационного экзамена магистра по направлению подготовки «Метрология, стандартизация и сертификация» с профилем подготовки «Единство измерений, стандартизации и оценки соответствия» по специализации «Метрология и метрологическое обеспечение» включает вопросы, позволяющие оценить уровень знаний выпускника:

1 Предмет и задачи метрологии. Важнейшие термины и определения. Физические величины. Единицы физических величин. Системы единиц физических величин.

Принципы создания естественной системы единиц. Размерность величин и единиц.

Практические приложения теории размерностей. Международная система единиц (СИ).

2 Средства измерений. Виды средств измерений. Меры и наборы мер. Измерительные аналоговые и цифровые преобразователи. Измерительные установки и принадлежности. Параметры и свойства средств измерений. Исходные (эталонные) средства измерений. Рабочие средства измерений. Отсчетные устройства: шкальные, цифровые, регистрирующие. Нормирование метрологических характеристик и классы точности. Способы выражения пределов допускаемой погрешности.

3 Эталоны. Общие понятия. Государственные эталоны – первичные и специальные.

Вторичные эталоны (эталоны-копии, сравнения и рабочие). Одиночный и групповой эталоны. Эталонный набор. Хранение эталонов. Перспективы развития эталонов.

4 Методы и принципы измерений. Виды методов измерений. Преобразование измеряемой величины в процессе измерений. Метод непосредственной оценки.

Дифференциальный метод. Нулевой метод. Метод совпадений. Принципы измерений.

5 Общие требования к измерениям. Анализ постановки измерительной задачи. Выбор средств и методов измерений. Выбор числа измерений. Методика выполнения измерений. Способы обнаружения и исключения систематических погрешностей.

Методы замещения, компенсации погрешности по знаку, противопоставления, симметричных наблюдений.

6 Прямые и косвенные измерения. Совокупные и совместные измерения. Однократные и многократные измерения. Равноточные и неравноточные измерения.

7 Погрешности измерений. Погрешность и достоверность результата измерения. Виды погрешности измерений. Точность, правильность, сходимость результатов измерений.

Округление результатов измерений. Погрешности измерительных устройств в статическом и динамическом режиме. Расчет доверительных границ поля допусков погрешности измерительных устройств. Суммирование погрешностей измерительного канала для зависимых и независимых составляющих. Расчет динамических погрешностей линейных и нелинейных измерительных устройств. Концепция неопределенности результатов измерений.

8 Обработка результатов измерений. Требования к методам обработки результатов измерений. Группирование экспериментальных данных. Проверка гипотезы о виде распределения экспериментальных данных. Исключение грубых погрешностей.

Обработка нормального распределения данных и отличного от нормального.

Обработка результатов прямых однократных измерений. Обработка результатов косвенных, совместных, совокупных измерений. Проверка однородности и равноточности групп измерений при нормальном и отличном от нормального распределениях. Обработка результатов нескольких однородных равноточных и неравноточных групп измерений.

9 Обеспечение единства измерений. Система воспроизведения единиц и передачи их размеров рабочим средствам измерении. Эталоны. Поверочные установки.

Стандартные образцы. Поверочные схемы и их обоснование. Обоснование межповерочных интервалов. Калибровка средств измерений.

10 Измерения при контроле. Измерение зондирующего сигнала. Измерение параметров системы. Измерение показателей качества. Точность измерений показателей качества.

Контрольные допуски. Гарантированные допуски. Принципы назначения допусков.

Алгоритм определения допусков. Ошибки при контроле по допускам. Вероятности ошибок контроля.

11 Особенности метрологического обеспечения при разработке, производстве и эксплуатации технических устройств. Средства измерений как основа метрологического обеспечения. Влияние средств измерений на точность и надежность технических устройств. Выбор средств измерений по точности. Автоматические измерительные системы как средства диагностики, контроля и поверки. Сигнатурные и логические анализаторы. Метрологическое обеспечение автоматических измерительных систем.

12 Закон Российской Федерации «Об обеспечении единства измерений». Общие положения, единицы величин. Средства и методики выполнения измерений.

Метрологические службы. Государственный метрологический контроль и надзор.

Калибровка и сертификация средств измерений.

13 Сущность методологии проведения метрологического сопровождения и метрологической экспертизы технических объектов. Основные направления их совершенствования.

14 Теоретическая метрология 14.1 Метрология как наука об измерениях. Измеряемые величины и их меры. Единицы измерений. Системы единиц, принципы их построения. Когерентные системы единиц.

Международная система единиц (СИ). Анализ размерностей. Измерительные шкалы порядка, интервалов, отношений, их основные особенности.

14.2 Классическая теория погрешностей измерений. Истинное и действительное значения измеряемой величины. Концепция неопределенности результатов измерений.

14.3 Однократное измерение, использование априорной информации.

14.4 Многократные измерения с равноточными и неравноточными значениями отсчета.

Точечные и интервальные оценки. Средства измерений. Классификация средств измерений. Метрологические характеристики средств измерений и их нормирование.

Классы точности. Метрологическая надежность средств измерений. Определение и корректировка межповерочного интервала.

14.5 Статические и динамические измерения. Преобразование входного измерительного сигнала. Оптимальная фильтрация помех.

14.6 Эталоны. Классификация эталонов. Эталоны основных единиц системы СИ, их состав, метрологические свойства, условия хранения и применения.Передача информации о размерах единиц от эталонов рабочим средствам измерений. Поверка средств измерений. Государственные и локальные поверочные средства и принципы их построения. Обоснование соотношения погрешностей между этажами поверочной схемы.

14.7 Квантовая метрология. Использование фундаментальных физических констант для создания системы взаимосвязанных естественных эталонов единиц физических величин. Примеры эталонов на основе эффектов Джозефсона и Холла.

14.8 Сличения эталонов, взаимное признание национальных эталонов. Перспективы и тенденции развития эталонной базы.

14.9 Измерительная информация. Преобразование непрерывных измерительных сигналов в дискретные. Теорема отсчетов Котельникова. Квантование по времени и уровню. Виды кодирования, цифровое кодирование, построение корректирующих и оптимальных кодов.

14.10 Информационный объем сигнала и пропускная способность измерительного канала.

Теорема Шеннона о предельной пропускной способности канала.

14.11 Детектирование, декодирование и восстановление сигнала измерительной информации. Интерполяционная формула Лагранжа.

14.12 Запись и хранение измерительной информации. Запоминающие устройства, цифровые индикаторы и цифрозаписывающие устройства.

14.13 Преобразование и передача измерительной информации.

15 Законодательная метрология 15.1 Метрология как информационно-правовая наука. Закон РФ «Об обеспечении единства измерений», его содержание. Основные термины и их определения.

Метрология и техническое регулирование. Технические регламенты.

15.2 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ) как система стандартизации и нормативно-правовая основа метрологической деятельности.

Объекты стандартизации ГСИ. Состав и структура ГСИ, ее связь с другими системами стандартов. Порядок разработки, согласования и утверждения номативно-технических документов (НТД) ГСИ, правила их построения и изложения. Правила по метрологии.

15.3 Правовые аспекты деятельности Госстандарта России и его органов по обеспечению единства измерений. Государственная метрологическая служба (ГМС), ее функциональная структура, состав и полномочия в соответствии с законом. Главный центр ГМС, государственные научные метрологические центры и территориальные органы, их полномочия и формы деятельности.

15.4 Правовые процедуры создания и применения эталонов. Нормативно-технические документы, регламентирующие государственные испытания, метрологический контроль и надзор за состоянием и применением средств измерений.

15.5 Метрологическая служба России. Метрологические службы федеральных органов исполнительной власти и юридических лиц, их взаимодействие с ГМС.

15.6 Ответственность за нарушение метрологических правил и норм. Основные формы воздействия на нарушителей метрологических правил и норм. Меры предупреждения и пресечения метрологического законодательства, а также законодательства по качеству продукции и прав потребителя.

15.7 Имущественная, дисциплинарная и уголовная ответственность должностных лиц за нарушения законодательства в области метрологии, за выпуск продукции с отступлениями от требований стандартов и технических условий.

15.8 Содержание основных законодательных актов, предусматривающих экономические и иные санкции за нарушение требований стандартов и ТУ. Формы возмещения убытков и ответственность юридических лиц.

15.9 Международное сотрудничество в области метрологии. Метрическая конвенция 1875 г. Межправительственные международные организации по метрологии – Международная организация метрической конвенции и Международная организация законодательной метрологии, их функциональные структуры, формы и виды деятельности. Региональные метрологические организации. Правовые аспекты международного сотрудничества в области метрологии и их регламентация. Виды международных нормативных документов по метрологии, их правовой статус.

Сотрудничество в рамках ИСО, МЭК, ИМЕКО. Сотрудничество по метрологии в рамках СНГ. Международное сотрудничество по метрологии на двусторонней основе.

Перспективы развития международного сотрудничества.

16 Прикладная метрология 16.1 Метрология как деятельность, связанная с измерениями. Анализ состояния измерений. Цели и объекты анализа на конкретном производстве, в отрасли, по виду измерений, по группе приборов. Содержание и организация работ по анализу состояния измерений. Оформление результатов анализа и их реализация.

16.2 Метрологическая экспертиза нормативно-технической документации. Основные этапы жизненного цикла изделий. Сопутствующие НТД, цели и задачи их метрологической экспертизы. Метрологическая экспертиза проектов стандартов, технической и технологической документации.

16.3 Разработка и аттестация методик выполнения измерений (МВИ). Формирование исходных данных, в том числе требуемой точности, для разработки МВИ. Выбор метода и средств измерений, обеспечивающих требуемую точность. Учет влияющих факторов. Выбор или разработка алгоритма обработки экспериментальных данных и правил оформления результатов измерений. Порядок аттестации МВИ.

16.4 Испытания средств измерений для целей утверждения их типа, порядок проведения и признания их результатов. Приемочные и контрольные испытания, их цели, задачи, условия, сроки, порядок проведения и оформления результатов.

16.5 Поверка и калибровка средств измерений. Нормативное различие поверки и калибровки средств измерений. Виды и способы поверки калибровки, порядок их организации и проведения. Аккредитация метрологических служб, юридических лиц на право проведения поверки/калибровки средств измерений. Российская калибровочная служба.

16.6 Метрологическое обеспечение производства. Цели и задачи метрологического обеспечения. Научные, технические и нормативные основы метрологического обеспечения производства. Управление качеством продукции в соответствии с требованиями стандартов ИСО 9000. Контроль качества продукции, виды контроля и испытаний. Метрологическое обеспечение производства – основа качества. Методы определения экономической эффективности метрологических работ на производстве.

Метрологическое обеспечение сертификационных испытаний.

16.7 Аккредитация измерительных и испытательных лабораторий. Стандарт ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2000 «Общие требования к компетенции испытательных и калибровочных лабораторий». Особенности систем менеджмента качества для метрологических организаций.

Выпускной квалификационный экзамен должен выявлять у студента следующие компетенции:

1 универсальные:

1.1 общенаучные (ОНК), 1.2 инструментальные (ИК), 1.3 социально-личностные и общекультурные (СЛК);

2 профессиональные:

2.1 производственно-технологическая деятельность (ПТК), 2.2 организационно-управленческая деятельность (ОУК), 2.3 научно-исследовательская деятельность (НИК), 2.4 проектно-конструкторская деятельность (ПКК), 2.5 другие (специальные) виды деятельности (СК).

Программа ГЭК по специальности соответствует программе-минимум кандидатского экзамена по специальности 05.11.15 «Метрология и метрологическое обеспечение» и 05.11.01 «Приборы и методы измерений по видам измерений». Поэтому результаты успешной сдачи ГЭК могут быть засчитаны в качестве вступительных экзаменов в аспирантуру по указанным специальностям.

4 Методические рекомендации по организации и проведению государственных экзаменов магистров По желанию студентов вуз может проводить дополнительные государственные экзамены по дисциплинам, которые входят в перечень приемных экзаменов в аспирантуру по научным специальностям, соответствующим профилю подготовки вуза. Оценки, полученные студентами на всех государственных экзаменах, могут быть засчитаны в качестве результатов вступительных экзаменов в аспирантуру по указанным научным специальностям.

Аттестационные испытания, входящие в состав итоговой государственной аттестации выпускника, должны полностью соответствовать основной образовательной программе высшего профессионального образования, которую он освоил за время обучения.

Порядок проведения и программа государственного экзамена на степень магистра по направлению подготовки «Метрология, стандартизация и сертификация» с профилем подготовки «Единство измерений, стандартизации и оценки соответствия» для работы в ННС определяются вузом на основании методических рекомендаций и соответствующей примерной программы, разработанных соответствующим, Положения об итоговой государственной аттестации выпускников высших учебных заведений, утвержденном Минобрнауки России, и соответствующим ФГОС ВПО. Рекомендуемое положение:

1 Общие положения 1.1 В соответствии с Законом РФ «Об образовании» итоговая государственная аттестация (далее ИГА) студентов, обучающихся по программам высшего профессионального образования, является обязательной.

1.2 ИГА осуществляется государственными аттестационными комиссиями (ГАК), организуемыми по профессиональной образовательной программе.

1.3 Основные функции ГАК:

1.3.1 определение соответствия подготовки выпускника (бакалавра) требованиям государственных образовательных стандартов высшего профессионального образования по направлению и уровня его подготовки;

1.3.2 принятие решения о присвоении выпускнику квалификации бакалавр по результатам ИГА и выдаче соответствующего диплома государственного образца о высшем профессиональном образовании;

1.3.3 рекомендации по совершенствованию подготовки студентов.

2 Состав и требования к итоговой государственной аттестации 2.1 В соответствии с государственными образовательными стандартами подготовки бакалавров по направлению «Метрология, стандартизация и сертификация» с профилем подготовки «Единство измерений, стандартизации и оценки соответствия»

ИГА выпускника состоит из следующих аттестационных испытаний:

2.1.1 государственный квалификационный экзамен по специальности;

2.1.2 защита выпускных квалификационных работ.

3 Структура государственной аттестационной комиссии 3.1 ГАК состоит из экзаменационных комиссий по видам итоговых аттестационных испытаний, предусмотренных государственными образовательными стандартами высшего профессионального образования в соответствии с п. 2.1. настоящего Положения.

3.2 ГАК возглавляет председатель, утверждаемый приказом Минобразования РФ на каждый календарный год. Председатель ГАК организует и контролирует деятельность всех экзаменационных комиссий, обеспечивает единство требований, предъявляемых к выпускникам. Председатель ГАК может возглавлять одну из экзаменационных комиссий и принимать участие в работе любой из них на правах ее члена.

Председатель ГАК должен иметь, как правило, ученую степень доктора наук и ученое звание профессора.

3.3 Экзаменационные комиссии по физике и математике, по специальности и по защитам выпускных квалификационных работ формируются из научнопедагогического персонала вуза и авторитетных специалистов, приглашаемых из сторонних организаций. Председатели экзаменационных комиссий являются заместителями председателя ГАК.

3.4 Состав экзаменационных комиссий утверждается приказом ректора не позднее, чем за два месяца до начала соответствующего государственного испытания.

4 Порядок проведения итоговой государственной аттестации 4.1 Форма и условия проведения ИГА определяются Ученым Советом вуза и доводятся до сведения студентов не позднее, чем за полгода до начала соответствующего аттестационного испытания.

4.2 К ГКЭ допускаются студенты, имеющие не более одной задолженности по результатам текущей экзаменационной сессии. При этом ликвидация существующей задолженности осуществляется в установленном порядке.

4.3 Студенты, не допущенные к сдаче ГКЭ или получившие оценку «неудовлетворительно» на ГКЭ по физике или математике допускаются к повторной сдаче экзамена не ранее чем через год. При получении повторно оценки «неудовлетворительно» на ГКЭ по отдельной дисциплине студент отчисляется из вуза.

4.4 Для студентов, не проходивших государственных аттестационных испытаний по уважительной причине, организуется сдача в сроки, предусмотренные для официальных пересдач. В отдельных случаях организуется заседание экзаменационной комиссии в период между экзаменационными сессиями.

4.5 К ГКЭ по специальности и защите выпускных квалификационных работ допускаются студенты, успешно прошедшие все предшествующие аттестационные испытания, предусмотренные учебным планом.

4.6 Студент, получивший оценку «неудовлетворительно» на ГКЭ по специальности или по результатам защиты выпускных квалификационных работ, подлежит отчислению 4.7 При условии выполнения учебного плана и по результатам ИГА государственная аттестационная комиссия принимает решение о присвоении выпускнику соответствующей степени или квалификации и выдаче ему диплома о высшем образовании.

4.8 Решения государственных аттестационных и экзаменационных комиссий принимаются на закрытых заседаниях простым большинством голосов членов комиссии, участвующих в заседании. При равном количестве голосов голос председателя является решающим.

4.9 Ежегодно итоги работы ГАК обсуждаются на Ученом Совете МФТИ и представляются в Минобразование РФ.

4.10 Настоящее Положение разработано в соответствии с «Положением об итоговой государственной аттестации выпускников высших учебных заведений Российской Федерации», утвержденным Приказом Минобразования России от 25.03.2003г. №1115.

Уровень требований, предъявляемый на государственных экзаменах в магистратуре должен соответствовать уровню требований вступительных экзаменов в аспирантуру или кандидатских экзаменов по непрофилирующим дисциплинам для соответствующих научных специальностей.

5 Примерная тематика выпускных квалификационных работ В дипломной работе магистра студенты должны определить ограничение используемых методов измерений, в том числе корректности получаемых результатов с метрологической точки зрения, и предложить способы привязки получаемых результатов к первичным эталонам. Другой вариант выбора темы дипломных работ магистра предусматривает разработку новых методик измерений и обоснование их метрологической корректности.

Темы дипломных работ магистров:

1 Методика выполнения измерений линейных размеров методом атомно-силовой микроскопии.

2 Методика выполнения измерений эффективной шероховатости наноструктурированной поверхности.

3 Корректные измерения локальных электрофизических свойств методом атомносиловой микроскопии.

4 Калибровка измерений локальной работы выхода методом сканирующей туннельной микроскопии.

5 Методика детектирования и количественного учёт вирусных частиц методом атомносиловой микроскопии.

6 Разработка количественной методики выполнения измерений локальной жесткости.

7 Квантовый эффект Холла и его применение при построении эталона сопротивления.

8 Калибровка рентгеноструктурного анализатора.

9 Калибровка рентгеновского спектрометра.

10 Методика определения фазового состава искусственных углеродных материалов.

11 Разработка количественных методик определения состава тонких плёнок методом рентгеновского микроанализа.

12 Калибровка рентгеновского микроанализатора.

13 Локальная катодолюминесценция и её возможности для исследования зонной структуры твердых тел.

14 Метод локальной катодолюминесценции для исследования многослойных структур.

15 Определение систематических ошибок результатов измерений методом оптической профилометрии.

16 Анализ фазового состава, структуры и текстуры кристаллических материалов методом дифракции отраженных электронов.

17 Спектроскопия характеристических потерь энергии отраженных электронов в тонких плёнках.

18 Методика выполнения измерений линейных размеров методом растровой электронной микроскопии.

19 Количественная оже-электронная спектроскопия.

20 Методика выполнения измерений локального химического состава композитных материалов методом оже-спектроскопии.

21 Методика измерение локального состава методом анализа характеристических потерь энергии электронов.

22 Тестовые объекты для калибровки просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения.

23 Методика определения толщины тонких пленок с помощью метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.

24 Количественные методики анализа элементного состава с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.

25 Калибровка времяпролётного масс-спектрометра. Количественная методика измерений локального состава методом вторичной ионной масс-спектрометрии.

26 Контроль качества нанесения покрытий методом атомно-слоевого осаждения.

27 Контроль качества результатов молекулярно-лучевой эпитаксии.

28 Контроль качества промежуточных операций литографического технологического цикла.

29 Контроль качества результатов ионной имплантации.