WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

На правах рукописи

ОПАРИЧЕВ

Александр Борисович

ИССЛЕДОВАНИЕ

НАКЛОННОКОНДЕНСИРОВАННЫХ ПЛЁНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ

ДЛЯ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Москва 2006 -2

Работа выполнена на кафедре «Технологии металлов» в Московском энергетическом институте (техническом университете).

Научный руководитель доктор технических наук, доцент КАРИМБЕКОВ Мырзамамат Арзиевич

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор КУЗНЕЦОВ Геннадий Дмитриевич кандидат технических наук, доцент ЕВГЕНЬЕВ Сергей Борисович Ведущее предприятие:

ЗАО «Научно-исследовательский институт материаловедения»

Защита состоится «16» января 2007 г. в «14» час «00» мин на заседании диссертационного совета Д 212.120.06 в Московской государственной академии тонкой химической технологии им. М.В. Ломоносова (МИТХТ) по адресу: 119571, Москва, проспект Вернадского, д. 86, ауд. М–119.

Ваши отзывы на автореферат просим присылать на имя ученого секретаря по адресу: 119571, Москва, проспект Вернадского, д. 86, МИТХТ им. М.В. Ломоносова.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МИТХТ им. М.В. Ломоносова по адресу: 119571, Москва, проспект Вернадского, д. 86.

Автореферат разослан «05» декабря 2006 г.

Ученый секретарь Диссертационного Совета Д 212.120. Г.М. Кузьмичева

-3

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. В связи с расширением использования оптоэлектронных приборов в науке и технике возникает необходимость на более высоком уровне контролировать их основные параметры – мощность, энергию, направленность и т.д.

В этом направлении накоплен большой и разнообразный опыт физических экспериментов и технического конструирования, однако, поискового характера, и без желательного обобщённого материаловедческого и технологического подхода, приводящего к достаточно рациональному практическому решению проблем.

Традиционно используемые системы измерения, активной частью которых являются чувствительные приёмно-преобразующие элементы – преобразователи, имеют недостаточную эффективность, что приводит к необходимости использовать сложные схемотехнические решения и включать в систему дополнительные прецизионные усилители. Низкое быстродействие и нелинейные статические и динамические характеристики преобразователей затрудняют их использование в современных системах автоматического регулирования, стабилизации и измерения «in sity» параметров излучения. Исходя из этого, возникает, по существу, новая задача для техники и для традиционной метрологии – создание высокоэффективных и быстродействующих инновационных систем измерения мощности лазеров (когерентного излучения) и светодиодов (некогерентного излучения) с новыми функциональными характеристиками.

Высокую надёжность, воспроизводимость и точность измерений позволяют достигать методы, использующие термоэлектрические преобразователи.

Преобразователи теплового действия в настоящее время занимают прочное место в измерительных приборах и системах, и аналогичные разработки ведутся многими ведущими приборостроительными фирмами («Сименс», «Хьюлетт Паккард», «Маркони», «Ультракаст», «Антехника», «Хитачи» и др.).

Фундаментальные научные основы термоэлектричества были заложены академиком А.Ф.Иоффе и развиты А.Р.Регелем, Н.С.Лидоренко, Л.С.Стильбансом, Е.К.Иорданашвили и др. Для анизотропных термоэлементов теоретические и экспериментальные основы термоэлектричества, главным образом, развили А.Г.Самойлович, И.М.Пилат, Л.И.Анатычук и др.

Лазерное излучение характеризуется уникальными характеристиками: широким спектральным диапазоном (0,2… 1 мм) и динамическим диапазоном (120… 200 дБ), (до 109 Вт/см2) и т.п.

плёночных термоэлектрических преобразователей, использующих эффект поперечной термоэдс, показывает перспективность создания на их основе контроллеров для измерения энергетических, координатно-чувствительных и высокочастотного излучения большой мощности. Однако теория и практика их создания к настоящему времени развиты недостаточно.

Известно, что, если вырезать пластинку из монокристалла анизотропного полупроводника (например, антимонида кадмия) под углом и облучать её, то возникает термоэдс в поперечном направлении. Такие преобразователи были названы анизотропными термоэлементами.

Как выяснилось в ходе работы, в тонких плёнках образуется «армированная текстура», позволяющая использовать не только анизотропные, но и изотропные материалы.

Неизвестно было можно ли создать вакуумотермическим испарением и последующей конденсацией под углом подобные преобразователи в виде тонких преобразователи были названы термоэлементами на наклонноконденсированных плёночных материалах.

Неизвестно было можно ли создать такие термоэлементы на анизотропных полуметаллах, например, на висмуте, и на анизотропных полупроводниках, например, на теллуре, а также на изотропных металлах, например, на хроме (никеле и на тантале).



Цель и задачи работы. Целью работы было разработка, а также исследование технологии получения и свойств наклонноконденсированных плёнок висмута, теллура и хрома для высокоэффективных и быстродействующих термоэлектрических контроллеров лазерного излучения.

Достижение поставленной цели складывалось из решения следующих задач:

- обобщить теоретические принципы и разработать критерии выбора наклонноконденсированных плёночных материалов для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения;

- моделирование и оптимизирование параметров микроструктуры плёнок после наклонной конденсации;

приёмно-преобразующего элемента (для непрерывного излучения) и гребенчатости поверхности плёнки (для короткоимпульсного излучения);

- исследование взаимосвязи параметров испарения и конденсации на различных подложках в вакууме для различных материалов и разработать технологические режимы для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения на наклонноконденсированных плёнок;

- разработка и изготовление макетов плёночных термоэлектрических преобразователей лазерного излучения на основе анизотропных и изотропных наклонноконденсированных материалов.

Научная новизна. Сформулированы принципы выбора материалов для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения на наклонноконденсированных плёнках. Предложены новые материалы (висмут, теллур и хром) (не только полуметалл – висмут и полупроводник – теллур, но и металл – хром) в качестве наклонноконденсированных термоэлектрических преобразователей лазерного излучения. В наклонноконденсированных плёнках анизотропных материалов (висмут и теллур) и изотропных материалов (хром, никель и тантал) получены «армированные текстуры».

Практическая значимость. Выполнена программа технологических, структурных и термоэлектрических исследований наклонноконденсированных плёнок, включая приёмы повышения их эффективности и ориентацию на применение в лазерной технике.

В случае полуметаллов и полупроводников достигнуто большая чувствительность и высокое быстродействие (малая инерционность) термоэлектрических преобразователей лазерного излучения на наклонноконденсированных плёнках (уменьшается постоянная времени и время остывания, увеличивается предельная частота следования импульсов). В случае изотропных металлов удалось перейти к более высокой лучевой стойкости (устойчивости против «вжигания» и «прокисления»).

Осуществлены конструкторско-технологические разработки макетов одно- и многоэлементных контроллеров термоэлектрических преобразователей для измерения лазерного излучения на плёночных наклонноконденсированных материалах.

Составлена в составе творческого коллектива «Экспериментальная база данных» («Физико-технологическая справочная информация») для постановки производства плёночных чувствительных приёмно-преобразующих элементов термоэлектрических преобразователей измерительного назначения.

- модели наклонноконденсированных плёнок с «армированной текстурой»

(аксиальной формразмерной и кристаллографической текстурой), устанавливающие количественную взаимосвязь между параметрами микроструктуры и свойствами плёнок;

- результаты технологических исследований плёнок висмута, теллура и хрома после наклонной конденсации (в структурном и термоэлектрическом аспекте);

- конструкторские и технологические разработки макетов плёночного термоэлектрического преобразователя для измерения энергетических параметров мощного лазерного излучения с большой частотой следования импульсов и для многоэлементных матричных приёмников лазерного излучения.

Обоснованность и достоверность работы. Основные научные положения, выводы и рекомендации подтверждаются материаловедческими и технологическими экспериментами, проверкой контроллеров на лабораторных и промышленных стендах, показавшими удовлетворительное согласование теоретических и экспериментальных результатов исследований.

Апробация работы. II и III Международ. конф. по физике кристаллов «Кристаллофизика 21-го века», посвященных памяти М.П.Шаскольской (МИСиС ТУ) (28- октября 2003 г., Москва) (20-26 ноября 2006 г., г. Москва); XI и XII Национ. конф. по росту кристаллов (НКРК-2004 и НКРК-2006) (13-17 декабря 2004 г. и 23-27 октября 2006 г., Москва); Десятая (К 65-летию РТФ ИРТ) и Одиннадцатая (К 75-летию МЭИ ТУ) Международн. научно-технич. конф. студентов и аспирантов МЭИ ТУ (2-3 марта 2004 г. и 1-2 марта 2005 г., Москва); IX и X Международн. конф. по физике и технологии тонких пленок (МКФТП-IX и МКФТП-X) (19-24 мая 2003 г. и 16-21 мая 2005 г., Ивано-Франковск, Украина); 6-я Международ. конф. «Рост монокристаллов и тепломассоперенос» (ICSC-2005) (25-30 сентября 2005 г., Обнинск); Пятая Международн. научно-технич. конф. «Электроника и информатика-2005» (К 40-летию МИЭТ ТУ) (23-25 ноября 2005 г., Зеленоград); 10-я Международ. научн. конф. и школа-семинар «Актуальные проблемы твёрдотельной электроники и микроэлектроники» (ПЭМ-2006) (24-29 сентября 2006 г., Дивноморское); III Всеросс. конф. «Физико-химические процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах» (ФАГРАН-2006) (8-14 октября 2006 г., Воронеж).

Кроме того, основное содержание диссертации отражено в 20 публикациях:

в 2 статьях, опубликованных в журнале «Прикладная физика»; в 2 статьях, опубликованных в журнале «Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России»; в 14 тезисах докладов; в 1 web-сайте и в 1 изобретении.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из Введения, Глав 1– и Выводов. Имеется список литературных ссылок.

В диссертации 149 страницы, включающие 40 рис. и 6 табл. Библиография содержит 283 наименований.

-7ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

РАЗВИТИЕ ПРИНЦИПОВ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ

ДЛЯ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

Требования к чувствительным приёмно-преобразующим элементам.

Создание технологических лазеров и технологий относятся к приоритетным направлениям научно-технического прогресса. Эффективность внедрения лазерных технологий в значительной мере определяется состоянием используемых методики, техники и материалов измерений лазерного излучения, в том числе измерение энергетических параметров.

Измеритель мощности и энергии лазерного излучения – преобразователь или чувствительный приёмно-преобразующий элемент должен отвечать специфическим требованиям: использовать несложные физические эффекты (ограниченное число физических принципов); использовать достаточно простые материалы и технологии;

должен иметь широкополосный спектральный диапазон (неселективный тип); должен иметь достаточно большую чувствительность и обнаружительную способность;

должен обладать высоким быстродействием (малоинерционный тип); должен обладать оптимальным электросопротивлением для согласования с информационноизмерительной системой; должен обладать высокой лучевой прочностью (устойчивость против «вжигания» и «прокисления»).

Существенные специфические характеристики: возможность работы без принудительного охлаждения и без источника питания. Так работают плёночные термоэлектрические преобразователи: термопарные преобразователи (на термопарном эффекте) и преобразователи на наклонноконденсированных плёнках (на эффекте поперечной термоэдс).

термоэлектрических наклонноконденсированных материалов. Если ограничиться тремя свойствами ( – коэффициент термоэдс, – удельное электросопротивление и – удельная теплопроводность), то для разного функционального назначения и условий комплексные критерии могут иметь разный вид. Например, критерий 2/ – получил название коэффициента термоэлектрической мощности, а критерий 2/ – термоэлектрической добротности (классические критерии).

Для наклонноконденсированных плёнок (добавим к учитываемым свойствам ещё одно свойство: коэффициент термоэдс – 0; удельное электросопротивление – 0;

удельная теплопроводность – 0; удельная теплоёмкость – с) при различном функциональном назначении получаем зависимости состоящие из четырёх сомножителей:

последний из которых является комплексным критерием эффективности материалов плёнок.

коэффициент преобразования) – еп; быстродействие (характеристическое время переходного процесса) (постоянная времени) – хар; амплитуда импульсной реакции (время отклика на изменение мощности излучения) – Aимп = еп/хар; коэффициент преобразования мощности – ; максимальная плотность непрерывного излучения без разрушения – Q; максимальная плотность излучения в импульсе без разрушения – E.

А – Числовой коэффициент Б – Коэффициент, учитывающий роль границ кристаллитов:

Угол наклона волокон (кристаллитов) к нормали к поверхности пленки – zx;

относительное контактное электрическое и тепловое сопротивление границ кристаллитов – rк.

В – Коэффициент, учитывающий другие физико-химические свойства:

Коэффициент поглощения излучения плёнки – ; длина плёнки – L; толщина плёнки – t; плотность потока падающего излучения – q; температура плавления и температура плёнки – Tпл и T0; длительность импульса излучения – и.

Г – Комплексные критерии эффективности материала плёнки:

характеристики чувствительного приёмно-преобразующего элемента для непрерывного излучения. Чувствительность термоэлектрических преобразователей «пятачкового» типа обратно пропорциональна диаметру приёмно-преобразующего элемента. Кроме того, зонная характеристика приёмно-преобразующего элемента неравномерна. Это связано с шунтированием облучаемого участка, в котором генерируется термоэдс, необлученными боковыми участками. Неравномерность зонной характеристики может быть практически устранена установкой апертурной диафрагмы.

Для термоэлектрических преобразователей «меандрового» типа чувствительность определяется зависит от ширины полос и промежутков между полосами меандра. По сравнению с термоэлектрическими преобразователями «пятачкового» типа чувствительность «меандровых» выше и практически равномерна. Недостатком «меандровых» термоэлектрических преобразователей является относительно высокое электросопротивление, что повышает уровень собственных тепловых шумов и снижает помехоустойчивость системы.

Моделирование быстродействия и роли гребенчатости поверхности чувствительного приёмно-преобразующего элемента для короткоимпульсного излучения. Быстродействие «меандровых» термоэлектрических преобразователей может лимитироваться скоростью переходного электрического процесса, определяемой межполосковой ёмкостью и индуктивностью меандра.

При наклонной конденсации поверхность плёнок оказывается гребенчатой.

Такую плёнку можно представить состоящей из двух разнородных слоев: верхнего гребенчатого слоя, в котором кристаллиты разобщены и электрически не коммутируют друг с другом, и нижнего сплошного электропроводящего слоя. В связи с этим термоэдс, действующая в верхнем гребенчатом слое плёнки, не передаётся на контактные площадки. Электрический сигнал с плёнки появляется только тогда, когда фронт тепловой волны достигает нижнего слоя. Время, необходимое для протекания тепла от гребней к сплошному слою, определяет задержку отклика относительно момента начала действия импульса излучения. Таким образом, верхний гребенчатый слой является пассивным, играет роль аккумулятора энергии импульса и демпфирует реакцию плёнки на импульс.

Гребенчатый характер поверхности наклонноконденсированных плёнок может обусловить следующие особенности выходного сигнала термоэлектрических преобразователей на наклонноконденсированных плёнках: задержку отклика, линеаризацию переднего фронта, сглаживание и смещение амплитуды относительно момента окончания действия импульса излучения.

- 10 ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ

НАКЛОННОКОНДЕНСИРОВАННЫХ ПЛЁНОК

Исследование наклонной конденсации плёнок висмута, теллура и хрома (никеля и тантала). Исследованы наклонноконденсированные плёнки на полированных пластинах полупроводникового высокоомного кремния, сколах поваренной соли, слюды «мусковит», оптическом стекле, пластинах оксида бериллия – «брокерит», анодированных пластинах алюминиево-магниевого сплава, полиимиде (5 и 20 мкм) и установлено следующее:

- наклонноконденсированные плёнки меди и алюминия не обладают благоприятной текстурой и - наклонноконденсированные плёнки висмута, теллура и хрома имеют благоприятную текстуру для возникновения в них анизотропии свойств (см. рис.).

Для плёнок теллура характерны крупноволокнистость и отставание угла наклона текстуры от угла наклона подложки, для плёнок хрома – мелкокристалличность и слабо выраженная волокнистость (по сравнению с плёнками висмута).

Максимально наблюдаемая поперечная термоэдс в наклонноконденсированных плёнках висмута и теллура значительно превышает возможное значение анизотропной термоэдс в их монокристаллическом состоянии.

наклонноконденсированных плёнок висмута и теллура (из кварцевого тигля в рабочей зоне цилиндрического графитового нагревателя), а также хрома (с поверхности прямонакального вольфрамового проволочного нагревателя) (аналогично для никеля и тантала).

Наклон молекулярного пучка к подложке приводит к увеличению анизотропии в конденсированных плёнках, причём вдоль проекции молекулярного пучка на плоскость подложки электросопротивление больше, чем в перпендикулярном направлении, а термоэдс проявляется и увеличивается вдоль проекции, оставаясь практически нулевой в перпендикулярном направлении.

Повышение температуры конденсации способствует повышению адгезии, стабильности и поперечной термоэдс наклонноконденсированных плёнок.

Повышение давления выше 10–1 Па подавляет скорость испарения.

Превышение температур испарения приводит к разбрызгиванию исходной загрузки.

Поперечная термоэдс наклонноконденсированных плёнок с увеличением толщины возрастает и достигает стационарного уровня при толщинах более 1,5 мкм, что трактуется как результат развития пористой микроструктуры.

текстуры (2), параметра эллипсоидальной функции распределения главных осей кристаллитов (3), удельного электросопротивления вдоль (4) и поперёк (5) проекции молекулярного пучка на поверхность, экспериментально наблюдаемой удельной поперечной термоэдс (6) и ее составляющих, обусловленных собственной анизотропией кристаллитов и кристаллографической текстурой (7), волокнистой микроструктурой и контактным сопротивлением между кристаллитами (8) для плёнок теллура (а), висмута (б) и хрома (в) от угла наклона подложки к нормали поверхности Собственная анизотропия кристаллитов и кристаллическая текстура не являются основными факторами, определяющими поперечную термоэдс в наклонноконденсированных плёнках. Основными факторами, определяющим поперечную термоэдс в наклонноконденсированных плёнках являются «армированная текстура» (формразмерная текстура и контактное электрическое и тепловое сопротивление между кристаллитами). Создание условий для эффекта поперечной термоэдс и его увеличение с помощью размерного эффекта возможны только в случае наклонноконденсированных плёнок висмута из-за большой длины свободного пробега носителей заряда в висмуте.

электросопротивление при нагреве и последующем охлаждении на воздухе меняется с гистерезисом, минимум которого (ему соответствует критическая температура нагрева) приходится на обратимую адсорбцию кислорода. Увеличение температуры и длительности отжига увеличивает поперечную термоэдс, а электросопротивление сначала снижает, а затем повышает, что связано с «прокислением» границ кристаллитов и ростом контактного электрического и теплового сопротивления.

наклонноконденсированных плёнок теллура свидетельствуют о необратимой адсорбции кислорода на поверхности и в порах плёнки и захвате дырок из валентной зоны, вследствие чего поперечная термоэдс и электросопротивление при отжиге уменьшаются.

свидетельствует о существовании критической температуры нагрева, ниже которого свойства стабилизируются.

наклонноконденсированные плёнки не претерпевают деградации, изменения связаны только с их нагревом вместе с подложкой. В стационарном состоянии зависимость поперечной термоэдс от мощности падающего излучения практически линейная.

Время выхода в стационарное состояние 15… 20 с. Линейность вольт-ваттной зависимости для висмута и теллура сохраняется до мощности 60 Вт (температура подложки достигает 353 К) (подложка – «брокерит») и 200 Вт (подложка – пластина анодированного алюминиево-магниевого сплава, водоохлаждаемая), а для хрома – до мощности 100 Вт (температура подложки достигает 403 К) (подложка – «брокерит»).

модулированной добротности, 1,06 мкм, длительность импульса – 15 нс, энергия наклонноконденсированные плёнки реагируют устойчиво воспроизводимо вплоть до плотности излучения 5·105 Вт/см2 (висмут и теллур) и 1·106 Вт/см2 (хром), выдерживая до 105 импульсов.

- 13 МАКЕТЫ ПЛЁНОЧНЫХ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПРИЁМНО-ПРЕОБРАЗУЮЩИХ ЭЛЕМЕНТОВ

КОНТРОЛЛЕРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Реализованы наклонноконденсированные висмутовые, теллуровые и хромовые плёнки и термоэлектрические преобразователи «пятачкового», «меандрового» и «спирального» типов в виде контроллеров лазерного излучения. Первостепенные требования к измерительным средствам для лазерного излучения – чувствительность и быстродействие. Далее макеты контролеров лазерного излучения обозначаются «макеты КЛИ»

наклонноконденсированных плёночных материалах.

Они реагируют на тепловой поток в структуре плёнки, а не на температуру, как это имеет место в термопарных термоэлектрических чувствительности от геометрического размера термоэлектрического преобразователя в направлении теплового потока и, тем самым, снимает ограничения в достижении быстродействия за счёт уменьшения толщины и теплового сопротивления. Интересно также, что металлы могут обеспечивать необходимую лучевую прочность термоэлектрического преобразователя, а полуметаллы и полупроводники – чувствительность и быстродействие.

лабораторным измерениям при воздействии непрерывного излучения от нагревательной ИК-лампы (интенсивность потока 1 Вт/см2) и импульсного излучения лазера ЛТИПЧ-5 (длина волны 1,06 мкм, режим модулированной добротности).

Длительность и частота следования импульсов с энергией 1 мДж составляли 15 нс и 100 Гц соответственно.

Электросопротивление «пятачковых» приёмно-преобразующих элементов на плёнках висмута составило 10… 30 Ом, плёнках теллура – 3… 10 кОм и плёнках хрома – 0,5… 1,0 кОм. Для «меандровых» приёмно-преобразующих элементов на основе висмута оно составило 1… 3 кОм.

Реакция на импульсное излучение (импульсная реакция = вольт-ваттная характеристическое время переходного процесса) «пятачковых»

чувствительность термоэлектрических преобразователей достигала: на висмуте – 5 В/Дж, на теллуре – висмуте – 0,2 и 10 мкс, на теллуре 0,5 и 50 мкс и на хроме – 0,2 и 5 мкс.

Термоэлектрические преобразователи выдерживали импульсное излучение с плотностью до 0,5 МВт/см2 (для висмута и теллура) и 1 МВт/см2 (для хрома) без видимого разрушения и деградации («вжигание» и «прокисление»), без изменения электросопротивления и выходного сигнала.

Были изготовлены также макетные образцы «пятачковых» измерительных преобразователей на пластинках анодированного алюминиево-магниевого сплава с наклонноконденсированных плёнок висмута и хрома (макеты КЛИ-В и макет КЛИ-Х соответственно).

Разработаны также 100-элементные матричные приёмники излучения (макеты КЛИ-В-100 и КЛИ-Х-100) площадью 60х60 (мм) и размером элементов 4х4 (мм).

Каждый из элементов имеет два независимых вывода, подсоединяемых к ножкам типового разъема. Воспроизводимость элементов по чувствительности не выходит за пределы ±10%. Предусмотрена заменяемость отдельных элементов.

Экспериментальное усреднённое сравнение плёночных приёмнопреобразующих элементов из текстурированных изотропных металлов никеля и тантала (макеты КЛИ-Н и КЛИ-Т соответственно) (наносились с поверхности прямонакального вольфрамового проволочного нагревателя) и анизотропного полупроводника антимонид кадмия (CdSb) (толщина плёнки 1 мкм на сновании из анодированного алюминиево-магниевого сплава толщиной 20 мм с защитным слоем диоксида кремния 30 мкм – макет КЛИ-АК) показало, что при вольт-ваттной чувствительности 10 мВ/кВт лучевая прочность может быть повышена с 0,4 кВт/см до 2,2 кВт/см2; для никеля (Ni) в 3 раза и для тантала (Ta) более, чем в 5 раз.

Чувствительно-преобразующие элементы и измерители лазерного излучения, использующие наклонноконденсированные плёнки на теплопроводных электроизолирующих подложках, также подвергались на стендах промышленным измерениям:

- на длине волны 0,63 и 1,06 мкм. Реконструирована импульсная установка УИГ-1М. Использованы неодимовый лазер (0,63 мкм) и гелий-неоновый лазер (1,06 мкм).

- на длине волны 10,6 мкм. Использованы: технологический СО2-лазер ИЛГН-705 и юстировочный лазер ЛГ-76; ответвительная делительная пластина из мощности ИМО-211 и калибровочный измеритель энергии ИМО-2Н.

- в оптическом диапазоне осветителя ОИ -24. Комплектация: собирающая линза, ответвительная делительная пластина и два измерителя средней мощности ИМО-2Н (один – контрольный, другой – для калибровки оптического тракта).

Экспериментально подтвердилось повышение быстродействия приёмнопреобразующих элементов при их формировании на подложках из прозрачного для излучения материала («алмазная керамика») на противоположной по отношению к излучению стороне подложки.

В отличие от «секундных»» контроллеров лазерного излучения на термопарном эффекте (аналогично – терморезисторы) предложено контроллеры на поперечном термоэлектрическом эффекте называть «микросекундными».

Преобразователи на наклонноконденсированных плёнках обладают чувствительностью к излучению в диапазоне от ультрафиолета (0,3 мкм) до сверхвысоких частот (~200 мкм). Коэффициент преобразования в этом диапазоне для плёнок до толщины 1 мкм практически одинаков.

Дополнительно проведенные испытания, в которых определялись характеристики отражения (на спектрофотометрах ИКС-22 и UR-20 Carl Zeiss JENA в диапазоне от 2 мкм до 25 мкм) позволили сделать вывод, что коэффициент отражения (практически близок к значению 50%) пропорционален коэффициенту преобразования, и диффузное рассеяние практически отсутствует.

Проводились также испытания амплитудно-частотных характеристик. Имелась возможность оценить корреляцию коэффициента преобразования и быстродействия при различной толщине плёнок. Практически при сравнимых условиях корреляция этих важнейших характеристик не зависит от материала подложки. Коэффициент преобразования увеличивается с толщиной подложки, но после толщины 1 мкм остаётся постоянным. Быстродействие прогрессивно увеличивается с уменьшением толщины плёнки.

Влияния поляризации на преобразование и быстродействие не установлено (в пределах 10%). Зависимости преобразования и быстродействия от угла падения на поверхность приёмной площадки (в пределах ±30°) не установлено. Временные испытания показали, что защита поверхности плёночных преобразователей плёнкой монооксида кремния толщиной ~100 мкм не сказывается на быстродействии, и проявляется на долговременной стабильности.

интенсивном охлаждении сохраняется до плотностей мощности ~102Вт/см2. Для импульсных излучений (при длительности, менее 100 нс) нелинейности наблюдаются, но после достижения плотностей мощности >105Вт/см2. Это практическое наблюдение связано с нагревом чувствительного слоя преобразователя, проявляющегося в температурной зависимости коэффициента преобразования и внутреннего электросопротивления (коэффициенты отрицательны и одного порядка).

Следовательно, верхний предел динамического диапазона преобразования может управляться с помощью компенсации уменьшения коэффициента преобразования уменьшением электросопротивления усилительного тракта. Нижний предел динамического диапазона определён шумами (в основном это – «джонсоновский шум электросопротивления», величина его достаточно мала). Таким образом, динамический диапазон преобразования – не менее 105.

Испытания подтверждают термоэлектрическую природу эффекта в наклонноконденсированных плёнках и их метрологическую перспективность.

ВЫВОДЫ

наклонноконденсированных термоэлектрических преобразователей лазерного излучения. Расширена номенклатура комплексных термоэлектрических критериев и привлечены новые материалы к разработкам наклонноконденсированных плёнок для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения (не только полупроводники, но и полуметаллы и металлы).

2. Достигнуто высокое быстродействие (малая инерционность) плёночных наклонноконденсированных термоэлектрических преобразователей лазерного излучения (уменьшается постоянная времени и время остывания, увеличивается предельная частота следования импульсов).

3. Получены в наклонноконденсированных плёнках анизотропных (висмут и теллур) и изотропных (хром, никель и тантал) материалов «армированные текстуры» и в случае изотропных материалов удалось перейти к более высокой лучевой стойкости (устойчивости против «вжигания» и «прокисления»).

наклонноконденсированных термоэлектрических приёмно-преобразующих элементов «пятачкового», «меандрового» и «спирального» типов в в и д е контроллеров лазерного излучения:

- в виде одноэлементных термоэлектрических преобразователей «пятачковой»

с электросопротивлением, вольт-ваттной чувствительностью, временем нарастания и спада сигнала соответственно: 10 … 30 кОм, 5 В/Вт, 0,2 и 10 мкс (висмут), 3 …10 кОм, 12 В/Вт, 0,5 и 50 мкс (теллур) и 0,5 … 1 кОм, 20 В/Вт, 0,2 и 5 мкс (хром).

- в виде плёночного хромового 100-элементного термоэлектрического преобразователя (хром) (подложка – «брокерит») для пространственно-временного контроля мощности лазерного излучения на площади 6060 (см) с размером элементов 44 (мм), имеющих два независимых вывода на типовой разъём и воспроизводимостью от элемента к элементу в пределах ±10%.

5. Экспериментальное усреднённое сравнение плёночных приёмнопреобразующих элементов из наклонноконденсированных изотропных металлов никеля и тантала и анизотропного полупроводника антимонид кадмия (CdSb) (толщина плёнки 1 мкм на сновании из анодированного алюминиево-магниевого сплава толщиной 20 мм с защитным слоем диоксида кремния 30 мкм) показало, что при вольт-ваттной чувствительности 10 мВ/кВт лучевая прочность может быть повышена с 0,4 кВт/см2 до 2,2 кВт/см2; для никеля (Ni) в 3 раза и для тантала (Ta) более, чем в 5 раз.

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ

Основное содержание диссертации достаточно полно опубликовано в следующих публикациях:

1. Опаричев А.Б., Каримбеков М.А. Методы повышения термоэлектрической эффективности конденсированных пленок. – В кн.: Тезисы докладов IX Международной конференции по физике и технологии тонких пленок (МКФТП-IX) (19-24 мая 2003 г., Ивано-Франковск, Украина), с. 67. – 2003.

2. Опаричев А.Б., Каримбеков М.А., Корнилов В.А. Работа над физикотехнологической базой данных для пленочных измерительных термоэлектрических преобразователей. – В кн.: Тезисы докладов IX Международной конференции по физике и технологии тонких пленок (МКФТП-IX) (19-24 мая 2003 г., ИваноФранковск, Украина), с. 68. – 2003.

образ и демонстрация анизотропии текстурированного поликристалла. – В кн.:

«Кристаллофизика 21-го века». Тезисы докладов II Международной конференции по физике кристаллов, посвященной памяти М.П. Шаскольской (28-30 октября 2003 г., МИСиС, Москва), с. 72-73. 2003. – 424 с.

4. Опаричев А.Б., Матюнин В.М. Изотропные и анизотропные материалы для плёночных наклонноконденсированных термопреобразователей. – В кн.:

«Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Тезисы докладов Десятой Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов.

К 65-летию Радиотехнического факультета Института радиотехники и электроники (2-3 марта 2004 г., Москва). Т.3, секция «Проблемы технологии, надёжности и конструирования», с. 199-200. – М.: МЭИ (ТУ), 2004.

5. Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Корнилов В.А. Работа над физико-технологической базой данных для пленочных измерительных термоэлектрических преобразователей. – В кн.: Материалы XI Национальной конференции по росту кристаллов (НКРК-2004) (13-17 декабря 2004 г., Москва), с. 94. – М: ИК РАН, 2004.

6. Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Корнилов В.А. Эффективность экспериментальной базы данных для производства пленочных измерительных термоэлектрических преобразователей. – В кн.:

Материалы XI Национальной конференции по росту кристаллов (НКРК-2004) (13-17 декабря 2004 г., Москва), с. 98. – М: ИК РАН, 2004.

7. Опаричев А.Б., Каримбеков М.А. Выбор материалов для пленочных термоэлектрических преобразователей. – В кн.: «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Тезисы докладов XI Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов. К 75-летию Московского энергетического института (технического университета) (1-2 марта 2005 г., Москва). Т. 3, секция «Проблемы технологии, надёжности и конструирования», с. 245-246. – М.: МЭИ (ТУ), 2005.

8. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А.

Термоэлектрическая эффективность пленочных преобразователей из изотропных и анизотропных материалов – В кн.: Тезисы докладов X Международной конференции по физике и технологии тонких пленок (МКФТП-X) (16-21 мая 2005 г., ИваноФранковск, Украина), с. 81. – 2005.

9. Опаричев А.Б., Каримбеков М.А. Термоэлектрическая эффективность пленочных наклонноконденсированных преобразователей из изотропных и анизотропных материалов. // Прикладная физика. – 2005. №3. С. 109-112.

10. Опаричев А.Б., Каримбеков М.А. Разработка контроллера для измерения температуры, в том числе температуры поверхности. // Прикладная физика. – 2005.

№ 4. С. 115-120.

11. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Марков Ф.В. Выбор материалов и разработка технологии для пленочных преобразователей.

// Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России. – 2005. № 3.

С. 40-47.

12. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Марков Ф.В. Изотропные и анизотропные материалы (висмут, теллур, хром, никель, тантал) для плёночных наклонноконденсированных термопреобразователей. // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России. – 2005. № 4. С. 98-102.

and anisotropic materials (bismuth, tellurium, chromium, copel, constantan) for film inclination-condensed thermo-electric converters. – В кн.: «Рост монокристаллов и тепломассоперенос» (ICSC-2005) (25-30 сентября 2005 г., Обнинск). / Сборник трудов 6 ой Международной конференции в 4-х томах. – Обнинск, ГНЦ РФ Физикоэнергетический институт им. А.И.Лейпунского, 2005. – Т.1. – (с. 244-249) 310 с. Т.2. – 242 с. Т.3. – 226 с. Т.4. – 180 с.

14. Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Марков Ф.В., Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б. Микросекундные пленочные термоэлектрические контроллеры лазерного излучения. – В кн.: Материалы V Международной научно-технической конференции «Электроника и информатика-2005» (23-25 ноября 2005 г., Зеленоград). – М.: МИЭТ, 2005. – Ч.1. – (с.107-108) 272 с. и Ч.2. – 208 с.

15. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А. Развитие принципов выбора материалов для термоэлектрических преобразователей. – В кн.:

Труды 10-ой Международ. научн. конф. и школы-семинара «Актуальные проблемы твёрдотельной электроники и микроэлектроники» (ПЭМ-2006) (24-29 сентября 2006 г., Дивноморское). – Таганрог: ТГРУ, 2006. – Ч.1. – (с. 110-111) 280 с. и Ч.2. – 280 с.

16. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А. Развитие принципов повышения термоэлектрической эффективности конденсированных плёнок – В кн.: III Всероссийская конференция «Физико-химические процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах» (ФАГРАН-2006) (8- октября 2006 г, Воронеж). – Воронеж: ВГУ, 2006. – Т.1. – (с. 393-396) 465 с. и Т.2 – 502 с.

17. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А.

Плёночные наклонноконденсированные термоэлектрические преобразователи лазерного излучения из анизотропных (висмут и теллур) и изотропных (хром, никель и тантал) материалов. – В кн.: Материалы XII Национальной конференции по росту кристаллов (НКРК-2006) (23-28 октября 2006 г., Москва), с. 501-502. – М: ИК РАН, 2006. – 536 с.

18. Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А.

Эффективность плёночных термоэлектрических преобразователей на «армированных текстурах» из изотропных и анизотропных материалов. – В кн.: «Кристаллофизика 21-го века». Тезисы докладов III Международной конференции по физике кристаллов, посвященной памяти М.П. Шаскольской (20-26 ноября 2006 г., МИСиС, Москва), с. 72-73. 2006. – 536 с.

19. Экспериментальная база данных для постановки производства плёночных термоэлектрических преобразователей измерительного назначения «Физикотехнологическая справочная информация». – 2004. – 120 с. (Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Опаричев А.Б., Опаричев Е.Б., Корнилов В.А.), см. web-сайт:

20. Патент РФ № 37414 (МПК7 G 01 J 5/12). Приемник излучения.

/ Опаричев А.Б., Вигдорович В.Н., Каримбеков М.А., Матюнин В.М., Марков Ф.В.

Заявлен: 30 декабря 2003 г. Опубликован: бюллетень «Изобретения и полезные модели». – Т. 3. № 11. С. 656. – 20 апреля 2004 г.





Похожие работы:

«Дмитриева Валерия Александровна Категория ничто и ее методологическое значение 09.00.01 Онтология и теория познания по философским наук ам Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата философских наук Саратов — 2013 Работа выполнена в ФГБОУ ВПО Поволжский институт управления имени П.А. Столыпина Российской Академии народного хозяйства и Государственной службы при Президенте...»

«УДК 616.895.8–053–036.867 Хромов Антон Игоревич Динамика когнитивного развития у детей и подростков при эндогенной психической патологии Специальность 19.00.04 – медицинская психология (психологические наук и) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата психологических наук Санкт-Петербург 2012 Работа выполнена в Отделе медицинской психологии Учреждения Российской академии медицинских наук Научный центр психического здоровья РАМН Научный руководитель :...»

«Тупаева Агния Сергеевна ОБРАЗ БЛАГОТВОРИТЕЛЬНОСТИ В ИНФОРМАЦИОННОМ ПРОСТРАНСТВЕ РОССИЙСКИХ СРЕДСТВ МАССОВОЙ КОММУНИКАЦИИ Специальность 22.00.06 – Социология культуры Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата социологических наук Майкоп 2013 Диссертация выполнена на кафедре государственного, муниципального управления и социологии ФГБОУ ВПО Казанский национальный исследовательский технологический университет Научный руководитель : Зинурова Раушания...»

«Акентьева Ольга Витальевна РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ОСЛОЖНЕНИЕ ПРЕДЛОЖЕНИЙ С ПРЕДИКАТАМИ РЕЧИ В СОВРЕМЕННОМ РУССКОМ ЯЗЫКЕ Специальность 10.02.01 – русский язык АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата филологических наук Ростов-на-Дону – 2006 2 Диссертация выполнена на кафедре русского языка и теории языка ГОУ ВПО Ростовский государственный педагогический университет Научный руководитель : доктор филологических наук, профессор Малащенко Валентин Прокофьевич...»

«Галина Галима Галимьяновна ВОПРОСЫ ТВОРЧЕСКОГО МЕТОДА И ЛИТЕРАТУРНЫХ НАПРАВЛЕНИЙ В БАШКИРСКОЙ ЛИТЕРАТУРЕ 20-Х ГОДОВ XX ВЕКА Специальность: 10.01.02. - Литература народов Российской Федерации (башкирская литература) Автореферат диссертаций на соискание ученой степени кандидата филологических наук Уфа-2003 Работа выполнена в отделе литературы Института истории, языка и литературы Уфимского научного центра Российской Академии наук Научный руководитель : академик АН РБ,...»

«КУЛИЕВА ШЕКЕР АВДЫЕВНА ПРОБЛЕМЫ ИНТЕГРАЦИИ МУСУЛЬМАН В ИНОКУЛЬТУРНУЮ СРЕДУ НА ПРИМЕРЕ ВЕЛИКОБРИТАНИИ В КОНЦЕ XX - НАЧАЛЕ XXI ВВ. Специальность: 07.00.03 – всеобщая история (новая и новейшая история) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата исторических наук Москва — 2011 Диссертация выполнена на кафедре теории и истории международных отношений факультета гуманитарных и социальных наук Государственного образовательного учреждения высшего профессионального...»

«Федотова Марина Викторовна СЕМАНТИКА МОРАЛЬНОЙ ОЦЕНКИ У ГОМЕРА И АПОЛЛОНИЯ РОДОССКОГО Специальность 10.02.14 – Классическая филология, византийская и новогреческая филология АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата филологических наук Москва -2008 1 Работа выполнена на кафедре классической филологии филологического факультета ФГОУ ВПО Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова Научный руководитель доктор филологических наук, профессор...»

«Худойбердиев Хуршед Атохонович КОМПЛЕКС ПРОГРАММ СИНТЕЗИРОВАНИЯ ТАДЖИКСКОЙ РЕЧИ ПО ТЕКСТУ 05.13.18 – Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук ДУШАНБЕ – 2009 Работа выполнена в Худжандском филиале Технологического Университета Таджикистана Научный руководитель :доктор физико–математических наук, академик АН РТ, профессор Усманов Зафар Джураевич Официальные...»

«Альрави Аммар И. Ибрагим ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ПГУ И СИСТЕМ ОХЛАЖДЕНИЯ НАРУЖНОГО ВОЗДУХА ПГУ И ГТУ ДЛЯ ТЕРРИТОРИЙ С ЖАРКИМ КЛИМАТОМ Специальность 05.14.01 - Энергетические системы и комплексы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Иркутск – 2012 Работа выполнена в Институте систем энергетики им. Л.А. Мелентьева Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭМ СО РАН) и Национальном исследовательском Иркутском государственном...»

«ПОЖИДАЕВ Александр Петрович АЛГЕБРАИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ЛИЕВА ТИПА 01.01.06 математическая логика, алгебра и теория чисел АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени доктора физико-математических наук Новосибирск 2010 Работа выполнена в Институте математики им. С.Л.Соболева Сибирского отделения Российской академии наук Научный консультант : доктор физико-математических наук, профессор Шестаков Иван Павлович Официальные оппоненты : доктор физико-математических наук,...»

«Прокопьев Сергей Анатольевич РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ УЛЬТРАОКСИПИРОЛИЗА ДРЕВЕСНОЙ БИОМАССЫ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ БИОНЕФТИ И ДРЕВЕСНОГО УГЛЯ 05.21.03 — Технология и оборудование химической переработки биомассы дерева; химия древесины АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2007 2 Работа выполнена на кафедре технологии лесохимических продуктов и биологически активных веществ Санкт-Петербургской государственной лесотехнической...»

«БУДИЛОВСКИЙ ДМИТРИЙ МИХАЙЛОВИЧ ОПТИМИЗАЦИЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ТЕОРИИ РАСПИСАНИЙ НА ОСНОВЕ ЭВОЛЮЦИОННО-ГЕНЕТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЗАДАНИЙ Специальность 05.13.01 – Системный анализ, управление и обработка информации АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Ростов-на-Дону 2007 г. 2 Работа выполнена на кафедре Программное обеспечение вычислительной техники и автоматизированных систем. ФГОУ ВПО Донского государственного технического...»

«ЧУРЮМОВА Валерия Александровна ИЗУЧЕНИЕ Ca2+/РЕКОВЕРИН-ЗАВИСИМОЙ РЕГУЛЯЦИИ ФОСФОРИЛИРОВАНИЯ РОДОПСИНА, КАТАЛИЗИРУЕМОГО РОДОПСИНКИНАЗОЙ 03.00.04 – биохимия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата биологических наук Москва – 2008 Работа выполнена в отделе сигнальных систем клетки НИИ физико-химической биологии им. А.Н. Белозерского МГУ им. М.В. Ломоносова. Научные...»

«УЛЬЯНИЩЕВА Екатерина Викторовна Советское / российское направление во внешней политике Египта и Ливии во второй половине ХХ века Специальность 07.00.15 – международные отношения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата исторических наук Москва 2008 Работа выполнена на кафедре теории и истории международных отношений факультета гуманитарных и социальных наук Российского университета дружбы народов Научный руководитель : доктор исторических наук, профессор...»

«ТИТАРЕНКО Сергей Владимирович ДИНАМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА РЕЗУЛЬТАТОВ ЛЕЧЕНИЯ БОЛЬНЫХ С МНОЖЕСТВЕННЫМИ ПЕРЕЛОМАМИ ОПОРНО-ДВИГАТЕЛЬНОГО АППАРАТА 14.01.15 – травматология и ортопедия Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата медицинских наук Москва – 2012 г. Работа выполнена на кафедре травматологии и ортопедии медицинского факультета Федерального Государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования РОССИЙСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ...»

«ДВОРЦЕВОЙ Александр Игоревич ЭКСЕРГЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ РЕГУЛИРОВАНИЯ ПЫЛЕУГОЛЬНЫХ ТЕПЛОФИКАЦИОННЫХ ЭНЕРГОБЛОКОВ НА ПЕРЕРАСХОД ТОПЛИВА Специальность 05.14.14 – Тепловые электрические станции, их энергетические системы и агрегаты АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Новосибирск – 2010 1 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Новосибирский государственный...»

«Рычков Даниил Александрович СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОДГОТОВКИ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА ПРИ ФРЕЗЕРОВАНИИ СТЕКЛОТЕКСТОЛИТА Специальность 05.02.07 – Технология и оборудование механической и физико-технической обработки АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Иркутск 2011 2 Работа выполнена на кафедре Технология машиностроения Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования Братский...»

«УДК 165(801.73) Б44 БЕЛЬЦЕВА ЕКАТЕРИНА АДОЛЬФОВНА ПРОБЛЕМА ПОНИМАНИЯ В ГУМАНИТАРНОМ ПОЗНАНИИ Специальность 09.00.01 онтология и теория познания АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата философских наук Киров-2003 Работа выполнена на кафедре философии Вятского государственного гуманитарного университета Научный руководитель : Доктор философских наук, профессор О.А. ОСТАНИНА Официальные оппоненты : Доктор философских наук, профессор Л.Т. РЕТЮНСКИХ...»

«Подкур Полина Николаевна МАСШТАБИРУЮЩИЕ ФУНКЦИИ И ВЕЙВЛЕТЫ С КОЭФФИЦИЕНТОМ МАСШТАБИРОВАНИЯ N>2 Специальность: 05.13.18 – математическое моделирование, численные методы и комплексы программ АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Барнаул 2007 2 Работа выполнена на кафедре математического анализа ГОУ ВПО Кемеровский государственный университет Научный руководитель : доктор физико-математических наук, профессор Смоленцев Николай...»

«НИКИФОРОВ ИВАН ВАЛЕРЬЕВИЧ СТРАТЕГИЯ УПРАВЛЕНИЯ ИНВЕСТИЦИОННОЙ ПРИВЛЕКАТЕЛЬНОСТЬЮ В ГОСТИНИЧНОМ БИЗНЕСЕ Специальность 08.00.05 – Экономика и управление народным хозяйством (рекреация и туризм) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора экономических наук Санкт-Петербург – 2013 2 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный экономический университет....»






 
2014 www.av.disus.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.