На правах рукописи
ДРУЖКОВ СТАНИСЛАВ СЕРГЕЕВИЧ
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ МЕРОПРИЯТИЙ ПО
ПОВЫШЕНИЮ ЭФФЕКТИВНОСТИ ПРОЦЕССА
МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ УПРОЧНЯЮЩИХ
3D-НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПОКРЫТИЙ
МЕТАЛЛОРЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА
Специальность 05.02.07 – «Технология и оборудование механической и физико-технической обработки»
АВТОРЕФЕРАТ
диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Рыбинск – 201
Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П. А. Соловьева».
Научный руководитель:
заслуженный работник высшей школы РФ, доктор технических наук, профессор Кожина Татьяна Дмитриевна.
Официальные оппоненты:
Семёнов Эрнст Иванович, доктор технических наук, профессор, Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П. А. Соловьева, профессор кафедры «Вычислительные системы»;
Шапошников Александр Михайлович, кандидат технических наук, доцент, Ярославский государственный технический университет, доцент кафедры «Технология машиностроения».
Ведущая организация:
ФГБОУ ВПО «Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана».
Защита диссертации состоится 30 мая 2012 г. в 15:00 на заседании диссертационного совета Д212.210.01 в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П.А. Соловьева» по адресу: 152934, г. Рыбинск, Ярославской области, ул. Пушкина, 53, ауд.
Г-237.
С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П. А. Соловьева».
Автореферат разослан 28 апреля 2012 г.
Ученый секретарь диссертационного совета Конюхов Борис Михайлович
ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ
В диссертации рассматриваются вопросы повышения производительности процесса магнетронного напыления 3D-нанокомпозитных упрочняющих покрытий металлорежущего инструмента путём параметрической оптимизации давления газа по симплексу скорости осаждения покрытия.
Актуальность темы Эффективность механической обработки во многом определяется характеристиками применяемого металлорежущего инструмента. Непрерывно осуществляются исследования, ориентированные на повышение скорости резания, увеличение прочности и повышение износостойкости инструмента. Эффективным направлением повышения характеристик металлорежущего инструмента является нанесение на его рабочую часть упрочняющих наноструктурированных покрытий, обладающих высокой твердостью, вязкостью, теплостойкостью и низким коэффициентом трения. Эти свойства покрытий предопределяются малым размером кристаллов и большой объёмной долей границ зёрен. Механизм повышения рабочих характеристик заключается в том, что данные материалы имеют сбалансированное отношение между твердостью, определяющей износостойкость, и прочностными характеристиками материала. Таким образом, упрочняющие наноструктурированные покрытия, благодаря комплексу своих свойств, имеют большое значение в современной инструментальной промышленности.
Низкое качество инструментального материала и отсутствие упрочняющего покрытия привело к падению спроса на отечественный металлорежущий инструмент, поскольку он не способен удовлетворить существующие потребности современного потребителя. Следствием этого стало широкое распространение продукции фирм «Sandvik Соromant», «Mitsubishi», «Kennametal», «ISCAR», «SECO», «Lamina Tecnologies», «Corun», «Guhring», «Hoffmann Group» на отечественных машиностроительных предприятиях. В результате, в нашей стране на инструментальном рынке сложилась неблагоприятная экономическая ситуация, выходом из которой может быть лишь организация собственного производства металлорежущего инструмента, способного составить конкуренцию зарубежной продукции.
Магнетронное напыление, обеспечивающее формирование нанокомпозитной структуры покрытия, обладающей низким коэффициентом трения и обеспечивающей высокоэффективную защиту от износа и коррозии при повышенных температурах, является в настоящее время наиболее перспективным методом нанесения упрочняющих покрытий. Несмотря на это, данный метод нанесения покрытий не получает промышленного распространения ввиду низкой скорости напыления, тогда как его внедрение на отечественных предприятиях по выпуску металлорежущего инструмента могло бы коренным образом изменить сложившуюся негативную ситуацию.
В связи с вышесказанным, актуальной научно-технической задачей является поиск способов повышения эффективности процесса магнетронного напыления, что позволит обеспечить распространение данного метода и выпуск конкурентоспособного отечественного металлорежущего инструмента.
Целью работы является разработка технологических мероприятий по повышению эффективности процесса магнетронного напыления упрочняющих 3D-нанокомпозитных покрытий путём повышения производительности установки ионно-плазменного магнетронного синтеза упрочняющих покрытий по симплексу скорости осаждения покрытия.
Для достижения поставленной цели в работе решаются следующие задачи:
1. Анализ современных подходов к математическому описанию процессов ионно-плазменного синтеза упрочняющих покрытий;
2. Формализация влияния технологических условий осуществления процесса магнетронного распыления на формирование давления газа в вакуумной камере;
3. Разработка математической модели скорости осаждения покрытия;
4. Выполнение оптимизации параметра давления газа по симплексу скорости осаждения покрытия;
5. Разработка программного модуля параметрической оптимизации давления газа под различные условия реализации процессов ионно-плазменного магнетронного синтеза упрочняющих покрытий;
6. Практическая апробация результатов работы.
Общая методика исследований основана на выполнении теоретических исследований с использованием теории газового разряда и молекулярнокинетической теории, а также проведении экспериментальных исследований в лабораторных и производственных условиях с использованием системы автоматизированной обработки экспериментальных данных, при этом применялись методы планирования эксперимента и статистической обработки результатов с использованием программных продуктов MathCAD и Microsoft Excel.
Достоверность полученных результатов обеспечивается за счёт использования признанных научных положений, апробированных методов и средств исследования, а также корректного применения современных методов обработки экспериментальных данных, реализуемых с помощью программного продукта Microsoft Excel.
Научная новизна заключается в разработанном автором способе повышения эффективности процесса магнетронного напыления за счёт параметрической оптимизации давления газа в вакуумной камере магнетронной установки по симплексу скорости осаждения покрытия, который включает в себя возможность компенсации влияния на процесс случайных изменений технологических параметров и факторов, определяющих качество плазмы, за счёт регулирования давления газа в вакуумной камере. В том числе:
– разработана модель комплексного показателя качественного состава плазменной среды, реализующая количественный учёт характеристик процесса напыления и тождественно определяющая показатель, используемый для коррекции давления в вакуумной камере магнетронной установки;
– разработана математическая модель по определению скорости осаждения покрытия в зависимости от физических параметров процесса напыления, учитывающая природу среды «газ – распыляемый материал» и особенности вольтамперных характеристик магнетронной системы, в том числе зависимости показателя эффективности напыления, плотности тока и коэффициента распыления от давления газа в вакуумной камере;
– установлены закономерности взаимосвязи между основными параметрами магнетронной системы (разрядным током и напряжением разряда) и давлением газа в вакуумной камере магнетронной установки по покрытию инструмента;
– разработана методика определения оптимального давления газа по симплексу скорости осаждения покрытия.
Практическая ценность работы состоит в разработанной методике оптимизации давления в процессе магнетронного напыления по симплексу скорости осаждения покрытия, использование которой способствует повышению производительности установки. Разработанный программный модуль, обеспечивающий автоматизированное получение и использование оптимизационных моделей в различных условиях реализации процессов ионно-плазменного магнетронного синтеза упрочняющих покрытий, может быть использован для повышения эффективности процессов упрочнения металлорежущего инструмента, оснастки, деталей и узлов ГТД.
Автор защищает:
– модель комплексного показателя качественного состава плазменной среды, реализующую количественный учёт качественных характеристик процесса покрытия металлорежущего инструмента;
– теоретико-экспериментальную зависимость скорости осаждения покрытия от физических параметров процесса напыления для конкретных условий;
– технологические мероприятия по повышению эффективности процесса магнетронного напыления упрочняющих 3D-нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента.
Реализация результатов работы. Результаты диссертационной работы были внедрены на предприятии ОАО «Русская механика». За счёт применения полученных износостойких покрытий при осуществлении операций зубообработки стойкость металлорежущего инструмента была повышена в 1,9…2,0 раза, при этом шероховатость обработанной поверхности (по параметру Ra) была уменьшена в 1,3 раза, экономический эффект (в виде сокращения себестоимости операции напыления упрочняющих 3D-нанокомпозитных покрытий) от внедрения технологических мероприятий составил 25 %. Кроме того результаты работы были включены в учебный процесс кафедры «Резание материалов.
Станки и инструменты имени С. С. Силина», а также использовались при выполнении государственного контракта с ГК «Роснанотех» по созданию программы опережающей профессиональной переподготовки кадров в области разработки и получения наноструктурированных покрытий режущего инструмента. Автор работы, является сотрудником малого предприятия ООО «Пико»
открытого в рамках ФЗ-217.
Апробация результатов работы. Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на: «5-й Всероссийской зимней школе-семинаре аспирантов и молодых ученых» (Уфа, 2010), организатор – УГАТУ; Всероссийской конференции с элементами научной школы для молодежи «Нанотехнологии в производстве авиационных газотурбинных двигателей летательных аппаратов и энергетических установок» (Рыбинск, 2010), организатор – РГАТА им. П. А. Соловьёва; Всероссийской Конференции молодых ученых и специалистов «Будущее машиностроения России» (Москва, 2011), организатор – МГТУ им. Н. Э. Баумана; Всероссийской молодёжной научной конференции «Мавлютовские чтения» (Уфа, 2011), организатор – УГАТУ; «Национальной научно-технической конференции» (Москва, 2011), организатор – Союз Машиностроителей России (работа награждена дипломом за второе место); Региональном конкурсе «Молодость – Эрудиция. Стимул – Инновация» (Ярославль, 2011), организатор – Департамент экономического развития Ярославской области; «7-ой Всероссийской зимней школе-семинаре аспирантов и молодых ученых» (Уфа, 2012), организатор – УГАТУ; Международной научно-технической конференции «Автоматизация и энергосбережение машиностроительного и металлургического производств, технология и надежность машин, приборов и оборудования» (Вологда, 2012), организатор – ВоГТУ. Полностью работа докладывалась и обсуждалась на кафедре «Резание материалов, станки и инструменты» им. С. С. Силина РГАТУ им.
П. А. Соловьева.
Публикации. По теме диссертации опубликовано 10 научных работ, в том числе 1 из них в издании, рекомендованном ВАК.
Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, четырёх глав, общих выводов, списка использованных источников из наименований, а также четырёх приложений. Общий объем работы 185 страниц, диссертация содержит 47 рисунков, 31 таблицу и 92 формулы.
КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ
Во введении обосновывается актуальность выбранной темы диссертационной работы, кратко сформулированы цели и задачи исследований, научная новизна и практическая значимость работы.
Первая глава посвящена анализу состояния развития теоретических аспектов ионно-плазменного метода получения упрочняющих наноструктурированных покрытий. Исследования в области ионно-плазменных технологий получения покрытий выполнялись многими отечественными и зарубежными учёными: Агабеков Ю. В., Башков В. М., Ветошкин В. М., Григорьев С. Н., Григорьев Ф. И., Данилин Б. С., Епифанов Г. И., Киреев В. Ю., Ключарев А. Н., Князев Б. А., Кожина Т. Д., Королев Б. И., Кузьмичёв А. И., Морозов А. И., Никитин М. М., Петухов В. В., Райзер Ю. П., Рудый А. С., Семёнов Э. И., Тагиров Р. Б., Behrisch R., Chen F., Dushman S., Hultman L., Maisel L., Meyer K., Westwood W. D. и др.
Анализ литературных данных свидетельствует о том, что в настоящее время существует подробное физическое описание процессов, происходящих в плазме газового разряда. Важную роль в процессе напыления покрытий играет давление рабочего газа: оно воздействует на характер движения частиц и, таким образом, определяет процесс ионизации газа, а, следовательно, и скорость синтеза покрытия. Однако характер влияния давления на процесс распыления довольно сложен и неоднозначен. Установлено также, что давление газа взаимосвязано с качественными характеристиками плазменной среды, однако механизм учёта этой взаимосвязи на данный момент отсутствует.
Диапазон давлений рабочего газа определяется условиями существования рабочих разрядов, при этом могут быть установлены оптимальные значения рабочего давления, которые соответствуют максимальной скорости генерации энергетических частиц, то есть максимальной скорости распыления материалов. Однако, конкретные способы оптимизации давления по скорости напыления в литературе не приводятся, тогда как изменение рабочего давления в процессе синтеза покрытий может не только вызвать снижение скорости напыления, но также стать причиной нарушения стехиометрического состава получаемого многокомпонентного покрытия.
Выполненный анализ теоретических данных показал, что математическое описание непосредственного воздействия давления газа на скорость осаждения покрытий и её основные составляющие (плотность тока и коэффициент распыления) отсутствует. Основные зависимости, описывающие процесс с позиции его скоростной характеристики могут быть систематизированы следующим образом (таблица 1).
Основные существующие зависимости, описывающие скоростную характеристику ионноплазменного процесса Наименование зависимости Формализованное представление ния покрытия Формула скорости распы- vр пыления (теория Зигмунда